堆栈存储器的制造方法技术资料下载

技术编号:9673163

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本发明设及一种不同基板的存储器装置相互堆积(stack)而电连接的技术。尤 其,设及各基板的存储器单元共有数据转储线,且各数据转储线相互电连接的结构。背景技术 过去数十年,随着半导体技术的快速发展,半导体存储器单元的集成度大幅提高。 对于DRAM值ynamicRandomAccessMemory)而言,在一个娃基板上集成的元件数量达到 了数十个亿。增加的元件数量必然会导致功耗的增加,同时还会因寄生效应而导致操作速 度下降。然而,半导体基板材料或者半导体封...
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