技术编号：9728907
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 娃异质结太阳能电池是一种利用晶体娃基板和非晶娃薄膜工艺制成的混合型电 池，具有转换效率高、工艺流程简单、溫度系数低等优势，受到人们的广泛关注。现有娃异质 结太阳能电池的生产工艺包括清洗、制绒、对氨化非晶娃i(ia-SiH)膜层和氨化非晶娃P (pa-SiH)膜层W及氨化非晶娃n(na-SiH)膜层进行沉积、对透明导电氧化物薄膜进行沉 积、栅极电极丝网印刷、退火等。 氨等离子体处理技术是娃异质结太阳能电池的重要制备工艺之一，常用于氨化非 晶娃i(ia-Si...
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