技术编号:9752818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于GaN基LED图形化衬底,涉及一种基于纳米压印技术制备大于6英寸图形化蓝宝石衬底的方法,具体涉及利用规则有序的多孔阳极氧化铝当掩模制备柔性PDMS压印模板并通过纳米压印技术制备6英寸以上图像化蓝宝石衬底的方法。背景技术 GaN基LED作为新型半导体发光器件,与传统的光源相比具有体积小、寿命长、效率高、节能环保等优点,目前已广泛应用于显示、指示灯、背光灯、固态照明、交通信号灯、短程光学通信和生物传感器等各个领域。蓝宝石由于价格便宜,被广泛应用于Ga...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。