技术编号：9777
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种排除气体以获得粗真空的装置，具体说来是一种不以油为工作介质的四旋片式真空泵，其产品适用于电子、医疗、印刷及超净半导体工业等领域的吸附、提升、固定等工艺。过去用于上述诸领域的真空泵一般都是老式的以油为工作介质的机械泵，其最大缺点就是存在油的污染、振动噪声大、需要频繁更换工作介质油、以及因油封件老化而常常出现的漏油现象等。近年来，国外如美国、日本等一些国家研制出的无油真空泵虽使上述现象得到极大改观，但国外市场上现有的此类产品相对仍然存在着噪声大(一般都在75～80分贝)、温升值高(40～50℃)和使用...
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