专利名称:旋片式无油真空泵的制作方法
本实用新型属于一种排除气体以获得粗真空的装置，具体说来是一种不以油为工作介质的四旋片式真空泵，其产品适用于电子、医疗、印刷及超净半导体工业等领域的吸附、提升、固定等工艺。
过去用于上述诸领域的真空泵一般都是老式的以油为工作介质的机械泵，其最大缺点就是存在油的污染、振动噪声大、需要频繁更换工作介质油、以及因油封件老化而常常出现的漏油现象等。近年来，国外如美国、日本等一些国家研制出的无油真空泵虽使上述现象得到极大改观，但国外市场上现有的此类产品相对仍然存在着噪声大(一般都在75～80分贝)、温升值高(40～50℃)和使用寿命短的问题。经分析研究发现有两个症结所在其一是上述无油真空泵大都采用石墨做为旋片的制作材料，由于石墨材料属层状结晶构成，当真空泵中转子高速运转(一般转速都在1400转／分左右)时，沿定子内壁滑动的石墨旋片顶端各点上所受的应力不一致，长此以往就会产生塑性变形而出现了气隙噪声。其二是现有真空泵产品的配气系统设计上所存在的不合理处，主要是进气孔开得较小，由于吸气不充分致使孔内外气体压差增大，故而产生了较强的振动噪声。
本实用新型的目的是提供一种在旋片材料和配气系统设计上都加以改进的新型四旋片式无油真空泵，用以克服现有产品中所存在的不足，尤其是噪声高的不足。
以下将结合附图对本实用新型的技术方案加以说明。
图1是旋片式无油真空泵整机系统示意图。
图2是旋片式无油真空泵泵体沿A－A线的剖视图。
图3是做为定子端盖的右法兰盘示意图(B－B剖面)。
参照附图，该旋片式无油真空泵整机系统包括内部开有圆柱形空腔的定子(1)、偏心安装在定子内并对称地开有四道旋片槽(2)的转子(3)、装放在转子旋片槽(2)内的旋片(4)、做为定子端盖的左、右法兰盘(5、6)以及散热器(7)和电动机(8)等，进气管道(9)和出气阀门(10)可以开设在定子(1)壁上，也可以开在右法兰盘(6)上。本文附图中所引的配气系统是开在右法兰盘上的。箭头方向表示转子的旋向。
本实用新型中发明人所做的主要改进在于1.旋片用环氧酚醛层压玻璃布板材料制成，该材料除了具有气密性好、化学性能稳定和热膨胀系数小等优点外，抗应力性能较石墨材料为优异，即便经过较长时间，其塑性变形现象仍不显著，因而也不会产生气隙噪声。
2.对配气系统中的进气管道(9)和出气阀门(10)的径口尺寸做了改进。改进后的进气管道的径口相对定子的中心轴线呈90°角设置，出气阀门的径口相对定子的中心轴线呈25°～35°角设置，自进气管道(9)径口的起端逆转子转向至出气阀门(10)径口的终端的角间距为180°(参见附图3)。从理论上看，由于吸气孔径增大，可以减小孔内外的气体压差。就四旋片式无油真空泵说来，上述进气管道(9)的孔径间距恰等于旋片一个工作周期的间距，这样可以使真空泵最大限度地吸进气体，同样原因，如果出气阀门(10)孔径愈小的话，泵内气体的压力起伏愈小，噪声量级也愈小，但缩小出气阀门(10)的设计又必须以不增加排气压力为限。经发明人反复测试结果，确定出气阀门的径口以25°～35°角设置最为理想。
另外，做为解决温升值高的措施，发明人将四个旋片直接置于旋片槽中，这样可不用弹簧而靠转子(3)高速旋转产生的离心力实现旋片与定子内壁间的密封，经适当选择旋片材料的重量，可以减小摩擦系数，使泵的温升值降低。
经对样机的测试，在1400转／分的转速下，本实用新型所述的旋片式无油真空泵的噪声值小于60分贝，温升值仅为15°～25°，试用寿命可达15000小时以上，各项性能皆优于现有产品。
权利要求
1.一种旋片式无油真空泵，特别是一种用于获得粗真空的四旋片式无油真空泵，整机系统包括内部开有圆柱形空腔的定子(1)、偏心安装在定子内并对称地开有四道旋片槽(2)的转子(3)、装放在转子旋片槽(2)内的旋片(4)、做为定子端盖的左、右法兰盘(5、6)、以及散热器(7)和电动机(8)等，进气管道(9)和出气阀门(10)开设在定子壁上或右法兰盘(6)上，其特征在于(a)所述的旋片(4)用环氧酚醛层压玻璃布板材料制成；(b)进气管道(9)的径口相对定子的中心轴线呈90°角设置，出气阀门(10)的径口相对定子的中心轴线呈25°～35°角设置，自进气管道(9)径口的起端逆转子向至出气阀门(10)径口的终端的角间距为180°。
专利摘要
用于获得粗真空的四旋片无油真空泵，包括定子、转子及旋片等。旋片用环氧酚醛层压玻璃布板材料制成，开设在定子上的出气管道径口相对定子的中心轴线呈90°角设置，出气阀门径口相对定子中心轴线呈25°～35°角设置。如此设计使旋片磨损最小，并使泵腔内的压力起伏小，从而减少了气隙噪声和震动噪声，致使温升值降低和使用寿命提高。
文档编号F04C18/34GK87208227SQ87208227
公开日1988年1月6日 申请日期1987年5月18日
发明者徐懋瑞 申请人:徐懋瑞导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan