专利名称：一种爪式无油真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种爪式无油真空泵。
背景技术：
目前市场上的真空泵存在以下缺陷1、清洁度低，没有对油润滑型的干式真空泵的油蒸气污染采取必要的措施，没有对抽气过程中混入的颗粒物做好有效的防护；2、安全性低，没有对CVD (化学气相沉积)过程中可能出现的爆炸事故做好防护措施；3、耐磨性低；4、造价高；5、维修不方便；6、性能不稳定；7、振动大、噪音高。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种爪式无油真空泵，以克服目前现有技术的真空泵存在的清洁度低、安全性低、耐磨性低、造价高、维修不方便、性能不稳定、振动大、噪音高的不足。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种爪式无油真空泵，包括电机，所述电机右端设有电机连接架，电机连接架右端连接干泵主体，干泵主体上端靠右侧设有进气口，所述干泵主体前端设有排气口，所述电机连接架内设有联轴器，联轴器连接主动轴，主动轴上设有主动齿轮，主动齿轮活动连接从动齿轮，从动齿轮中心固定有从动轴，从动轴和主动轴上分别自主动齿轮和从动齿轮向右依次设有轴封层一、轴承一、隔套一、转子一、隔套二、转子二、隔套三、转子三、隔套四、转子四、隔套五、轴承二，所述转子一、转子二、转子三、转子四之间分别设有间隙，所述转子一与泵腔一、转子二与泵腔二、转子三与泵腔三、转子四与泵腔四之间分别设有间隙，所述隔套五上靠近轴承二处设有油封层一，所述主动轴上靠近主动齿轮左侧设有轴套二，轴套二外部环设有轴封层二。进一步的，所述干泵主体外部设有自动清洗工艺孔，所述干泵主体右端设有若干水冷工艺孔，所述排气口上设有消音器。本实用新型的有益效果为爪式无油真空泵在转子之间及转子与泵腔之间并不接触，留有微小的间隙，不用任何润滑剂，从而保证了清洁的真空环境；水冷工艺孔的独特设计，防止形成的氧化物自燃引起爆炸；自动清洗工艺孔的独特设计使得泵工作两年左右或有意外大量进入液体或粉尘和粘稠物等异物后，可以在不拆泵的情况下，半小时内对泵内部全面清洗并恢复到出厂水平，并长期保持非常稳定的极限真空；消音器的独特设计，可降低噪音50%以上，保证噪音在65db以内。
下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。图1是本实用新型实施例所述的一种爪式无油真空泵的结构示意图一；图2是本实用新型实施例所述的一种爪式无油真空泵的结构示意图二 ；[0011]图3是本实用新型实施例所述的一种爪式无油真空泵的干泵主体的剖视图。图中1、电机；2、电机连接架；3、干泵主体；4、自动清洗工艺孔；5、进气口 ；6、排气口 ；7、联轴器；8、主动轴；9、主动齿轮；10、从动齿轮；11、从动轴；12、轴承一 ；13、隔套一 ；14、转子一 ；15、隔套二 ；16、转子二 ；17、隔套三；18、转子三；19、隔套四；20、转子四；21、隔套五；22、轴承二 ；23、油封层一 ；24、轴套二 ；25、泵腔一 ；26、泵腔二 ；27、泵腔三；28、泵腔四；29、水冷工艺孔；30、消音器；31、轴封层一 ；32、轴封层二。
具体实施方式
如图1-3所示，本实用新型实施例所述的一种爪式无油真空泵，包括电机I和干泵主体3，所述电机I右端设有电机连接架2，电机连接架2右端连接干泵主体3，干泵主体3上端靠右侧设有进气口 5，所述干泵主体3前端设有排气口 6，排气口 6上设有消音器30 ;所述电机连接架2内设有联轴器7，联轴器7连接主动轴8，主动轴8上设有主动齿轮9，主动齿轮9活动连接从动齿轮10，从动齿轮10中心固定有从动轴11，从动轴11和主动轴8上分别自主动齿轮9和从动齿轮10向右依次设有轴封层一 31、轴承一 12、隔套一 13、转子一14、隔套二 15、转子二 16、隔套三17、转子三18、隔套四19、转子四20、隔套五21、轴承二 22，所述转子一 14、转子二 16、转子三18、转子四20之间分别设有间隙，所述转子一 14与泵腔
一25、转子二 16与泵腔二 26、转子三18与泵腔三27、转子四20与泵腔四28之间分别设有间隙，所述隔套五21上靠近轴承二 22处设有油封层一 23，所述主动轴8上靠近主动齿轮9左侧设有轴套二 24，轴套二 24外部环设有轴封层二 32 ;所述干泵主体3外部设有自动清洗工艺孔4，所述干泵主体3右端设有若干水冷工艺孔29，在实际生产中，上述主体结构一般被整合统称为密封装置。具体实施时，针对抽气过程中混入的颗粒物，可在爪式无油真空泵加上可调温装置，爪式无油真空泵的型号为APKX-4H，因为干泵内部正常工作温度为65°，所以可调整的温度范围是25°飞5°，由于某些应用中的生成物在温度增大到一定程度时可以挥发为气态，故适当控制泵温可以使上述生成物的沉积避免；根据不同的工况，泵体材料可以是耐蚀铸铁、铸钢、不锈钢；转子材料可选择不锈钢和合金钢，合金钢可选择型号为40Cr钢材；主轴材料可选择不锈钢和铸钢，铸钢可选择40Cr型号钢材，不锈钢可选择2Crl3型号钢材；密封型式为骨架密封和机械密封以及氮气密封等组成，确保了泵腔与油箱的安全隔离，工艺孔在成品步骤会被堵上，以保持完整外观。具体使用时，空气经进气口 5进入后，经水冷工艺孔29降温后通过转子四进入泵腔四28，在转子四20、转子三18、转子二 16、转子一 14的作用下，依次通过泵腔三27、泵腔
二26和泵腔一 25后从排出口 6排出，当爪式无油真空泵需要清洗时，可不经过拆泵，直接通过自动清洗工艺孔4对爪式无油真空泵进行清洗。本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种爪式无油真空泵，包括电机(I)和干泵主体(3 )，所述电机(I)右端设有电机连接架(2)，电机连接架(2)右端连接干泵主体(3)，干泵主体(3)上端靠右侧设有进气口(5)，干泵主体(3)前端设有排气口(6)，电机连接架(2)内设有联轴器(7)，联轴器(7)连接主动轴(8 )，主动轴(8 )上设有主动齿轮(9 )，主动齿轮(9 )活动连接从动齿轮(10 )，从动齿轮(10 )中心固定有从动轴(11)，其特征在于从动轴(11)和主动轴(8 )上分别自主动齿轮(9 )和从动齿轮(10)向右依次设有轴封层一(31)、轴承一(12)、隔套一(13)、转子一(14)、隔套二(15)、转子二(16)、隔套三(17)、转子三(18)、隔套四(19)、转子四(20)、隔套五(21)、轴承二(22)，所述转子一(14)、转子二(16)、转子三(18)、转子四(20)之间分别设有间隙，所述转子一(14)与泵腔一(25)、转子二(16)与泵腔二(26)、转子三(18)与泵腔三(27)以及转子四(20)与泵腔四(28)之间分别设有间隙，所述隔套五(21)上靠近轴承二(22)设有油封层一(23)。
2.根据权利要求1所述的一种爪式无油真空泵，其特征在于所述主动轴(8)上靠近主动齿轮(9)左侧设有轴套二(24)，轴套二(24)外部环设有轴封层二(32)。
3.根据权利要求2所述的一种爪式无油真空泵，其特征在于所述干泵主体(3)外部设有自动清洗工艺孔(4)。
4.根据权利要求3所述的一种爪式无油真空泵，其特征在于所述干泵主体(3)右端设有若干水冷工艺孔(29)。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种爪式无油真空泵，其特征在于所述排气口(6)上设有消音器(30)。
专利摘要本实用新型涉及一种爪式无油真空泵，包括电机和干泵主体，电机右端设有联轴器，联轴器右端连接干泵主体，干泵主体上端靠右侧设有进气口，干泵主体前端设有排气口，转子一、转子二、转子三、转子四与泵腔一、泵腔二、泵腔三、泵腔四之间分别设有微小的间隙，并形成密封装置，干泵主体外部设有清洗工艺孔，干泵主体右端设有若干水冷工艺孔，排气口上设有消音器。本实用新型的有益效果为在转子之间及转子与泵腔之间留有微小的间隙，保证了清洁的真空环境；水冷工艺孔的设计防止形成的氧化物自燃引起爆炸；自动清洗工艺孔的设计可在不拆泵的情况下，30分钟内对泵的内部进行全面清洗并恢复到出厂水平；消音器的设计，可降低噪音至65Db。
文档编号F04C25/02GK202851358SQ20122046846
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月13日 优先权日2012年9月13日
发明者王瑞华, 顿成元 申请人:北京奥普科星技术有限公司