技术编号：9784696
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微矢量水听器相对于传统矢量水听器体积小，能减少对原辐射声场的影响，使检测结果更加准确，并且制造成本低，易实现低频检测。目前的微矢量水听器有电容式和压阻式。压阻式虽然制备工艺较为成熟，但灵敏度较低，而且因有焦耳热，所以热噪声大和温度稳定性差。电容式虽然灵敏度较高，但由于存在微小气隙，在制备和使用过程中易发生粘连而使器件失效，且使用过程中需要偏置电压。压电式微矢量水听器是无源器件，因此其稳定度高、噪音低，系统结构简单。其制备工艺较为简单，灵敏度介于电容式和压阻...
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