技术编号:9804053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅芯片研磨剂是硅芯片生产与制造的重要组成,但是现有的硅芯片研磨剂的性能较差,无法达到用户的需求。发明内容所要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷,提供一种硅芯片研磨剂。本发明所采用的技术解决方案是一种硅芯片研磨剂,包括氧化铝和水性介质,还加入了碳酸钙10-15份、十二烷基硫酸钠1-5份、二氧化硅5-10份、三乙胺1-5份。与现有技术相比,本发明所具有的有益效果为本发明通过加入碳酸钙、十二烷基硫酸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。