流量调整装置及具备其的分析装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9816234

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例如在如气相色谱仪(gas chromatograph)之类的分析装置中,可通过对包含管柱(column)或检测器等的分析部供给作为流体的载气(carrier gas),来进行分析。对分析部的载气的供给量可通过对设置在载气的流路中的流量调整阀进行控制来加以调整(例如,参照下述专利文献I)。当对流量调整阀进行控制时,例如通过利用压力传感器对流路内的压力进行检测,来根据所述压力传感器的输出值调整流量调整阀的开度。此时,通过将在流路内未供给载气的状态下的压力传感...
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