流量调整装置及具备其的分析装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于对在流路内流动的流体的流量进行调整的流量调整装置及具备其的分析装置。
【背景技术】
[0002]例如在如气相色谱仪(gas chromatograph)之类的分析装置中，可通过对包含管柱(column)或检测器等的分析部供给作为流体的载气(carrier gas)，来进行分析。对分析部的载气的供给量可通过对设置在载气的流路中的流量调整阀进行控制来加以调整(例如，参照下述专利文献I)。
[0003]当对流量调整阀进行控制时，例如通过利用压力传感器对流路内的压力进行检测，来根据所述压力传感器的输出值调整流量调整阀的开度。此时，通过将在流路内未供给载气的状态下的压力传感器的输出值设为偏移值(offset value)，可将所述偏移值作为基准而对流路内的压力进行检测。
[0004]如上所述的偏移值例如可通过如下方式来设定:利用压力传感器对在流路内未供给载气的状态下的压力(大气压)进行预先检测，将此时的压力传感器的输出值作为偏移值存储在存储部。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献I:日本专利特开2004-69342号公报
【发明内容】
[0008]发明所要解决的问题
[0009]以如上所述的方式而设定的偏移值存在如下情况:伴随着分析装置的使用，与对应于大气压的压力传感器的输出值相偏离。即，即使为相同的压力，压力传感器的输出值也不一定为固定，而存在于大气压下的压力传感器的输出值渐渐与预先设定的偏移值相偏离的情况。这样一来，当保持着偏移值偏离的状态进行分析时，分析的精度有可能下降。
[0010]因此，通常进行如下操作:通过对偏移值进行定期校正(偏差校准(offsetcalibrat1n))，而将偏移值更新为适当值。偏差校准通常是在接收到开始命令后经过固定时间(例如10秒左右)后开始。由此，可以在载气从流路内排空，流路内成为大气压的状态下，开始偏差校准。
[0011]但是，在如上所述接收到开始命令后经过固定时间后开始偏差校准的构成中，存在如下问题:当因为某种原因而在流路内残留有载气时，经更新的偏移值会成为与对应于大气压的压力传感器的输出值相偏离的值。
[0012]本发明是鉴于所述实际情况而完成，目的在于提供一种可将偏移值更新为适当值的流量调整装置及具备其的分析装置。
[0013]解决问题的技术手段
[0014]本发明的流量调整装置的特征在于包括:流量调整阀，用于对在流路内流动的流体的流量进行调整;压力传感器，设置在所述流量调整阀的下游侧，对所述流路内的压力进行检测;偏移值存储部，存储偏移值，所述偏移值成为利用所述压力传感器对所述流路内的压力进行检测时的基准;判定处理部，根据所述压力传感器的输出值，判定是否对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新;偏移值更新处理部，当通过所述判定处理部判定为对偏移值进行更新时，使所述压力传感器的输出值作为偏移值存储在所述偏移值存储部；以及压力测定处理部，根据通过所述偏移值更新处理部而更新的偏移值及所述压力传感器的输出值，对所述流路内的压力进行测定。
[0015]根据如上所述的构成，根据压力传感器的输出值，判定是否对偏移值进行更新，只在判定为对偏移值进行更新时，可使压力传感器的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部。由此，可防止在流体存在于流路内的状态下对偏移值进行更新，因此可将偏移值更新为适当值。
[0016]优选的是，所述判定处理部在所述压力传感器的输出值为第I阈值以下时，判定为对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。
[0017]根据如上所述的构成，当压力传感器的输出值超过第I阈值时，流体存在于流路内的可能性高，因此判定为不对偏移值进行更新，由此可防止将此时的压力传感器的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部。由此，可有效防止经更新的偏移值成为与对应于大气压的压力传感器的输出值相偏离的值，因此可将偏移值更新为更适当的值。
[0018]优选的是，所述判定处理部在所述压力传感器的输出值的变动范围为第2阈值以下时，判定为对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。
[0019]根据如上所述的构成，当压力传感器的输出值的变动范围超过第2阈值时，存在于流路内的流体的流动产生变动的可能性高，因此判定为不对偏移值进行更新，由此可防止将此时的压力传感器的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部。由此，可有效防止经更新的偏移值成为与对应于大气压的压力传感器的输出值相偏离的值，因此可将偏移值更新为更适当的值。
[0020]所述流量调整装置也可以更包括用于对偏移值进行调整的调整电路。这时，优选的是，所述判定处理部根据通过所述调整电路而调整偏移值的所述压力传感器的输出值，判定是否对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。
[0021]根据如上所述的构成，可在通过调整电路而调整偏移值之后，根据压力传感器的输出值，判定是否对偏移值进行更新。由此，可降低压力传感器的机械公差的影响，因此不需要使用例如分辨率高的模拟-数字(Analog to Digital，A/D)转换器等作为用于对压力传感器的输出值进行处理的机器，从而可抑制成本。
[0022]而且，可降低压力传感器的机械公差的影响，由此可省去输入根据由压力传感器实际测定的压力，判定是否对偏移值进行更新时所使用的阈值等信息的工夫，因此可减轻操作者的负担。
[0023]所述流量调整阀也可以是用于通过手动对在所述流路内流动的流体的流量进行调整的构件。
[0024]根据如上所述的构成，在使用容易产生不完全的开闭状态或忘记关闭等情况的手动的流量调整阀的流量调整装置中，可根据压力传感器的输出值，判定是否对偏移值进行更新。当利用手动的流量调整阀时，有可能在流体存在于流路内的状态下对偏移值进行更新，因此通过应用本发明，可有效防止在流体存在于流路内的状态下对偏移值进行更新，从而将偏移值更新为适当值。
[0025]本发明的分析装置的特征在于包括:所述流量调整装置；以及分析部，对经由所述流路而供给的流体进行分析。
[0026]根据如上所述的构成，可将偏移值更新为适当值，并且一边根据所述偏移值及压力传感器的输出值对流路内的压力进行测定，一边进行分析，因此可提高分析的精度。
[0027]发明的效果
[0028]根据本发明，可防止在流体存在于流路内的状态下对偏移值进行更新，因此可将偏移值更新为适当值。
【附图说明】
[0029]图1是表示本发明的一实施方式的分析装置的构成例的框图。
[0030]图2是表示控制部的具体构成的框图。
[0031]图3是表示进行偏差校准时的控制部所进行的处理的一例的流程图。
[0032]图4是表示另一实施方式的分析装置的构成例的框图。
【具体实施方式】
[0033]图1是表示本发明的一实施方式的分析装置的构成例的框图。所述分析装置例如是气相色谱仪，通过将作为流体的载气从气体供给部I经由流路2供给至分析部3，来进行分析。在分析部3中，例如包含管柱或检测器等(均未图示)。
[0034]在流路2内流动的载气的流量可通过流量调整装置4来调整。在流量调整装置4中，可输入来自与分析装置连接的计算机等外部控制机器5、或分析装置中所具备的用户界面(user interface)6的命令信号。在本实施方式中，在流量调整装置4中，具备流量调整阀41、压力传感器42、调整电路43及控制部44等。
[0035]流量调整阀41设置在载气的流路2中，通过使载气以与所述开度相对应的流量流通，而对在流路2内流动的载气的流量进行调整。在所述例中，可通过操作者对流量调整阀41直接进行操纵，来通过手动对在流路2内流动的载气的流量进行调整。
[0036]压力传感器42设置在流量调整阀41的下游侧，输出与流路2内的压力相对应的电压值。压力传感器42的输出值(电压值)经由调整电路43而输入至控制部44。在流路2中，设置着用于使所述流路2内产生压力的电阻管21，通过压力传感器42，来对流量调整阀41与电阻管21之间的流路2内的压力进行检测。
[0037]在本实施方式中，通过利用控制部44中所具备的A/D转换器(未图示)，对压力传感器42的输出值进行计数，来获得与其计数值相对应的压力值。此时，可通过以作为对应于大气压的压力传感器42的输出值而预先设定的偏移值为基准，对压力传感器42的输出值与所述偏移值的差进行计数，来检测流路2内的压力。
[0038]调整电路43是用于对偏移值进行调整的构件，例如包括可变电阻器。通过利用所述调整电路43对偏移值进行调整，可使与所述偏移值相对应的A/D转换器的计数值处于规定范围内，因此可降低压力传感器42的机械公差的影响。
[0039]控制部44是用于进行与流量调整装置4的动作相关的处理的构件，例如包括中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)。在本实施方式中，控制部44可通过根据来自外部控制机器5或用户界面6的命令信号进行规定的处理，来进行偏移值的校正(偏差校准)。
[0040]图2是表示控制部44的具体构成的框图。控制部44通过CPU执行程序，而例如作为判定处理部441、偏移值更新处理部442及压力测定处理部443等发挥作用。
[0041]在流量调整装置4中，具备包含随机存取存储器(random access memory，RAM)及只读存储器(read only memory，R0M)的存储部45。存储部45存储所述程序，并且还作为偏移值存储部451及阈值存储部452等而发挥作用。成为利用压力传感器42对流路2内的压力进行检测时的基准的偏移值存储在偏移值存储部451中，可通过改写所述偏移值，来对偏移值进行更新。
[0042]判定处理部441根据压力传感器42的输出值，判定是否对存储在偏移值存储部451中的偏移值进行更新。在本实施方式中，将压力传感器42的输出值经由调整电路43输入至判定处理部441，因此根据已通过调整电路43而调整偏