流量调整装置及具备其的分析装置的制造方法_2

文档序号:9816234阅读:来源:国知局
移值的压力传感器42的输出值,判定是否对存储在偏移值存储部451中的偏移值进行更新。
[0043]在本实施方式中,判定处理部441利用存储在阈值存储部452中的阈值来进行判定。具体而言,只在压力传感器42的输出值为第I阈值以下,并且压力传感器42的输出值的变动范围为第2阈值以下的情况下,判定处理部441判定为对存储在偏移值存储部451中的偏移值进行更新。在这里,所谓压力传感器42的输出值的变动范围,是指在规定时间内的压力传感器42的输出值的最大值与最小值的差。
[0044]然而,也可以是如下构成:当满足压力传感器42的输出值为第I阈值以下的条件、或者压力传感器42的输出值的变动范围为第2阈值以下的条件中的任一条件时,判定处理部441判定为对偏移值进行更新。而且,所述阈值也可以在被界定为固件(f irmware)的状态下存储在存储部45中。
[0045]偏移值更新处理部442在通过判定处理部441判定为对偏移值进行更新时,使此时的压力传感器42的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部451,由此对偏移值进行更新。即,只在通过判定处理部441判定为对偏移值进行更新的情况下,对偏移值进行更新,在判定处理部441判定为不对偏移值进行更新的情况下,则不对偏移值进行更新。
[0046]压力测定处理部443根据存储在偏移值存储部451中的偏移值及压力传感器42的输出值,对流路2内的压力进行测定。此时,当通过偏移值更新处理部442对偏移值进行更新时,利用经更新的偏移值对流路2内的压力进行测定。由压力测定处理部443所测定的压力与在流路2内流动的载气的流量成正比,从而可根据所述压力的测定值算出载气的流量。
[0047]由压力测定处理部443所测定的压力或者根据所述压力的测定值而算出的载气的流量可显示在显示部(未图示)中。这时,操作者一边确认显示在显示部中的压力或流量,一边对流量调整阀41进行操纵,由此可通过手动对在流路2内流动的载气的流量进行调整。
[0048]然而,流量调整阀41并不限定于手动阀,也可以是例如通过控制部44对电磁阀进行控制,来自动调整在流路2内流动的载气的流量的阀。这时,也可以是如下构成:控制部44根据由压力测定处理部443所测定的压力或者根据所述压力的测定值而算出的载气的流量,对电磁阀进行控制。
[0049]图3是表示进行偏差校准时的控制部44所进行的处理的一例的流程图。当从外部控制机器5或用户界面6产生有偏差校准的开始命令时(步骤SlOl中为是(Yes)),首先,利用压力传感器42对流路2内的压力进行检测(步骤S102)。
[0050]然后,判定压力传感器42的输出值是否为第I阈值以下(步骤S103),并且判定压力传感器42的输出值的变动范围是否为第2阈值以下(步骤S104)。接着,只在压力传感器42的输出值为第I阈值以下(步骤S103中为是(Yes)),并且,压力传感器42的输出值的变动范围为第2阈值以下时(步骤S104中为是(Yes)),将此时的压力传感器42的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部451中,由此对偏移值进行更新(步骤S105)。
[0051]另一方面,当压力传感器42的输出值超过第I阈值时(步骤S103中为否(No)),或者当压力传感器42的输出值的变动范围超过第2阈值时(步骤S104中为否(No)),则不对偏移值进行更新,而直接处理结束。
[0052]在本实施方式中,根据压力传感器42的输出值,判定是否对偏移值进行更新,只在判定为对偏移值进行更新的情况下,可使压力传感器42的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部451中。由此,可防止在载气存在于流路2内的状态下对偏移值进行更新,因此可将偏移值更新为适当值。
[0053]特别是在本实施方式中,通过利用阈值,可良好地判定是否对偏移值进行更新。例如,当压力传感器42的输出值超过第I阈值时,载气存在于流路2内的可能性高。而且,当压力传感器42的输出值的变动范围超过第2阈值时,存在于流路2内的载气的流动发生变动的可能性尚。
[0054]因此,在如上所述的情况下,判定为不对偏移值进行更新,由此可防止将此时的压力传感器42的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部451。由此,可有效防止经更新的偏移值成为与对应于大气压的压力传感器42的输出值相偏离的值,因此可将偏移值更新为更适当的值。
[0055]此外,在本实施方式中,可在利用调整电路43调整偏移值之后,根据压力传感器42的输出值,判定是否对偏移值进行更新。由此,可降低压力传感器42的机械公差的影响,因此不需要使用例如分辨率高的A/D转换器等作为用于对压力传感器42的输出值进行处理的机器,从而可抑制成本。
[0056]并且,由于可降低压力传感器42的机械公差的影响,所以可省去输入根据由压力传感器42实际测定的压力,判定是否对偏移值进行更新时所使用的阈值等信息的工夫,因此可减轻操作者的负担。
[0057]在像本实施方式那样,利用手动的流量调整阀41的流量调整装置4中,容易产生不完全的开闭状态或忘记关闭等情况,因此有可能在载气存在于流路2内的状态下对偏移值进行更新。但是,在本实施方式中,根据压力传感器42的输出值,来判定是否对偏移值进行更新,因此可有效防止在载气存在于流路2内的状态下对偏移值进行更新,从而可将偏移值更新为适当值。
[0058]图4是表示另一实施方式的分析装置的构成例的框图。在本实施方式中,不像上述实施方式那样在流量调整装置4中具备调整电路43,而将压力传感器42的输出值直接输入至控制部44。除此方面以外,本实施方式的分析装置具有与上述实施方式相同的构成,因此对相同的构成,在图中标注相同符号并且省略详细说明。
[0059]在像本实施方式那样,在流量调整装置4中不具备调整电路43的情况下,不对偏移值进行调整,因此无法降低压力传感器42的机械公差的影响。因此,需要针对每个装置设定判定是否对偏移值进行更新时所使用的阈值,但是只要进行根据由压力传感器42实际测定的压力来输入阈值的操作,便可发挥与上述实施方式同样的效果。
[0060]再者,当在流量调整装置4中不具备调整电路43时,虽然作为压力传感器42的输出值的最小值的第I阈值需要针对每个装置来设定,但是作为压力传感器42的输出值的最小变动范围的第2阈值则不需要针对每个装置来设定,而可设定为预先设定的阈值。
[0061]在以上的实施方式中,已对分析装置为气相色谱仪的情况进行说明。但是,本发明并不限于气相色谱仪,还可应用于液相色谱仪或质量分析装置等其它分析装置。
[0062]并且,本发明的流量调整装置4并不限于分析装置,还可应用于分析装置以外的装置。这时,通过流量调整装置4来调整流量的流体并不限于载气,还可以是其它流体(气体或液体)。
[0063]符号的说明
[0064]1:气体供给部
[0065]2:流路
[0066]3:分析部
[0067]4:流量调整装置
[0068]5:外部控制机器
[0069]6:用户界面
[0070]21:电阻管
[0071]41:流量调整阀
[0072]42:压力传感器
[0073]43:调整电路
[0074]44:控制部
[0075]45:存储部
[0076]441:判定处理部
[0077]442:偏移值更新处理部
[0078]443:压力测定处理部
[0079]451:偏移值存储部
[0080]452:阈值存储部
【主权项】
1.一种流量调整装置,其特征在于包括: 流量调整阀,用于对在流路内流动的流体的流量进行调整; 压力传感器,设置在所述流量调整阀的下游侧,对所述流路内的压力进行检测; 偏移值存储部,存储偏移值,所述偏移值成为利用所述压力传感器对所述流路内的压力进行检测时的基准; 判定处理部,根据所述压力传感器的输出值,判定是否对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新; 偏移值更新处理部,当通过所述判定处理部判定为对偏移值进行更新时,使所述压力传感器的输出值作为偏移值存储在所述偏移值存储部;以及 压力测定处理部,根据通过所述偏移值更新处理部而更新的偏移值及所述压力传感器的输出值,对所述流路内的压力进行测定。2.根据权利要求1所述的流量调整装置,其特征在于:所述判定处理部在所述压力传感器的输出值为第I阈值以下时,判定为对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。3.根据权利要求1或2所述的流量调整装置,其特征在于:所述判定处理部在所述压力传感器的输出值的变动范围为第2阈值以下时,判定为对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流量调整装置,其特征在于更包括: 调整电路,用于对偏移值进行调整, 所述判定处理部根据通过所述调整电路而调整偏移值的所述压力传感器的输出值,判定是否对存储在所述偏移值存储部中的偏移值进行更新。5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量调整装置,其特征在于: 所述流量调整阀是用于通过手动对在所述流路内流动的流体的流量进行调整的构件。6.一种分析装置,其特征在于包括: 根据权利要求1至5中任一项所述的流量调整装置;以及 分析部,对经由所述流路而供给的流体进行分析。
【专利摘要】提供一种可将偏移值更新为适当值的流量调整装置及具备其的分析装置。判定处理部441根据压力传感器42的输出值,判定是否对偏移值进行更新。只在其结果判定为对偏移值进行更新的情况下,偏移值更新处理部442使压力传感器42的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部451。由此,可防止在载气存在于流路内的状态下对偏移值进行更新,因此可将偏移值更新为适当值。
【IPC分类】G01N1/00, G05D7/01, G01N30/32
【公开号】CN105579826
【申请号】CN201480043595
【发明人】山根雅史, 増田真吾, 古贺圣规
【申请人】株式会社岛津制作所
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2014年7月9日
【公告号】WO2015033664A1
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