技术编号:9868104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。IT0( IndiumTinOxides,铟锡氧化物)是一种透明电极材料,ITO薄膜具有良好的导电性和可见光的透过性,广泛应用于触摸屏、LCM等需要作为显示又有电性功能的产品上,目前制备方法均是在基材上整面性镀ITO膜,然后通过化学蚀刻制备出所需要的ITO膜图案。具体地,解析度要求较高的产品均需要黄光制程、覆光阻、曝光、显影、蚀刻、脱膜、清洗等多个步骤,从而使得传统制备ITO膜层图案的工艺比较复杂且成本高。同时,在传统的制备工艺流程中,需要通过化学刻蚀,而...
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