一种扫频振镜式OCT系统的制作方法

文档序号:18385177发布日期:2019-08-09 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扫频振镜式OCT系统,其特征在于:包括

扫频激光发生装置,生成探测光束以及与探测光束相干的参考光束;

样品臂,使得探测光束扫描到待扫描的样品上,探测光束照射到样品上发生反射产生反射光束,所述样品臂包括扫描振镜和平场透镜;

参考臂,用于调节参考光束的光路;

所述参考臂中包含一个可调的光学延迟装置,用于调节参考臂光程;

光束检测装置,使所述反射光束与所述参考光束相互干涉以生成干涉光信号,并对所述干涉光信号进行检测。

2.如权利要求1所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述扫频激光发生装置包括扫频激光器和分光镜,所述分光镜将所述扫频激光束分为所述探测光束和所述参考光束。

3.如权利要求2所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述扫频激光器采用线宽为110nm的扫频激光器。

4.如权利要求1所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述反射光束与所述参考光束的相干长度为20mm。

5.如权利要求1所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述光学延迟装置包括步进电机和设置于参考臂中的反光镜组,所述反光镜组至少有两个反光镜,反光镜之间的相对角度随步进电机的驱动而调整。

6.如权利要求5所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述反光镜组将所述参考光束反射至所述光束检测装置。

7.如权利要求1所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述光束检测装置包括探测器、光电转换器和数据处理及显示器,所述探测器将所述反射光束和所述参考光束相互干涉形成干涉光信号,所述光电转换器将所述干涉光信号转换为电信号,所示数据处理及显示器将所述电信号转换成样品结构信息的成像。

8.如权利要求7所述的扫频振镜式OCT系统,其特征在于:所述扫描振镜和所述数据处理及显示器通过统一的同步信号进行连接。

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