面式敷贴组件的制作方法

文档序号:19634351发布日期:2020-01-07 11:50阅读:来源:国知局
技术总结
一种面式敷贴组件,其构造用于在所述敷贴组件的贴靠侧(109)产生介电阻挡的等离子体,所述面式敷贴组件具有面式电极组件(112),所述面式电极组件埋入面式电介质(102)中、能以高压信号供给并且全面地相对不受阻电流被屏蔽,所述面式敷贴组件由此而具有改进的稳定性和与长形处理面的匹配性:所述敷贴组件以一宽度在纵向(L)上延伸并且在纵向(L)上具有多个相同地构造的区段(101),所述区段分别具有在所述敷贴组件的宽度内的电介质区段和分别具有至少一个电极区段,所述区段(101)的电极区段在纵向(L)上相互衔接并且构成在整个长度上延伸的电极组件(112),在横向于所述纵向(L)延伸的设定分离线(103)上能够使至少一个区段(101)与相邻的区段(101)分离,用于在纵向(L)上减小贴靠面,并且在余下的区段(101)上,所述设定分离线(103)以绝缘的结构元件(116)遮盖。

技术研发人员:D·万德克;M·哈恩尔;K-O·施托克;M·里克;L·特鲁特威格
受保护的技术使用者:奇诺格有限责任公司
技术研发日:2018.04.23
技术公布日:2020.01.07

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