吸着垫的制作方法

本发明涉及一种利用电性吸着力吸着于被吸着物而使用的吸着垫，详细而言，涉及一种除了能够吸着并保持于导电体之外，而且例如，能够吸着并保持于如动物或植物及这些的加工物等的柔软并且具有某种程度的水分或油分那样的被吸着物、特别是能够吸着并保持于人体的皮肤的吸着垫。

背景技术：

近年来，穿戴于身体等的所谓可穿戴(wearable)的新型电气产品不断上市，例如，欲通过各种传感器而收集生物体的数据的机会等升高。在此种用途中，可考虑使用具有粘接剂或粘着剂等粘接部件的垫子，但若使用粘接剂或粘着剂等，则存在拆装耗费工夫，并且无法重复使用的缺点。

且说，作为通过电性吸着力而使被吸着物吸着的装置，自之前以来，是使用静电卡盘(chuck)。静电卡盘主要用于工业，用以进行对半导体基板或玻璃基板进行处理时的吸着与保持，通常具备自上下方向分别利用电介质夹入电极的结构，通过根据吸着原理对电极施加电压，可将其中一个电介质的表面作为吸着面而吸着被吸着物，有时具有如下的结构，即，包括加热部件，或者与包括使冷媒流入的管路的金属制底座一体粘接。又，除了对此种半导体基板等进行处理的静电卡盘以外，本申请的发明者等人也已提出应用了静电卡盘的电性吸着的结构及原理的静电吸着结构体。

例如，在专利文献1中，已提出一种结构变更的方便性高的静电吸着结构体，即，可通过使将两个电介质夹入至电极的多个薄片构件层叠，对电极间施加电压，而吸着固定构件彼此，并且可使其他吸着面吸着纸或树脂薄片等展示物或公开物等，在使用后可通过切断电压的施加，而使薄片构件彼此或被吸着物容易地分离。又，例如，在专利文献2中，已提出一种发电装置，将在两个绝缘层之间夹入有吸着电极的静电卡盘的表面作为拆装部件，在其上安装薄膜状的太阳电池，由此使得设置地点的选择性及拆装性优良。这些专利文献1的静电吸着结构体或专利文献2的发电装置是使用静电卡盘的吸着原理，拆装性优良，并且薄且在操作性上下了功夫，但是说到底，其目的在于吸着固定于如上所述的工业产品或日用品之类的比较大型且表面相同的人造物体，对如人体的皮肤等的柔软并且具有某种程度的水分或油分那样的被吸着物的应用则尚未探讨。事实上，在这些专利文献1所记载的静电吸着结构体或专利文献2所记载的发电装置中，作为具体的介电层(绝缘体)，宜使用聚酰亚胺薄膜或聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethyleneterephthalate，pet)薄膜，但根据本发明者等人的事先探讨，当欲使这些静电吸着结构体(发电装置)吸着于生物体(例如，人体的皮肤等)时，虽然详细的原因未确定，但可推测会通过在静电卡盘表面上产生反带电而产生吸着力的减少，从而与使用半导体基板等的情况相比，所述反带电的产生及吸着力显著减少，故可推断人体皮肤的水分或油分是更强烈地引起此现象的物质。

又，作为其他理由，在之前以来的静电卡盘中，为了获得充分的吸着力，在对象物与卡盘之间需要充分的接触面积，为了增大接触面积，迄今为止是将吸着对象侧及卡盘侧均设为平坦且一样。在此方面，生物体(例如，人体的皮肤等)的表面通常某种程度柔软并且弯曲，因此可知在如现有的静电卡盘中，是仅一部分吸着面接触，从而无法获得充分的吸着力。

此外，不仅反带电或接触面积的问题，而且原本现有的静电卡盘的吸着原理即所谓的库仑力(coulombforce)中，力本来就弱(数g/cm²)，从而无法获得可吸着于生物体而利用那样的有效的力。因此，需要如约翰逊·拉贝克(johnsonrahbek)效应的产生于卡盘表面与生物体的界面上的其他更强的力，作为使用约翰逊·拉贝克效应的静电卡盘，自之前以来多见使用陶瓷的卡盘，但是迄今为止几乎未报告有特别是使用可期待能够确保与吸着对象物的接触面积那样的追踪性的树脂的卡盘。

另一方面，作为吸着于人体的皮肤而使用者，例如，自之前以来已知有如专利文献3所记载的心电测定用的电极垫、或者如专利文献4所记载的发汗量测定用贴片(patch)等医疗用具等，但这些均是在吸着面上使用粘着剂，而并非利用电性吸着力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：wo2011/001978号公报

专利文献2：wo2012/128147号公报

专利文献3：日本专利特开2017-113141号公报

专利文献4：日本专利特开2017-023408号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

基于此种现有技术，本申请的发明者等人针对可利用电性吸着力，对如柔软并且具有某种程度的水分或油分的被吸着物、特别是人类的皮肤进行吸着那样的部件进行潜心研究，结果首次发现，通过至少在对被吸着物的吸着面上，采用具有特定的拉伸弹性模量并且具有特定的体积电阻值的树脂薄膜，形成为将所述树脂薄膜与其他树脂薄膜一并夹入电极层而加以层叠的层叠薄片，设为与能够对电极层施加电压那样的电源装置一并使用的简便的吸着垫的结构，可不使用如现有的粘着剂，而通过电性吸着力，特别是对人类的皮肤也可追踪性良好地进行吸着及保持，从而完成本发明。

因此，本发明的目的在于提供一种可利用电性吸着力，特别是对人类的皮肤追踪性良好地进行吸着及保持的吸着垫。

解决问题的技术手段

即，本发明的主旨如以下所述。

[1]一种吸着垫，吸着于被吸着物而使用，所述吸着垫的特征在于包括：层叠薄片，依次层叠有厚度20μm～200μm的第一树脂薄膜、厚度1μm～20μm的电极层及厚度20μm～200μm的第二树脂薄膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；且至少所述第二树脂薄膜的拉伸弹性模量为1mpa以上且未满100mpa，并且其体积电阻率为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹³ω·cm，通过对所述电极层施加电压而产生的电性吸着力，可使所述第二树脂薄膜作为吸着面，吸着于被吸着物。

[2]根据[1]所述的吸着垫，其中所述第二树脂薄膜包含软质聚氯乙烯。

[3]根据[1]或[2]所述的吸着垫，其中被吸着物是选自由人体皮肤、脏器、动物的皮肤、植物、肉及肉加工物、蔬菜及蔬菜加工物、以及水果及水果加工物所组成的群中的任一者或其组合。

[4]根据[1]～[3]中任一项所述的吸着垫，其中所述电极层包含具有第一电极及第二电极的双极型电极。

[5]根据[1]～[3]中任一项所述的吸着垫，其中所述电极层包含单极型电极。

[6]一种吸着方法，将所述[1]～[4]中任一项所述的吸着垫吸着于被吸着物，所述吸着方法的特征在于，

通过作为电极层，使用包含具有第一电极及第二电极的双极型电极的电极层，对所述第一电极及第二电极分别施加正的或负的对称电压，而一面使得被吸着物的电位成为大致0v，一面对所述电极层施加电压，使吸着垫与被吸着物吸着。

[7]一种吸着方法，将所述[1]～[3]或[5]中任一项所述的吸着垫吸着于被吸着物，所述吸着方法的特征在于，

通过作为电极层，使用包含单极型电极的电极层，将所述电源装置中的电压的产生源的地线与被吸着物加以接地连接(接地)，而一面使得被吸着物的电位成为大致0v，一面对所述电极层施加电压，使吸着垫与被吸着物吸着。

发明的效果

根据本发明，可提供一种能够利用电性吸着力，同时对如柔软并且具有某种程度的水分或油分的被吸着物，特别是对人类的皮肤也追踪性良好地进行吸着及保持的吸着垫。由于如上所述可通过电性吸着力而吸着及固定，故可不使用粘接剂或粘着剂等化学性粘接部件而反复使用，此外，也无需用于这些化学性粘接部件的脱模薄膜等，故而简便且成本性也佳。而且，通过利用本发明的技术，可在以人类的皮肤为首的生物体或相当于所述生物体的被吸着物的表面上安装可穿戴的电气产品等(例如，读取生物体的信息的各种传感器、医疗设备、装饰品)，例如，可期待向医疗、美容、运动、服饰、可穿戴装置等领域或业界展开。

附图说明

[图1]图1是用以说明双极型的层叠薄片的一形态的示意图，(i)是俯视图，(ii)是说明a-a剖面上的层叠前的状态的剖面说明图，(iii)是说明b-b剖面上的层叠前的状态的剖面说明图。(ii)及(iii)中的白箭头表示对被吸着物的吸着面。

[图2]图2是用以说明与电源装置一并使用图1所示的双极型的层叠薄片而形成为本发明的吸着垫的一实施方式(电路结构)的示意说明图。

[图3图3是用以说明实施例中所使用的单极型的层叠薄片的示意图，(i)是俯视图，(ii)是说明x-x剖面上的层叠前的状态的剖面说明图，(iii)是说明y-y剖面上的层叠前的状态的剖面说明图。(ii)及(iii)中的白箭头表示对被吸着物的吸着面。

[图4]图4是用以说明与电源装置一并使用图3所示的单极型的层叠薄片而形成为本发明的吸着垫的一实施方式(电路结构)的示意说明图。

[图5]图5是用以说明在实施例中进行的吸着垫的吸着性的评估方法的说明照片。图中的白箭头表示铅垂向下方向。

具体实施方式

以下，对本发明进行详细说明。

本发明的吸着垫如图1～4所示，至少包括：层叠薄片，依次层叠第一树脂薄膜、电极层及第二树脂薄膜，将电极层夹入至树脂薄膜而成；以及电源装置，对电极层施加电压。又，也可为如图1及图2所示，作为电极层，可以是具有正电极及负电极的双极型，或者如图3及图4所示，仅具有正(负)电极而使负(正)电极侧接地的单极型。以下，对各结构进行详细说明。

＜树脂薄膜＞

关于通过本发明的吸着垫而使用的第一树脂薄膜及第二树脂薄膜，在本发明中，是将第二树脂薄膜设为对被吸着物的吸着面，但是至少成为所述吸着面的所述第二树脂薄膜的体积电阻率必须为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹³ω·cm。如后述的实施例中所示，若所述吸着面的第二树脂薄膜的体积电阻率超过1×10¹³ω·cm，则对被吸着物(人体皮肤等)的吸着力会下降，例如，也会因吸着垫的自重而落下。另一方面，若体积电阻率未满1×10¹⁰ω·cm，则可推测作用至被吸着物的吸着力自身增大，然而在吸着垫与被吸着物之间会连续地产生小的放电，特别是在用于人体方面，也存在伴随着瘙痒或疼痛的情况，有可能对皮肤造成损伤，因而欠佳。自吸着力的表现与安全性的两面而言，优选为所述体积电阻率为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹²ω·cm。

再者，针对本发明中在被吸着物的与吸着面相反的一侧使用的第一树脂薄膜，可适当设定其体积电阻率，但有可能使应通过第二树脂薄膜流入至与被吸着物之间的电流流向第一树脂薄膜侧，因此第一树脂薄膜的体积电阻率优选为等于或大于第二树脂薄膜的体积电阻率。

又，关于成为吸着面的所述第二树脂薄膜，必须将其拉伸弹性模量(杨氏模量)设为1mpa以上且未满100mpa。特别是当将如人体皮肤等的比较柔软的被吸着物作为对象时，虽然详细的原理未确定，但是要求能够追随于被吸着物的形状而吸着，并且能够在吸着于被吸着物时尽可能地抑制产生于吸着垫内部的斥力(应力)而保持吸着状态，因此关于所述树脂薄膜，至少将成为吸着面的第二树脂薄膜的拉伸弹性模量(杨氏模量)设为所述范围。再者，关于在与被吸着物的吸着面相反的一侧所使用的第一树脂薄膜，可适当设定其拉伸弹性模量(杨氏模量)，但是为了不阻碍整个吸着垫(层叠薄片)的柔软性，第一树脂薄膜的拉伸弹性模量(杨氏模量)优选为等于或小于第二树脂薄膜的拉伸弹性模量(杨氏模量)。

又，关于所述树脂薄膜，为了确保绝缘性、对被吸着物的吸着的追踪性及吸着力，第一树脂薄膜及第二树脂薄膜均必须将其各厚度设为20μm～200μm，优选的是可设为50μm～100μm。当所述厚度未满20μm时，容易引起介电击穿，由此若在树脂薄膜上形成针孔(pinhole)，则有可能不再作为吸着垫而发挥作用。另一方面，当超过200μm时，对被吸着物的吸着的追踪性会变差，或相对于被吸着物的距离增大，由此吸着力有可能下降，故而欠佳。

而且，作为如上所述的树脂薄膜的具体例，关于第一树脂薄膜及第二树脂薄膜，既可分别相同，且也可不同，可列举聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、尼龙、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯等，或者可列举为了调整这些的导电性而经加工(混入填料等)者等。特别是关于第二树脂薄膜，为了将体积电阻率及拉伸弹性模量设为所述规定的范围内，优选为聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯，更优选为软质聚氯乙烯。

＜电极层＞

本发明中所使用的电极层中，对其材质、形状等并无特别限定，但必须将其厚度设为1μm～20μm。当厚度未满1μm时，有可能因吸着垫的变形而引起电极层的断开或导电性的下降，另一方面，当厚度超过20μm时，存在电极层的硬度升高的倾向，因此有可能阻碍整个吸着垫的柔软性，而使得相对于被吸着物的追踪性欠缺。关于材质、制法，例如，既可直接使用金属箔，或为将通过溅射法、离子电镀(ionplating)法等而成膜的金属蚀刻成规定的形状而获得者，又，也可为热喷涂金属材料，或印刷导电性油墨而形成为规定的形状者。作为形状，例如，可适当选定平板状、半圆状、梳齿状或如网眼的图案形状等。

＜层叠薄片＞

而且，必须使用如上所述的第一树脂薄膜及第二树脂薄膜以及电极层，将这些加以层叠而形成为层叠薄片。电极层必须以不露出的方式夹入至树脂薄膜，作为具体的方法，有如下的方法：使这些树脂薄膜及电极层依次层叠，施加热及压力，利用树脂薄膜自身的热塑性，使这些熔合。或者，也可根据需要利用接合薄片或粘接剂或者粘着剂而粘接。但是，当使吸着垫变形及伸缩时，若在粘接层中插入有其他原料，则有可能阻碍变形及伸缩，或引起粘接面的剥离，因此优选为通过薄膜的热塑性而使这些熔合的方法。

＜电源装置＞

如上所述形成层叠薄片之后，需要用以对电极层施加电压而产生电性吸着力的电源装置。电源装置可经由连接端子及开关(均未图示)而与所述层叠薄片的电极层连接，可使用与一般的静电吸着结构体中所使用的装置相同的装置，只要能够产生直流的高电压即可。产生的电位差可设为500v～5000v左右为止，也可设为包括根据需要，升压至需要的电压为止的升压电路(高电压产生电路)。特别是为了将本发明的吸着垫应用于人体的皮肤，优选的是设为考虑到以下的(a)～(c)的设计。即，

(a)为了产生充分的吸着力，尽可能地赋予高电压。

(b)将人体的电位尽可能地设为0v。其原因在于，若施加至人体的电位偏向正或负中的任一者，则静电会滞留于人体内，在放电时会受到冲击。

(c)即使产生万一，也使得对人体造成危险的程度的电流不会流入。

优选为在如上所述的(a)～(c)的设计思想下，特别是考虑到(b)及(c)，而确定赋予至吸着垫的电压。而且，为了实现(b)，当使用单极型的电极层时，优选为在被吸着物(人体皮肤)与电源装置中的电压的产生源(例如，高电压产生电路)的地线上，进行接地(earth)连接，另一方面，当使用双极型的电极层时，优选为在电极层中的第一电极及第二电极上，分别施加正的及负的对称电压，由此优选为使得人体尽可能地成为0v。此外，为了实现(c)，优选为将来自电源的输出电流抑制在0.5ma以下。其原因在于，若为0.5ma以下，则通常，人体无法感知。但是，当如电流蓄积于吸着垫或人体内而一下子放电时，存在产生大电流的情况，因此将吸着垫的静电电容设为与人体同等程度的1000pf以下，具体而言设为10pf～100pf左右，将电压设为±5000v以内，由此即使蓄积于人体内，也为5μc以下，因此优选为如上所述而设定。

以包括如上所述的层叠薄片及电源装置的方式而形成为本发明的吸着垫。本发明的吸着垫也可根据需要，另行设置传感器等，并且，例如，也可进行电极层的图案的变更等，在本发明的目的的范围内适当进行结构的变更及追加等。

再者，作为被吸着物，导电体毋庸置言，缺乏导电性的纸或布等也可作为对象，特别是以人体的皮肤为首，相当于人体皮肤那样的柔软并且具有某种程度的水分或油分的物体，即具有吸着垫能够接触及吸着的固定的面的物体(例如，脏器，动物的皮肤，植物，肉及肉加工物、蔬菜及蔬菜加工物、水果及水果加工物等食品，或者这些的组合)，也可作为对象。又，虽然其吸着的原理未确定，但可推测其原因在于，在吸着垫(层叠薄片)的吸着面与被吸着物之间会产生微小的电流，从而可推测因约翰逊·拉贝克效应而产生的吸着力作用于吸着垫(层叠薄片)的吸着面与被吸着物之间。

实施例

以下，基于实施例及比较例，对本发明的优选实施方式进行具体说明，但本发明并非由此加以限定并且解释。

[制造例1]

作为双极型的吸着垫，将具有如图1所示的尺寸(单位：mm)的规定的形状的两块铝箔b(厚度：0.012mm)设为电极层，将其自上下利用包含两块软质聚氯乙烯的树脂薄膜c及树脂薄膜c'〔均是体积电阻率：1×10¹⁰ω·cm(通过后述的方法而测定)、拉伸弹性模量(杨氏模量)：20mpa～30mpa、厚度100μm〕加以夹入，在温度150℃下进行热压接，而形成为双极型的层叠薄片a。

再者，关于所述经制作的层叠薄片a，例如，包括如图2所示的电源装置〔包含电池d(直流(directcurrent，dc)3.7v)、直流-直流(directcurrent-directcurrent，dcdc)转换器e(5v输出)及高电压产生电路f(±2000v输出)的电源装置〕而形成为本发明的吸着垫h，通过对电极层中的第一电极及第二电极分别施加正的(+2000v)及负(-2000v)的对称电压，可相对于被吸着物(人体皮肤)g，以被吸着物(人体)的电位成为大致0v的方式而安装。

[实施例1]

＜吸着垫的制作＞

作为单极型的吸着垫，将具有如图3所示的尺寸(单位：mm)的具有规定的形状的一块铝箔b(厚度：0.012mm)作为电极层，又，使用软质聚氯乙烯薄膜c'〔体积电阻率：1×10¹⁰ω·cm(通过后述的方法而测定)，拉伸弹性模量(杨氏模量)：20mpa～30mpa，厚度100μm〕作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜，然后，使用聚酰亚胺薄膜c〔东丽·杜邦(toraydupont)股份有限公司制，商品名：卡普顿(kapton))(注册商标)h，厚度25μm〕作为用于与吸着面为相反侧的面的第一树脂薄膜，在所述第一树脂薄膜上另外使用厚度30μm的包含硅酮的粘着层(未图示)，将这些全部加以压接并且粘合，作为将电极层夹入至第一树脂薄膜及第二树脂薄膜而成的单极型的层叠薄片a'而获得。

对如上所述而制作的层叠薄片a'，配备如图4所示的电源装置〔包含商用电源d'(交流电(alternatingcurrent，ac)100v)、ac适配器e'(5v输出)及高电压产生电路f(-4000v输出)的电源装置〕而形成为本发明的吸着垫h'，将其安装于被吸着物(人体皮肤)g上。被吸着物(人体皮肤)g及高电压产生电路f的地线(未图示)为接地连接。

＜吸着垫的吸着性的评估＞

如图5所示，相对于人体(成人男性)的前臂部的皮肤g'，对以上所述而制作的实施例1的吸着垫h'，将电源装置设为接通(on)之后，一面以沿铅垂向下方向(图中的白箭头方向)施加载荷的方式利用另一只手进行按压，一面进行贴附，使吸着垫与前臂部的皮肤之间产生电性吸着力而加以保持。在吸着垫的下端安装包含黄铜的砝码j，确认能够抓持几克的砝码，将其作为吸着性的评估。砝码的保持时间设为15秒以上。将结果示于以下的表1。

[表1]

再者，关于所述实施例1中的软质聚氯乙烯薄膜的体积电阻率，是通过双环电极法(国际电工委员会(internationalelectrotechnicalcommission，iec)60093、美国试验材料学会(americansocietyfortestingandmaterials，astm)d257、日本工业标准(japaneseindustrialstandards，jis)k6911、jisk6271)而测定，关于后述实施例2～实施例6及比较例1～比较例3中所使用的各树脂薄膜的体积电阻率，也通过相同的方法而测定。

[实施例2]

除了作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜c'，使用体积电阻率为1×10¹²ω·cm(通过前述的方法而测定)、及拉伸弹性模量(杨氏模量)为20mpa～30mpa的软质聚氯乙烯薄膜(厚度100μm)以外，以与所述实施例1同样的方式制作实施例2的吸着垫，又，以相同的方式进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[实施例3]

除了作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜c'，使用体积电阻率为1×10¹³ω·cm(通过前述的方法而测定)的软质聚氯乙烯薄膜(厚度：100μm)以外，以与所述实施例1同样的方式制作实施例3的吸着垫，又，以相同的方式进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[实施例4]

除了利用所述实施例1中所使用的吸着垫h'，并且，利用观叶植物的叶(植物名：爱心榕(ficusumbellata))取代人体的皮肤作为被吸着物g'，使吸着垫h'吸着于其表面以外，以与所述实施例1相同的方式进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[实施例5]

除了利用所述实施例1中所使用的吸着垫h'，并且，利用加工猪肉(食品工作室(foodlier)股份有限公司制商品名：里脊火腿)取代人体的皮肤作为被吸着物g'，某种程度擦除表面的油分之后，使吸着垫h'吸着于其表面以外，以与所述实施例1相同的方式进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[实施例3]

除了利用所述实施例1中所使用的吸着垫h'，并且，利用蔬菜的茄子取代人体的皮肤作为被吸着物g'，不进行切割等加工而使吸着垫h'自其外皮的表面进行吸着以外，以与所述实施例1相同的方式进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[比较例1]

除了作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜c'，使用体积电阻率为1×10¹⁵ω·cm(通过前述的方法而测定)的软质聚氯乙烯薄膜(中川化学股份有限公司制商品名：711m，厚度：100μm)以外，以与所述实施例1同样的方式制作比较例1的吸着垫h'，又，以相同的方式对人体皮肤进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[比较例2]

除了作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜c'，使用聚酰亚胺薄膜〔东丽杜邦股份有限公司制商品名：卡普顿(kapton)(注册商标)h，体积电阻率：1×10¹⁷ω·cm(通过前述的方法而测定)，拉伸弹性模量(杨氏模量)：3×10³mpa，厚度50μm〕以外，以与所述实施例1同样的方式制作比较例2的吸着垫h'，又，以相同的方式对人体皮肤进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

[比较例3]

除了作为成为被吸着物的吸着面的第二树脂薄膜c'，使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)薄膜〔东丽股份有限公司制商品名：露米勒(lumirror)(注册商标)s10，体积电阻率：1×10¹⁷ω·cm(通过前述的方法而测定)，拉伸弹性模量(杨氏模量)：4×10³mpa，厚度50μm〕以外，以与所述实施例1同样的方式制作比较例3的吸着垫h'，又，以相同的方式对人体皮肤进行其吸着性的评估。结果如表1所示。

符号的说明

a：层叠薄片(双极型)

a'：层叠薄片(单极型)

b：电极层

c：第一树脂薄膜

c'：第二树脂薄膜

d：电池

d'：商用电源

e：dcdc转换器

e'：ac适配器

f：高电压产生电路

g、g'：被吸着物(人体皮肤等)

h：吸着垫(双极型)

h'：吸着垫(单极型)

i：接地

j：砝码