专利名称：毛刷轮处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种处理装置，且特别涉及一种毛刷轮处理装置。
背景技术：
由于平面显示技术的突飞猛进，其应用逐渐从电脑用屏幕延伸至家用电
视。就薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制程而言，清洗步骤经常连接于 镀膜、微影及蚀刻等步骤之前、中、后等时机，用以维持显示器基板在生产 过程中的表面洁净度。
基板表面的清洗方式包括化学性及物理性的清洗方式。举例而言，利用 转动中的毛刷轮表面的纤毛来刷洗(scrub)基板表面以达到清洗目的属于物 理性的清洗方式。毛刷刷洗(brush cleaning)通常应用于刚拆封后的素玻璃 基板的清洗，并广泛地应用于目前的湿式清洗设备。由于显示器基板的尺寸 的不断增加，大尺寸素玻璃基板的清洗步骤大多已采用毛刷刷洗，所以毛刷 刷洗装置的零组件具有很大的市场商机。
在实际应用上，以滚轮式毛刷来清洗基板表面可以有助于清除基板表面 的异物(partide)，利用此形态的毛刷轮的旋转来清洗基板表面，使得进行制 程前的基板表面的洁净度提升，进而提升产品的合格率。然而，清洗装置在 长时间的运行下，随着毛刷接触基板的时间增加，毛刷的清洁能力将随着运 行时间增长而衰退，甚至异物会黏附于毛刷中，反而成为在各制程中的污染 源，造成产品的质量异常，因而不利于显示器的产品合格率的提升。
另一方面，毛刷在上线使用前，通常需要进行老化(aging)的预处理步骤， 以保持毛刷新品上线使用时的制程稳定性。当毛刷新品使用在线生产机台来 进行老化处理时，此生产机台将无法进行正常的生产作业，因而不利于显示 器的产能的提升
发明内容
本发明提供一种毛刷轮处理装置，其可提供不同尺寸的毛刷进行再生处 理、老化处理等处理程序。
本发明提出一种毛刷轮处理装置，适于对一毛刷轮进行相关作业，毛刷 轮具有旋转轴，而毛刷轮处理装置包括槽体、固定式轴承以及多个可调式轴 承，其中固定式轴承与多个可调式轴承位于槽体内，其中可调式轴承依旋转 轴的轴线方向延伸依序设置，且可调式轴承相对于固定式轴承设置，使得旋 转轴的第一端承靠于固定式轴承上，而旋转轴的第二端承靠于可调式轴承的 其中之一。各可调式轴承包括柱体、多个第一从动轮以及第二从动轮组。柱 体具有贯孔，且旋转轴的第二端穿设于贯孔内。多个第一从动轮设置于柱体 上的贯孔外围，并与第二端承靠。第二从动轮组具有调整器以及第二从动轮， 其中第二从动轮设置于柱体上的贯孔外围，且部分外露于贯孔内，调整器的 一端与第二从动轮连结，另一端则枢设于柱体上，以此，第二从动轮组可在 柱体上移动，依据旋转轴的轴径，来决定进入于贯孔内的距离，以配合第一 从动轮对第二端进行固定，而达到固定毛刷轮于固定式轴承与可调式轴承的 其中之一的要求。
在本发明的一实施例中，上述的毛刷轮处理装置还包括一位于槽体内的 模拟基板，其与毛刷轮接抵。此时，模拟基板例如是以直立的方式配置于毛 刷轮旁，而模拟基板例如为玻璃基板或晶圆。此外，毛刷轮处理装置还包括 压入量调整器，连接于固定式轴承以及可调式轴承，用以调整毛刷轮的旋转 轴的轴心相对于模拟基板的表面的距离。
在本发明的一实施例中，上述的各可调式轴承与固定式轴承之间具有不 同间距。
在本发明的一实施例中，上述的各可调式轴承的柱体具有一平行于毛刷 轮的旋转轴的位移调整量，位移调整量实质上为1厘米。
在本发明的一实施例中，上述的调整器包括一连杆，连杆以一枢转轴线 枢设于柱体上，第二从动轮沿着枢转轴线往毛刷轮靠近，使得毛刷轮夹持于 第一从动轮以及第二从动轮之间。此时，各可调式轴承的柱体上具有一限位 凹槽，而连杆具有一位于限位凹槽内的限位部，使得第二从动轮通过连杆而 限位在限位凹槽内。
在本发明的一实施例中，上述的毛刷轮处理装置还包括驱动马达，其中驱动马达与第一端连接，驱动马达用以驱使旋转轴沿着一旋转轴线来旋转。
在本发明的一实施例中，上述的毛刷轮处理装置还包括一喷嘴，设置于 毛刷轮旁，喷嘴适于提供一处理液至毛刷轮上。此时，喷嘴面朝毛刷轮而设 置，而将处理液直接喷洒于毛刷轮上。或者，上述的毛刷轮处理装置还包括
流体容置空间，其设置于毛刷轮旁，处理液自流体容置空间中溢流(overflow) 至毛刷轮上，而处理液包括水或药液。
基于上述，本发明的有益技术效果在于，该毛刷轮处理装置可根据不同 长度的毛刷轮选用不同的可调式轴承，并且通过第二从动轮组可将不同轴径 的毛刷轮加以固定，进而达到对不同尺寸的毛刷轮进行老化处理、再生处理 或相关作业的目的，本发明的基板清洗装置可以提升毛刷轮对基板的清洗效 能，提升产品合格率，并提升生产机台的产能。
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举多 个实施例，并配合附图，作详细说明如下。
图1A是本发明的一实施例的一种毛刷轮处理装置的外观图。
图1B是图1A的毛刷轮处理装置的俯视图。
图2A为本发明的一种毛刷轮处理装置中的可调式轴承的主视图。
图2B为本发明的一种毛刷轮处理装置中的可调式轴承的侧视图。
图2C为本发明的一种毛刷轮处理装置中，其可调式轴承夹持不同轴径
的毛刷轮的状态示意图。
图3为本发明的毛刷轮处理装置的一种处理状态示意图。
图4A为本发明的毛刷轮处理装置的一种应用示意图。
图4B为本发明的一种毛刷轮处理装置中的压入量调整器的示意图。
图4C为本发明的毛刷轮处理装置中，毛刷轮相对于模拟基板具有不同
压入量的状态示意图。
其中，附图标记说明如下
200、 300、 400:毛刷轮处理装置
210、 210E、 210F:毛刷轮
212、 212C、 212D:旋转轴 212B:第二端212A:第一端220:槽体
230:固定式轴承240:可调式轴承
242:柱体244:第一从动轮
250:第二从动轮组246:贯孔
248:限位凹槽252:调整器
252S:枢转轴线254:第二从动轮
256:限位部270:模拟基板
280:喷嘴290:流体容置空间
292:驱动马达410:压入量调整器
412:滑块414:螺杆
d:位移调整量Dl、D2、 D3:间距
Pc、 Pd:位置S:轴线方向W:毛刷轮的轴心相对于模拟基板的表面的距离
具体实施例方式
图1A是本发明的一实施例的毛刷轮处理装置的外观图，而图1B是图 1A的毛刷轮处理装置的俯视图，毛刷轮处理装置200适于对毛刷轮210进 行相关作业。如图1B所示，在本实施例中，毛刷轮处理装置200所处理的 毛刷轮210数目以两支为例，此毛刷轮处理装置200也可以视需求而增加单 批次可处理的毛刷轮210数量，本发明并不以此为限。请参考图1A及图1B， 毛刷轮210具有旋转轴212，且在本实施例中，毛刷轮处理装置200是以毛 刷轮210的旋转轴212为轴心，进行毛刷轮210的相关作业，其中相关作业 例如是老化处理作业或再生处理等，将于后文进行详细说明。
请继续参照图1A与图1B，毛刷轮处理装置200包括槽体220、固定式 轴承230以及多个可调式轴承240。固定式轴承230与多个可调式轴承240 位于槽体220内，其中多个可调式轴承240相对于固定式轴承230设置，并 依旋转轴212的轴线方向S延伸并依序设置。如图1B所示，旋转轴212的 第一端212A承靠于固定式轴承230上，而旋转轴212的第二端212B可依 其长度而选择性地承靠于可调式轴承240的其中之一。
详言之，各可调式轴承240与固定式轴承230之间具有不同间距Dl、D2、 D3，以根据使用于不同世代(Generate)基板的毛刷轮210的设置。举例 而言，对于五代(Generate5)的玻璃基板尺寸而言，其所使用的毛刷轮210长 度例如实质上为1100厘米或1300厘米，因此，如图1B中的可调式轴承240A 与固定式轴承230之间的间距可以设计为Dl，以提供五代机台中使用的毛 刷轮210进行处理作业。此外，图1B中的可调式轴承240B与固定式轴承 230之间的间距D2可以设计为六代(Generate 6)的玻璃基板所使用的毛刷轮 210长度，而可调式轴承240C与固定式轴承230之间的间距D3可以设计为 七点五代(Generate 7.5)的玻璃基板所使用的毛刷轮210长度。因此，本发明 的毛刷轮处理装置200可以将使用于不同世代的玻璃基板的毛刷轮210整合 于同一装置来进行相关的处理作业，而不需针对不同世代的毛刷轮210个别 购入处理设备，因而节省制造成本。此外，在实际应用层面上，本发明的毛 刷轮处理装置200可以采用离线方式作相关处理作业，不会影响生产机台的 生产时效，有助于产能的提升。
图2A与图2B分别为本发明的一种毛刷轮处理装置中的可调式轴承的主 视图与侧视图。请同时参照图2A与图2B，各可调式轴承240包括柱体242、 多个第一从动轮244以及第二从动轮组250。柱体242具有贯孔246，而旋 转轴212的第二端212B穿设于贯孔246内。第二从动轮组250具有调整器 252以及第二从动轮254，而多个第一从动轮244与第二从动轮254设置于 柱体242上的贯孔246外围，并与第二端212B承靠。在本实施例中，由于 旋转轴212中穿射贯孔246的部分的轴径等于旋转轴212中被所述从动轮夹 持的部分的轴径，因此第一从动轮244与第二从动轮254的部分分别外露于 贯孔246内。在其它实施例中，当穿射贯孔246的部分旋转轴212的轴径与 承靠所述从动轮的部分旋转轴212的轴径不同时，第一从动轮244与第二从 动轮254也可以分别不外露于贯孔246内，本发明并不以此为限。
请继续参照图2A与图2B，在第二从动轮组250中，调整器252的一端 与第二从动轮254连结，另一端则枢设于柱体242上，以此，第二从动轮组 250可在柱体242上移动，第二从动轮组250依据旋转轴212的轴径来决定 进入于贯孔246内的距离，以配合第一从动轮244对第二端212B进行固定， 而稳固地将毛刷轮210固定于固定式轴承230或可调式轴承240。详言之， 在本实施例中，调整器252包括连杆，而柱体242上具有限位凹槽248，并且连杆具有一位于限位凹槽248内的限位部256，以使得第二从动轮254被 限位于限位凹槽248的范围内移动。如图2A与图2B所示，连杆以一枢转轴 线252S枢设于柱体242上，第二从动轮254沿着枢转轴线252S往旋转轴212 靠近，第二从动轮254向毛刷轮靠近的轨迹如图2A中的轨迹S所示。如此 一来，毛刷轮210可以被稳固地夹持于第一从动轮244以及第二从动轮254 之间。并且，由于第一从动轮244与第二从动轮254可以分别根据旋转轴212 的旋转而相对于柱体242转动，因此第一从动轮244与第二从动轮254在固 定旋转轴212的同时，亦可有效避免旋转轴212与所述从动轮之间的摩擦。
值得注意的是，本发明的毛刷轮处理装置200可以通过第二从动轮组250 的设计，而将不同轴径的旋转轴212顺利地固定于可调式轴承240以及固定 式轴承230之间。图2C为本发明的一种毛刷轮处理装置中，其可调式轴承 夹持不同轴径的毛刷轮的状态示意图。请参照图2C，旋转轴212C具有较大 的轴径时，第二从动轮254的位置为Pc，而将较大轴径的旋转轴212C夹持 于第一从动轮244与第二从动轮254之间。旋转轴212D具有较小的轴径时， 第二从动轮254的位置可调变地位移至Pd，使得较小轴径的旋转轴212D夹 持于第一从动轮244与第二从动轮254之间。
请同时参照图2A 图2C，使用者可以通过调整器252而轻易地调整第 二从动轮254与旋转轴212的靠近程度。换言之，本发明的毛刷轮处理装置 200通过第二从动轮组250的设计，可以达到快速组装与拆卸的功效，縮短 人员的操作工时，降低制造成本。因此，本发明的毛刷轮处理装置200在实 际应用层面上更具有灵活度，可以处理旋转轴径为不同规格的毛刷轮210。
图3为本发明的毛刷轮处理装置的一种处理状态示意图。请参照图3， 在一种应用中，毛刷轮210的长度需使用可调式轴承240B来作固定，此时， 其它可调式轴承240A与可调式轴承240C则分别呈现倾倒状态与直立状态。 详言之，承前述，毛刷轮210例如是应用于六代玻璃基板的装置中，当此毛 刷轮210需使用本发明的毛刷轮处理装置200进行老化处理或再生处理时， 可将此毛刷轮210的第二端212B以前述的方式固定于可调式轴承240B上。 此时，位于可调式轴承240B与固定式轴承230(示于图1B)之间的可调式轴 承240A例如是以其底座为轴心240A1，往固定式轴承(示于图1B)方向旋转 而呈倾倒状态，以避免干涉毛刷轮210装设于可调式轴承240B。此外，各可调式轴承240的柱体242具有一平行于毛刷轮210的旋转轴212的位移调 整量d，如图3中所示，此位移调整量d用以提供使用者在实务上操作的可 微调范围，而位移调整量d例如实质上为1厘米(g卩+A0.5厘米)。如此一来， 当各可调式轴承240在进行相同长度尺寸毛刷轮210的固定程序时，可以吸 收毛刷轮210的制造误差，而顺利拆装。
图4A为本发明的毛刷轮处理装置的一种应用示意图。请参照图4A，毛 刷轮处理装置300还包括一位于槽体220内的模拟基板270，而模拟基板270 与毛刷轮210接抵。在本实施例中，模拟基板270例如是以直立的方式配置 于毛刷轮210旁，其中模拟基板270的材质可视线上机台的待处理物而选用 相同材质，其例如是玻璃基板或晶圆，本发明以玻璃基板为实施范围，但不 以此为限。并且，毛刷轮处理装置300还可于毛刷轮210旁设置喷嘴280， 此喷嘴280适于提供一处理液至毛刷轮210上。举例而言，喷嘴280可以面 朝毛刷轮210而设置，用以将处理液直接喷洒于毛刷轮210上，如图4A中 的喷嘴280A。当然，喷嘴280所提供的处理液亦可先储存于一位于毛刷轮 210旁的流体容置空间290中，而处理液再自流体容置空间290中溢流 (overflow)至毛刷轮210上，可视槽体220内空间、毛刷轮210的纤毛特性以 及使用制程特性而定。
在实际的应用层面上，毛刷轮处理装置300可以针对毛刷轮210进行上 线使用前的预老化处理，以维持毛刷轮在进行制程时的清洗效能稳定度，此 时上述的喷嘴280所提供的处理液可以使用类似水或去离子水等清洗液。在 另 一种应用中上，毛刷轮处理装置300亦可以针对运行一段时间的毛刷轮210 进行再生处理，以延长毛刷轮210的使用寿命，以降低耗材费用，此时处理 液可以使用药液，例如氢氧化钾或其它适当药液。
图4B为本发明的一种毛刷轮处理装置中的压入量调整器的示意图。请 参照图4B，为了调整毛刷轮接触模拟基板的压合力，毛刷轮处理装置400 还可包括一压入量调整器410，用以调整毛刷轮210的轴心相对于模拟基板 270的表面的距离，因而调整毛刷轮210的纤毛受力形变后所施加在模拟基 板270的表面的力量。举例而言，压入量调整器410可为滑块412及螺杆414 的线性移动机构组合，此滑块412可移动地连结于螺杆414上，而螺杆414 垂直于旋转轴212，通过滑块412与螺杆414的相对移动可以调整毛刷轮210的旋转轴212的轴心相对于该模拟基板270的表面的距离W。
图4C为本发明的毛刷轮处理装置中，毛刷轮相对于模拟基板具有不同 压入量的状态示意图。请参照图4C，毛刷轮210E与模拟基板270之间的接 触程度高，因此压合力大，而毛刷轮210F与模拟基板270之间并无接触， 因此毛刷轮210F上的纤毛主要是通过毛刷轮210B的自转而相对于处理液转 动，以进行毛刷轮210的处理作业。
值得说明的是，请参照图4B与图1B，为了提升毛刷轮210的处理效能， 毛刷轮处理装置200还可包括一驱动马达292，其耦接至毛刷轮210的第一 端212A，用以驱使毛刷轮210沿着旋转轴212来旋转，因而提高毛刷轮210 的纤毛在单位时间内受到仿真基板270单位面积的摩擦次数。上述的驱动马 达292例如是经由一传动机构(图未示)来耦接至毛刷轮210的第一端212A， 而毛刷轮210的第二端212B则连接一个可调式轴承240，故驱动马达292 的转动动能可传递至毛刷轮210，用以驱使毛刷轮210作旋转。
综上所述，本发明的毛刷轮处理装置至少包括下列优点的全部或一部
分
(一) 本发明通过依旋转轴的轴线方向延伸并依序设置的可调式轴承， 可以处理不同长度的毛刷轮，因而可将应用于不同世代生产在线的毛刷轮整 合于相同机台中，进而节省机台成本。
(二) 本发明通过第二从动轮组可以处理不同轴径的毛刷轮，因而将应 用于同一世代生产在线的不同规格的毛刷轮轻易地整合于同一机台中，因而 有效节省制造成本。
(三) 在一实施例中，本发明可以根据毛刷轮的处理作业而选用不同的 处理液以及模拟基板，因此本发明的毛刷轮处理装置的应用范围广泛。
权利要求
1.一种毛刷轮处理装置，该毛刷轮具有一旋转轴，而该毛刷轮处理装置包括一槽体；一固定式轴承，位于该槽体内，该旋转轴的一第一端承靠于该固定式轴承上；多个可调式轴承，位于该槽体内并相对于该固定式轴承设置，且所述多个可调式轴承依该旋转轴的轴线方向延伸并依序设置，而该旋转轴的一第二端承靠于所述多个可调式轴承的其中之一，其中各可调式轴承包括一柱体，具有一贯孔，该第二端穿设于该贯孔内；多个第一从动轮，设置于该柱体上的该贯孔外围，并与该第二端承靠；以及一第二从动轮组，具有一调整器以及一第二从动轮，其中该第二从动轮设置于该柱体上的该贯孔外围，该调整器的一端与该第二从动轮连结，另一端则枢设于该柱体上，以此，该第二从动轮组可在该柱体上移动，依据该旋转轴的轴径，来决定进入于该贯孔内的距离，以配合所述多个第一从动轮对该第二端进行固定，而达到固定该毛刷轮于该固定式轴承与所述多个可调式轴承的其中之一的要求。
2. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中该毛刷轮处理装置还包括 一仿真基板，该仿真基板位于该槽体内并与该毛刷轮接抵。
3. 如权利要求2所述的毛刷轮处理装置，其中该仿真基板是以直立的方 式配置于该毛刷轮旁。
4. 如权利要求2所述的毛刷轮处理装置，其中该仿真基板为玻璃基板或 晶圆。
5. 如权利要求2所述的毛刷轮处理装置，其中该毛刷轮处理装置还包括 一压入量调整器，该压入量调整器连接于该固定式轴承以及所述多个可调式 轴承，用以调整毛刷轮的旋转轴的轴心相对于该模拟基板的表面的距离。
6. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中各可调式轴承与该固定式 轴承之间具有不同间距。
7. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中各可调式轴承的柱体具有 一平行于该毛刷轮的旋转轴的位移调整量，该位移调整量实质上为1厘米。
8. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中该调整器包括一连杆，该 连杆以一枢转轴线枢设于该柱体上，该第二从动轮沿着该枢转轴线往毛刷轮 靠近，使得毛刷轮夹持于所述多个第一从动轮以及该第二从动轮之间。
9. 如权利要求8所述的毛刷轮处理装置，其中各可调式轴承的柱体上具 有一限位凹槽，而该连杆具有一位于该限位凹槽内的限位部，使得该第二从 动轮通过该连杆而限位在该限位凹槽内。
10. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中该毛刷轮处理装置还包括一驱动马达，其中该驱动马达与该第一端连接，该驱动马达用以驱使该 旋转轴沿着一旋转轴线来旋转。
11. 如权利要求1所述的毛刷轮处理装置，其中该毛刷轮处理装置还包 括一喷嘴，该喷嘴设置于该毛刷轮旁，该喷嘴适于提供一处理液至毛刷轮上。
12. 如权利要求11所述的毛刷轮处理装置，其中该喷嘴面朝毛刷轮而设 置，而将处理液直接喷洒于该毛刷轮上。
13. 如权利要求11所述的毛刷轮处理装置，其中该毛刷轮处理装置还包 括一流体容置空间，该流体容置空间设置于该毛刷轮旁，该处理液自该流体 容置空间中溢流至该毛刷轮上。
14. 如权利要求11所述的毛刷轮处理装置，其中该处理液包括水或药液。
全文摘要
一种毛刷轮处理装置，其包括槽体、固定式轴承与多个可调式轴承，而毛刷轮具有旋转轴。固定式轴承位于槽体内，旋转轴的第一端承靠于固定式轴承上。多个可调式轴承位于槽体内并依旋转轴的轴线方向延伸依序设置，旋转轴的第二端承靠于可调式轴承的其中之一，各可调式轴承包括柱体、多个第一从动轮与第二从动轮组。第二端穿设于柱体的贯孔内。第二从动轮组具有调整器与第二从动轮，第一从动轮与第二从动轮设置于柱体的贯孔外围，并与第二端承靠，第二从动轮组通过调整器可在柱体上移动，以依旋转轴的轴径配合第一从动轮对第二端进行固定，而达到固定该毛刷轮于该固定式轴承与所述多个可调式轴承的其中之一的要求。
文档编号B08B1/04GK101318184SQ20081013363
公开日2008年12月10日 申请日期2008年7月16日 优先权日2008年7月16日
发明者何岳暾, 陈昭安 申请人:友达光电股份有限公司