清洁头的制作方法
【专利摘要】一种清洁头，该清洁头包括：长的内部管道（150），其将清洁气体从外部经由供气管道（100）供给至气体喷射室（170），使清洁气体从气体喷射口（153a）喷射；下罩（110），其被配置为包围内部管道（150）；上罩（210），其与下罩（110）的上端部连结，且内部的空气积存部（220）与排气管道（200）连通；滑动引导部（161），其用于使两罩（110、210）沿长度方向相对地滑动而连结两罩；在下罩（110）的内表面与内部管道（150）的外表面之间，形成与气体吸引口（154a）连通的气体吸引室（180），利用距离排气管道（200）越远则开口面积越大的排气口（121～124）使该气体吸引室（180）与空气积存部（220）连通。
【专利说明】【技术领域】
[0001]本发明涉及一种清洁头，该清洁头用于向玻璃基板、金属制基板、树脂制薄膜等除尘对象物的表面喷射清洁气体，使附着于所述表面的尘埃飞散并将其吸引除去。
【背景技术】
[0002]图3 (a)~(C)表示这种清洁头的现有技术，图3 (a)是头主体的俯视图，图3 (b)是整体的主视图，图3 (c)是图3 (b)的B-B放大剖视图。
[0003]在这些附图中，20是方筒状的头主体，在其两端分别安装有供气管道10。如图3(a)所示，在头主体20的顶板21上，沿长度方向大致等间隔地形成有各一对排气口 20b。
[0004]在图3 (b)、图3 (C)中，31、32、33与所述排气口 20b对应，是对称地安装在头主体20的中央部两侧的排气管道，这些排气管道31、32、33使排气口 20b —侧敞开，并且通过软管41、42相互连结。
[0005]各个排气管道，例如排气管道31使图3 (C)所示的框架状固定板31a通过螺钉35固定在头主体20的顶板21上。此外，在固定板31a与顶板21之间，为保持气密性而设有密封件(未图不)。
[0006]如图3 (C)所示，在头主体20上设有内部管道24，其内部空间作为气体喷射室25而与所述供气管道10连通。另外，由头主体20的内表面与内部管道24的外表面形成的空间作为气体吸引室26而经由排气口 20b与排气管道31、32、33连通。
[0007]在内部管道24的中央下端部形成有的喷射口 22a，该喷射口 22a使从供气管道10供给来的清洁气体向除尘对象物G方向喷射。另外，在头主体20的底板上，以位于气体喷射口 22a两侧的方式形成有气体吸引口 20a，该气体吸引口 20a用于吸引利用喷射气体而飞散的尘埃。
[0008]在该现有技术中，由鼓风机及HEPA过滤器等气源(未图示)供给至供气管道10的清洁气体从气体喷射室25经由气体喷射口 22a被喷射至除尘对象物G的表面。
[0009]另一方面，由于排气管道31、32、33从端部的排气管道31 —侧吸引气体并被保持为负压，因此，从除尘对象物G的表面飞散的尘埃经由气体吸引口 20a在气体吸引室26 —排气口 20b —排气管道31、32、33这一路径上被吸引、排出。
[0010]由此，能够吸引、除去附着于除尘对象物G表面的尘埃。
[0011]此外，在专利文献I中公开了与图3所示的设备大致同样地构成的清洁头，这些清洁头的一个特征在于，能够使排气管道的安装方向改变180度。
[0012]专利文献1:日本特许第4771419号公报(第0037、0038段、图7等)
[0013]图3所示的现有技术中存在如下问题。
[0014]首先，在图3中，排气管道及软管越是接近头主体20的长度方向中央部，内径越小，从而使吸引气体时的压力(负压)变大。但是，即使采用这样的结构，也存在如下情况:越接近头主体20的长度方向中央部，气体的吸引力越减弱，或者导致吸引力产生偏差，不能获得充分的除尘性能。除此以外，排气管道31、32、33及软管41、42的形状、结构遍及众多种类并且整体上的部件个数也多，因此，存在制造成本升高的问题。
[0015]另外，将排气管道31、32、33固定在头主体20的顶板21上的螺钉35会因振动而松动，在最恶劣的情况下，有可能出现螺钉35落在除尘对象物G上而损伤除尘对象物G或者导致污染的情况。
[0016]而且，尘埃容易附着在排气管道31、32、33及软管41、42等部件的凹凸部分，还存在这些尘埃向除尘对象物G的表面落下的情况。
【发明内容】
[0017]因此，本发明所要解决的技术问题在于提供一种清洁头，该清洁头能够简化整体上的结构，减少部件的种类和个数，从而降低制造成本，并且能够在长度方向的全长范围内获得大致均匀的吸引力。
[0018]为解决上述技术问题，第一方面的发明为一种清洁头，其从气体喷射口向除尘对象物的表面喷射清洁气体而使附着于所述表面的尘埃飞散，将该尘埃同清洁气体一起从气体吸引口吸引出来并排出，其特征在于，包括:长的内部管道，其将清洁气体从外部经由供气管道供给至气体喷射室，使所述清洁气体从所述气体喷射口喷射；下罩，其被配置为在所述内部管道的大致全长范围内包围内部管道；上罩，其与所述下罩的上端部连结，且内部的空气积存部与排气管道连通；用于使所述上罩及所述下罩沿两罩的长度方向相对地滑动而连结两罩的引导部件；将所述上罩及下罩以所述排气管道及所述供气管道上下排列的方式连结，并且，在所述下罩的内表面与所述内部管道的外表面之间，形成与所述气体吸引口连通的气体吸引室，利用距离所述排气管道越远则开口面积越大的排气口使所述气体吸引室与所述空气积存部连通。
[0019]在第一方面记载的清洁头的基础上，第二方面的发明还包括:用于使所述下罩及所述内部管道沿两者的长度方向相对地滑动而连结的引导部件。
[0020]在第一或第二方面记载的清洁头的基础上，第三方面的发明在所述气体喷射室的内表面上形成有用于增大空气阻力的突起。
[0021]在第一或第二方面记载的清洁头的基础上，第四方面的发明在所述气体吸引室的内表面上形成有用于增大空气阻力的突起。
[0022]发明效果
[0023]根据本发明，能够使上罩、下罩、内部管道等沿长度方向滑动而进行连结，而且能够仅通过安装供气管道、排气管道各一个来将整体组装起来。因此，不需要如以往那样将多个众多种类的排气管道螺纹连接来进行固定，能够简化整体上的结构，减少部件的种类和个数，从而降低制造成本。由此，与现有技术相比，能够减少螺钉松动、落下以及尘埃向多个部件的凹凸部分上附着等的可能性。
[0024]另外，通过根据离排气管道的距离来改变在下罩上形成的排气口的开口面积，能够在清洁头的长度方向的全长范围内获得大致均匀的吸引力，消除尘埃的吸引力产生不均衡的情况。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1 (a)、(b)是表示本发明的实施方式的清洁头的图，图1 (a)是下罩的俯视图，图1 (b)是整体的主视图。
[0026]图2是图1 (b )的A-A放大剖视图。
[0027]图3 (a)?(C)是表示现有的清洁头的图，图3 Ca)是头主体的俯视图，图3 (b)是整体的主视图，图3 (c)是图3 (b)的B-B放大剖视图。
[0028]附图标记说明
[0029]100 供气管道
[0030]110 下罩
[0031]120 顶板
[0032]121、122、123、124 排气口
[0033]130 侧板
[0034]131 突起
[0035]150 内部管道
[0036]151、152 突起
[0037]153 喷嘴板
[0038]153a 气体喷射口
[0039]154 底板
[0040]154a 气体吸引口
[0041]161、162 滑动引导部
[0042]170 气体喷射室
[0043]180 气体吸引室
[0044]200 排气管道
[0045]210 上罩
[0046]220 空气积存部
[0047]310、320 端部罩
[0048]G 除尘对象物
【具体实施方式】
[0049]以下，按图说明本发明的实施方式。
[0050]首先，图1 (a)、(b)以及图2是表示本发明的实施方式的清洁头的图，图1 (a)是下罩的俯视图，图1 (b)是整体的主视图，图2是图1 (b)的A-A放大剖视图。
[0051]在图1 (a)、(b)中，110是方筒状的下罩，210是安装在下罩110上端部的上罩，这些下罩110及上罩210能够通过沿图1 (b)的箭头X方向相对地滑动来进行连结。用于使两罩110、210滑动的结构见后述。
[0052]另外，在下罩110及上罩210 —体地连结的状态下，在长度方向的两端部安装、固定端部罩310、320。
[0053]在下罩110的内部，在其长度方向的大致全长范围内配置有后述的图2所示的内部管道150，在图1 (b)的端部罩310的外侧，安装有与内部管道150连通的供气管道100。另外，在供气管道100的上方，安装有与形成在上罩210内部的空气积存部220连通的排气管道200。[0054]供气管道100及排气管道200与由鼓风机、HEPA过滤器构成的众所周知结构的气源(未图示)连接，清洁气体从供气管道100被供给至内部管道150，除尘后的气体同尘埃一起经由空气积存部220从排气管道200排出。
[0055]另外，如图1 (a)所示，在下罩110的顶板120上，分别设有距离供气管道100及排气管道200越远则开口面积越大(沿下罩110长度方向的长度长)的排气口 121、122、123、124各一对。此外，这些排气口的数目、形状不受图示例任何限制。
[0056]接着，基于图2详述该清洁头的内部结构。
[0057]如图2所示，下罩110与上罩210能够利用滑动引导部161在纸面的里外方向上相对地进行滑动，滑动引导部161由分别形成在下罩110的上端部两侧及上罩210的下端部两侧的凹凸结构构成。
[0058]此外，配置在下罩110内部的内部管道150也能够利用由上述同样的凹凸结构构成的滑动引导部162相对于下罩110相对地滑动。
[0059]内部管道150的内部空间形成气体喷射室170，该气体喷射室170与供气管道100连通。另外，由下罩110的内表面与内部管道150的外表面形成的空间作为气体吸引室180而经由所述排气口 121与上罩210的空气积存部220连通，进而与排气管道200连通。
[0060]在配置于内部管道150的下方中央部的喷嘴板153上形成有气体喷射口 153a，并且，在内部管道150的底板154上，以位于气体喷射口 153a两侧的方式形成有气体吸引口154a。
[0061]另外，在下罩110的侧板130内表面的适当位置，形成有多个用于增大空气阻力的突起131，在内部管道150内外表面的适当位置也形成有突起151、152。这些突起的数目、形状不受图示例任何限制。
[0062]接着，说明该实施方式的动作。
[0063]使内部管道150、下罩110及上罩210相互滑动而进行连结并安装端部罩310、320，并且通过安装供气管道100及排气管道200，如图1 (b)及图2所示那样组装清洁头整体。
[0064]在该状态下从外部气源供给至供气管道100的清洁气体从内部管道150内的气体喷射室170经由气体喷射口 153a被喷射至除尘对象物G表面。然后，被清洁气体从除尘对象物G表面上剥下且飞散的尘埃同清洁气体一起经由气体吸引口 154a在气体吸引室180 —排气口 121 —空气积存部220 —排气管道200这一路径上被吸引、排出。
[0065]在上述一系列的供气-排气工序中，清洁气体利用气体喷射室170的狭窄下端部成为高压气体而从气体喷射口 153a向除尘对象物G方向喷射，切实地剥下附着在其表面上的尘埃并使其向空中飞散。此时，利用在内部管道150的内表面上突出的突起152而产生空气阻力的强弱，因此，能够给气体喷射口 154a所喷射的气体带来振动，能够更加有效地剥下尘埃。
[0066]另外，飞散的尘埃同清洁气体一起经由气体吸引口 154a被气体吸引室180吸引，而此时，利用在下罩110的内表面及内部管道150的外表面上突出的突起131、151、152而产生空气阻力的强弱，因此，在这些突起附近，通过气体吸引室180的气体的负压局部变大，能够进一步强力地吸引来自空气吸引口 154a的清洁气体。
[0067]而且，形成在下罩110的顶板120上的排气口 121、122、123、124距离排气管道200越远(越接近端部罩320)则开口面积越大，因此，能够使清洁气体的吸引压高的端部罩310一侧的气体流量与清洁气体的吸引压低的端部罩320 —侧的气体流量大致相等，能够在清洁头的长度方向的全长范围内使吸引至上罩210的空气积存部220的气体流量大致均匀。由此，在清洁头的长度方向的全长范围内都能够获得大致均匀的吸引力，能够均匀地对除尘对象物G的表面整个区域进行除尘。
[0068]另外，由上罩210形成的大容量的空气积存部220具有将从各排气口 121、122、123、124分开取入的吸引气体统一地向排气管道200方向输送的功能，该空气积存部200也有助于顺畅地吸引清洁气体。
[0069]根据该实施方式，不需要图3所示的众多种类的排气管道和软管，能以形状、结构比较简单的上罩210、下罩110、内部管道150、供气管道100及排气管道200等为主要部件，因此部件个数也减少，能够降低制造成本。
[0070]另外，由于不是将如图3所示的众多种类的排气管道螺纹连接而进行固定的结构，因此，振动导致螺钉松动和落下的可能性减少，并且由构成部件产生的外形上的凹凸部分也减少，附着尘埃的可能性也减少。因此，能够改善作为清洁头的除尘性能。
【权利要求】
1.一种清洁头，其从气体喷射口向除尘对象物的表面喷射清洁气体而使附着于所述表面的尘埃飞散，将该尘埃同清洁气体一起从气体吸引口吸引并排出， 其特征在于，包括: 长的内部管道，其将清洁气体从外部经由供气管道供给至气体喷射室，使所述清洁气体从所述气体喷射口喷射； 下罩，其被配置为在所述内部管道的大致全长范围内包围内部管道； 上罩，其与所述下罩的上端部连结，且内部的空气积存部与排气管道连通； 引导部件，其用于使所述上罩及下罩沿两罩的长度方向相对地滑动而连结两罩； 将所述上罩及下罩以所述排气管道及所述供气管道上下排列的方式连结， 并且，在所述下罩的内表面与所述内部管道的外表面之间，形成与所述气体吸引口连通的气体吸引室， 利用距离所述排气管道越远则开口面积越大的排气口使所述气体吸引室与所述空气积存部连通。
2.如权利要求1所述的清洁头，其特征在于，还包括: 用于使所述下罩及所述内部管道沿两者的长度方向相对地滑动而连结的引导部件。
3.如权利要求1或2所述的清洁头，其特征在于，在所述气体喷射室的内表面形成有用于增大空气阻力的突起。
4.如权利要求1或2所述的清洁头，其特征在于，在所述气体吸引室的内表面形成有用于增大空气阻力的突起。
【文档编号】B08B5/00GK103567188SQ201310338255
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月6日 优先权日:2012年8月6日
【发明者】白根智博 申请人:修谷鲁开发股份有限公司