一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法与流程

本发明实施例涉及坩埚清洁技术领域，尤其涉及一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法。

背景技术：

目前显示面板行业蒸镀时会用到坩埚，坩埚是指蒸镀时用来盛蒸镀物的装置。现用的坩埚一般有线源坩埚，线源坩埚是指坩埚的形状是长方形。

现在对线源坩埚的清洗主要采用有机溶剂浸泡和人工擦拭，浸泡不能有效的去除坩埚狭缝处的有机物残留，而且人工擦拭的方法工作效率较低且重复率不好。一般可以想到的其他方案包括：高压喷洗，超声清洗，毛刷清洗，但高压喷洗成本较高，且不利于有机清洗液使用；超声清洗一般是指以有机溶剂作为超声液体，将部件整体浸泡后超声，该方法清洗效果较好，但会造成有机溶剂的大量使用和挥发，对环境和人的健康均不利。

技术实现要素：

本发明提供一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法，以解决现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种坩埚清洗毛刷，包括：

毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛；

所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°，所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°。

第二方面，本发明实施例还提供了一种坩埚清洗毛刷系统，包括本发明任意实施例所述的坩埚清洗毛刷，通过所述坩埚清洗毛刷的毛刷杆控制所述坩埚清洗毛刷的电机，固定所述电机的上框架以及固定坩埚的下框架。

第三方面，本发明实施例还提供了一种坩埚清洗方法，适用于本发明任意实施例所述的坩埚清洗系统，包括：

控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时沿坩埚内侧壁在平行于坩埚底面的方向上进行步进运动，直至移动一个周期至初始运动位置；

当所述坩埚清洗毛刷移动至所述坩埚内侧壁的拐角时，控制所述坩埚清洗毛刷在所述拐角处旋转运动的同时在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动。

本发明实施例提供了一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法，其中坩埚清洗毛刷包括毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛，所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°，所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°，在毛刷杆的侧面上，第一类侧刷毛和第二类侧刷毛在沿毛刷杆长度方向上交互倾斜排列，使得坩埚清洗毛刷在沿毛刷杆长度方向上清洗坩埚时，利于清洗狭缝残留，所述底面刷可清洗坩埚底面以及坩埚底面角落的残余物。本发明实施例所述的坩埚清洗毛刷有利于清洗线源坩埚的狭缝和角落，清洗效果好，并结合坩埚清洗系统，系统采用自动化流程，提高了效率，并减少了人工清洗对身体造成的伤害，本发明实施例的方案解决了现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种坩埚清洗毛刷的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的侧刷毛结构示意图；

图3是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的底刷毛结构示意图；

图4是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的轴测图；

图5是本发明实施例提供的坩埚清洗系统的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的一种坩埚清洗方法流程图；

图7是本发明实施例提供的另一种坩埚清洗方法流程图；

图8是本发明实施例提供的坩埚清洗系统的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

本发明实施例提供一种坩埚清洗毛刷，参考图1，图1为本发明实施例提供的一种坩埚清洗毛刷的结构示意图，该坩埚清洗毛刷包括：毛刷杆11，以及固定在毛刷杆11侧面的侧刷毛12，固定在毛刷杆11底部端面的底刷毛13；

参考图2，图2是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的侧刷毛结构示意图，侧刷毛12包括第一类侧刷毛121和第二类侧刷毛122，第一类侧刷毛121的倾斜方向与毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角α小于90°，第二类刷毛122的倾斜方向与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角β小于90°。

本实施例中的坩埚清洗毛刷包括毛刷杆11，毛刷杆11是用于承载刷毛的载体，同时又是人工或机械控制坩埚清洗刷的握杆。侧刷毛12固定在毛刷杆11的侧面，底刷毛13固定在毛刷杆11的底部端面，如图1所示。一般情况下，侧刷毛12用于刷洗坩埚的内侧壁，底刷毛13用于清洁坩埚的内地面，则人工或机械通过毛刷杆11固定坩埚清洗毛刷，并沿坩埚的内侧壁清洗坩埚。所述坩埚一般为蒸镀坩埚，蒸镀坩埚有各种各样的形状，相应的，也会存在很多的狭缝与角落，在蒸镀完成进行清洗时，这些狭缝和角落非常难以清洗，现有的清理方案非常的浪费人力和财力。

值得注意的是，侧刷毛12包括倾斜设置的刷毛，具体的，侧刷毛12包括第一类侧刷毛121和第二类侧刷毛122，如图2所示。第一类侧刷毛121的倾斜方向与毛刷杆11沿底部至顶部的轴向夹角α为锐角，即小于90°，第二类刷毛122的倾斜方向与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角β小于90°。第一类侧刷毛121和第二类侧刷毛122交替排列，形成相互交错的结构，如图1所示。则坩埚清洗毛刷在沿毛刷杆长度方向进行运动时，侧刷毛12具有很强的摩擦强度，能够很容易地将附在坩埚上的顽固残余物清洗掉。示例性的，在坩埚存在狭缝和拐角时，坩埚清洗毛刷沿着坩埚内壁的狭缝或者拐角进行运动，可很快将狭缝或拐角中的残余物清出，相对于现有的坩埚清洗工具菜瓜布，本实施例提供的坩埚清洗毛刷具有更强的刚性，具有更高的清洁力度。

本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷，包括毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛，所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°，所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°，在毛刷杆的侧面上，第一类侧刷毛和第二类侧刷毛在沿毛刷杆长度方向上交互倾斜排列，使得坩埚清洗毛刷在沿毛刷杆长度方向上清洗坩埚时，利于清洗狭缝残留，所述底面刷可清洗坩埚底面以及坩埚底面角落的残余物。本发明实施例所述的坩埚清洗毛刷有利于清洗线源坩埚的狭缝和角落，清洗效果好，并结合坩埚清洗系统，系统采用自动化流程，提高了效率，并减少了人工清洗对身体造成的伤害，本发明实施例的方案解决了现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。

在上述实施例的基础上，可选的，参考图3，图3是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的底刷毛结构示意图，底刷毛13至少包括与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角γ成锐角的刷毛。底刷毛13用于清洗坩埚底部的内壁，本实施例中，底刷毛13设置在毛刷杆11底部端面，底刷毛13至少包括与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角γ成锐角的刷毛，因为一般情况下，坩埚主要包括内侧壁和内底面，内侧面和内底面之间往往存在狭缝和角落，但是坩埚清洗毛刷的侧刷毛无法清洁到坩埚的底部，所以本实施中，将底刷毛13的边缘设置毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角γ成锐角的刷毛，则与毛刷杆11的夹角为γ的刷毛可深入狭缝和角落中，清除残留物，而不需要利用高压喷洗或者超声清洗的方式来清洗坩埚的狭缝，节省了清洗成本。可选的，在毛刷杆11底部端面上，靠近边缘的位置设置与毛刷杆11的夹角为γ的刷毛，在底部端面靠近中心的位置可设置垂直于底部端面的刷毛，用于清洁坩埚的内底面。可选的，可设置底刷毛13为圆台形，如图4所示，图4是本发明实施例提供的坩埚清洗毛刷的轴测图。整体上看，坩埚清洗毛刷的侧刷毛整体呈圆柱形，便于坩埚清洗毛刷旋转运动时对坩埚进行擦洗，毛刷杆11可以为图4中所述的圆柱形，也可以为长方体等其他的形状，本实施例对此不进行限定。

可选的，第一类侧刷毛121的倾斜方向与毛刷杆11沿底部向顶部的轴向夹角α，第二类刷毛122的倾斜方向与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角β，以及底刷毛13的倾斜方向与毛刷杆11沿顶部向底部的轴向夹角γ的取值在45°～60°范围内。当夹角α、β和γ的取值在45°～60°范围内，能够效果更好的清除狭缝和拐角内的残余物。并且夹角α、β和γ取值越相近，清洁效果越好，若夹角γ与夹角α、β相差太大，底刷毛13则会影响侧刷毛12的工作。

可选的，夹角α和夹角β取值相同，则侧刷毛12整体外观较为平坦，便于侧刷毛12进行清洗工作。参考图3，整体上侧刷毛12的刷毛较为整齐，若夹角α和夹角β取值不同，则第一类侧刷毛121和第二类侧刷毛122的倾斜角度不同，在刷毛长度相同的情况下，侧刷毛12整体外观凹凸不平，不易将坩埚清洗干净。

可选的，侧刷毛12和底刷毛13的材质可以为硬质动物毛或者尼龙类材质，优选的，所述尼龙类材料为符合欧盟rosh标准的尼龙类材料。值得注意的是，侧刷毛12和底刷毛13的刷毛尽量不含有卤素或其他金属离子，防止卤素或其他金属离子与蒸镀残余物反应。

本发明实施例还提供一种坩埚清洗系统，参见图5，图5是本发明实施例提供的坩埚清洗系统的结构示意图。该坩埚清洗系统包括：本发明任意实施例提供的坩埚清洗毛刷1，通过坩埚清洗毛刷1的毛刷杆11控制坩埚清洗毛刷1的电机2，固定电机2的上框架3以及固定坩埚4的下框架5。

本实施例中，坩埚清洗系统包括上框架3、下框架4以及上框架3和下框架4之间的需要被清洗的坩埚4，下框架5用于固定坩埚4，便于对坩埚4进行清洗。上框架3用于固定电机2，电机2用于通过毛刷杆11固定坩埚清洗毛刷1，并控制坩埚清洗毛刷1沿程序设定轨迹对坩埚4进行清洗。

本发明实施例提供了一种坩埚清洗系统，包括本发明任意实施例所述的坩埚清洗毛刷，通过所述坩埚清洗毛刷的毛刷杆控制所述坩埚清洗毛刷的电机，固定所述电机的上框架以及固定坩埚的下框架，其中坩埚清洗毛刷包括毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛，所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°，所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°，在毛刷杆的侧面上，第一类侧刷毛和第二类侧刷毛在沿毛刷杆长度方向上交互倾斜排列，使得坩埚清洗毛刷在沿毛刷杆长度方向上清洗坩埚时，利于清洗狭缝残留，所述底面刷可清洗坩埚底面以及坩埚底面角落的残余物。本发明实施例所述的坩埚清洗毛刷有利于清洗线源坩埚的狭缝和角落，清洗效果好，并且坩埚清洗系统中包括坩埚清洗毛刷，整个系统采用自动化流程，电机控制坩埚清洗毛刷按照预设轨迹进行坩埚的清洗，提高了效率，并避免了人工清洗对身体造成的伤害，本发明实施例的方案解决了现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。

在上述实施例的基础上，可选的，参考图5，坩埚清洗系统还包括：固定在上框架3上的喷洒系统6，喷洒系统6用于在坩埚清洗毛刷1运动时喷水辅助清洗。喷洒系统6包括喷头，所述喷头可跟随坩埚清洗毛刷1的移动而移动，用于将坩埚清洗毛刷1清理的残留物冲洗干净。所述喷洒系统6所喷洒的可以为清水，也可以为洗涤剂，便于坩埚的清洗。

可选的，电机2包括：旋转电机、步进电机以及伸缩电机；旋转电机用于控制坩埚清洗毛刷1进行旋转运动；步进电机用于控制坩埚清洗毛刷1沿坩埚内侧壁在平行于坩埚底面的方向上进行步进运动；伸缩电机用于控制坩埚清洗毛刷1沿坩埚内侧壁在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动。

旋转电机控制坩埚清洗毛刷1以毛刷杆11为轴心进行旋转，则坩埚清洗毛刷1的侧刷毛12可以将坩埚4的内侧壁的蒸镀的残留物刷洗下来，并且坩埚清洗毛刷1的底刷毛13也能够通过旋转将坩埚底面的角落里的残留物清洗出来；步进电机控制坩埚清洗毛刷1沿着坩埚4的内侧壁进行步进运动，则坩埚清洗毛刷1在步进电机的控制下，可自动进行整个坩埚4的清洗，节省了人力；伸缩电机用于控制坩埚清洗毛刷1进行往复运动，则在伸缩电机的控制下，坩埚清洗毛刷1可在残留物不易清洗的拐角处进行往复运动和摩擦，将顽固残留物去除。旋转电机、步进电机以及伸缩电机的相互配合，使得整个坩埚4的各个角落都能够被坩埚清洗毛刷1清洗到，并且整个清洗过程自动完成，节省人力。

本发明实施例还提供了一种坩埚清洗方法，适用于本发明任意实施例所述的坩埚清洗系统，参考图6，图6是本发明实施例提供的一种坩埚清洗方法流程图，该坩埚清洗方法包括：

s610、控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时沿坩埚内侧壁在平行于坩埚底面的方向上进行步进运动，直至移动一个周期至初始运动位置。

因为坩埚的清洗任务主要在于内侧壁、拐角以及狭缝，本实施例控制坩埚清洗毛刷沿坩埚内侧壁平行于坩埚底面进行步进运动。坩埚清洗毛刷的底刷毛位于坩埚底面靠近内侧壁的位置，侧刷毛正对坩埚内侧壁，则坩埚清洗毛刷旋转的同时沿内侧壁进行步进运动，坩埚的内侧壁、拐角，狭缝以及底面的角落里都会被清洗到。

控制坩埚清洗毛刷旋转运动并进行步进运动，直至坩埚清洗毛刷沿坩埚内侧壁移动一个周期至初始运动位置。此时，坩埚清洗毛刷已将坩埚清洗了一遍，可结束清洗。当然，也可设定坩埚清洗毛刷清洗n个周期，将坩埚清洗的更加洁净。值得注意的是，坩埚清洗毛刷在清洗过程中一直处于旋转状态，即使是进行步进运动的时候也在进行旋转运动，充分保证清洗的质量。

可选的，坩埚清洗毛刷的侧刷毛区域沿毛刷杆长度方向上的宽度不小于坩埚内侧壁在垂直于坩埚底面方向上的高度。参考图5，侧刷毛区域沿毛刷杆高度方向上的宽度要大于坩埚内侧壁在垂直于坩埚底面方向上的高度，坩埚清洗毛刷步进运动只能沿着坩埚内侧壁平行于坩埚底面移动，而不会在垂直于坩埚底面的方向上移动，若侧刷毛区域宽度低于坩埚内侧壁高度，则坩埚内侧壁会有部分区域不会被清洗到。

s620、当坩埚清洗毛刷移动至坩埚内侧壁的拐角时，控制坩埚清洗毛刷在拐角处旋转运动的同时在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动。

因为拐角处残余物很难清洗，则需要控制坩埚清洗毛刷在拐角处旋转运动的同时在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动，使得交错倾斜的侧刷毛，对拐角进行清洗。

本发明实施例提供了一种坩埚清洗方法，控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时沿坩埚内侧壁在平行于坩埚底面的方向上进行步进运动，直至移动一个周期至初始运动位置，当坩埚清洗毛刷移动至坩埚内侧壁的拐角时，控制坩埚清洗毛刷在拐角处旋转运动的同时在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动。本实施例中，坩埚清洗毛刷包括毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛，所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°，所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°，在毛刷杆的侧面上，第一类侧刷毛和第二类侧刷毛在沿毛刷杆长度方向上交互倾斜排列，使得坩埚清洗毛刷在沿毛刷杆长度方向上清洗坩埚时，利于清洗狭缝残留，所述底面刷可清洗坩埚底面以及坩埚底面角落的残余物。本发明实施例所述的坩埚清洗方法有利于清洗线源坩埚的狭缝和角落，清洗效果好，并且坩埚清洗系统中包括坩埚清洗毛刷，整个系统采用自动化流程，电机控制坩埚清洗毛刷按照预设轨迹进行坩埚的清洗，提高了效率，并避免了人工清洗对身体造成的伤害，本发明实施例的方案解决了现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。

在上述实施例的基础上，可选的，坩埚的形状为长方体，坩埚的内侧壁设置有四个拐角。

本行业实际生产中，主要用到两种坩埚：长方体坩埚和圆柱体坩埚，其中长方体坩埚因为存在拐角的关系，比圆柱形坩埚更难清洗，所以本案清洗长方体坩埚效果明显，当然本方案也适用于其他类型坩埚。

具体的，参考图7，图7是本发明实施例提供的另一种坩埚清洗方法流程图，当坩埚的形状为长方体时，坩埚清洗方法包括：

s710、设置坩埚的内侧壁的任一位置为起点位置，控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时，沿坩埚的四侧内侧壁在平行于坩埚底面的方向上每隔第一预设时间移动设定距离。

将坩埚清洗毛刷贴近坩埚的内侧壁放置，可以以沿坩埚内壁的任一位置为起点，控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时沿坩埚的四侧内壁在平行于坩埚底面的方向上步进运动，参考图8，图8是本发明实施例提供的坩埚清洗系统的俯视图。可顺时针进行步进运动，也可逆时针进行步进运动，坩埚清洗毛刷的初始位置可以设置在拐角处，也可以设置在一侧内侧壁上。

步进运动即为每隔第一预设时间移动设定距离。示例性的，所述第一预设时间为5s，设定距离为1cm。则坩埚清洗毛刷在旋转运动的同时，每隔5s沿坩埚清洗毛刷内侧壁移动1cm对坩埚进行擦洗。

s720、控制坩埚清洗毛刷依次经过四个拐角，直至移动至起点位置。

因为坩埚的形状为长方体，所以坩埚包含有四个拐角。坩埚清洗毛刷沿坩埚的内侧壁途经四个拐角，对四个拐角进行清洗，然后移动至起点位置，完成清洗。

s730、当坩埚清洗毛刷分别移动至四个拐角时，控制坩埚清洗毛刷旋转运动的同时，控制坩埚清洗毛刷在垂直于坩埚底面的方向上进行第二预设时间的往复运动。

坩埚为长方体，则坩埚的底面为长方形，在拐角处，也为所述长方形的一个角，底面长方形和相连的两个侧面形成了三角形的角落，控制坩埚清洗毛刷旋转运动，则坩埚清洗毛刷的与毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角成锐角的底刷毛能够将三角形的角落中的残留物扫出。并且控制坩埚清洗刷在垂直于坩埚底面的方向上进行第二预设时间的往复运动，能够利用侧刷毛的交错设置的倾斜的刷毛反复对拐角处进行擦洗，去除残留物。示例性的，所述第二预设时间可以为8s。

在一个具体的示例中，假设图8所示位置为坩埚清洗毛刷的起点，所述起点为坩埚的一个拐点，假设该拐点为第一拐点，坩埚清洗毛刷顺时针对坩埚进行清洗，则四个拐点按顺时针顺序依次为第一拐点、第二拐点、第三拐点以及第四拐点。清洗过程开始时，坩埚清洗毛刷在旋转电机的控制下一直进行旋转运动，在旋转运动的同时控制坩埚清洗毛刷每隔5s沿坩埚内侧壁顺时针滑动1cm，直至滑动至第二拐点；在第二拐点处，伸缩电机控制坩埚清洗毛刷在垂直于坩埚底面的方向上进行往复运动，以彻底清除拐角残留，往复运动的持续时间为8s；往复运动结束后，坩埚清洗毛刷在旋转的同时由步进电机继续控制，进行顺时针步进运动，依次经过第三拐点和第四拐点，从而回到第一拐点，即图8所示位置，坩埚清洗毛刷在第一拐点处进行旋转运动和往复运动，当往复运动结束后，一个清洗流程结束。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。