一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备的制作方法

文档序号:5001751阅读:468来源:国知局
专利名称:一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电气自动化控制设备,具体设计一种石英坩埚酸洗过程中所使用的酸的自动配制设备。
背景技术
目前,石英坩埚因其具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、 质量稳定等优点,而得到广泛的应用。现有技术中,石英坩埚采用普通的无机酸进行清洗, 该酸溶液通常为人为配制。这种方式存在以下缺点在酸溶液配制过程中,需要使用到纯酸,由于纯酸酸性比较强,人为手动操作,会给人身安全带来隐患,工作的安全系数不高;另外,在人为手动的配酸过程中,酸溶液浓度比较难把握,工作效率不高。

实用新型内容发明目的为了克服现有技术中存在的不足,本实用新型提供一种石英坩埚酸洗过程中酸的自动配制设备,可以很准确的配得所需要浓度的酸溶液,而且可以保护工人安全、提高清洗效率。技术方案为实现上述目的,本实用新型的一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,所述的水容器和混合液容器之间设有有第一阀门和第一泵,所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门和第二泵,所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵和第三阀门,第二出水管上设有第四阀门。PLC,为Programmable Logic Controller的缩写,即可编程逻辑控制器。本实用新型中所采用的PLC控制系统为西门子S7-300系列PLC控制,并与Wincc人机画面通过以太网通讯,完成人机监控和过程自动。为了使得酸与水得到更好的混合,第二出水管在第三泵和第三阀门之间并入第一出水管;为了更准确的控制酸和水的流量,第一阀门、第二阀门、第三阀门上分别设有第一
流量计、第二流量计、第三流量计。本实用新型通过PLC控制系统自动完成整个设备控制,同时通过人机画面达到人对自动控制过程的监控。本实用新型包括三个容器,第一个容器为盛放酸的浓酸容器,第二个容器为盛放水的水容器,第三个容器为用于配酸的混合液容器,水容器和浓酸容器分别与混合液容器之间都通过管道连接,整个配酸过程为自动控制过程,不需要人体与各容器直接接触,且全过程监控酸浓度、流量等信号,各容器和管道主要用耐酸材料制作,防止酸溶液外泄,避免对人身产生危害。本实用新型中,向混合液容器加水量和加酸量靠流量计监控,再通过PLC控制系统控制相应的泵和阀完成配酸过程,整个控制过程中,各个传感器、 泵、酸浓度、液位等状态和参数,均由WINCC制作的人机画面监控和显示,同时需要手动干预控制过程的也可通过画面直接完成。有益效果与现有技术相比,本实用新型的优点如下[0009]1.本实用新型通过PLC控制系统完成全部控制过程,可以提高工作效率和保障人身安全;2.本实用新型通过PLC控制系统将整个控制过程中的信号采集到HMI画面,方便操作控制和设备维护;3.酸浓度采用传感器检测,通过HMI画面显示,可有效监控容器中酸的浓度。
图1为本实用新型的结构示意图;图2为本实用新型的控制流程图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作更进一步的说明。如图1和图2所示,本实用新型的一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括 PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,本实施例中所采用的PLC控制系统为西门子S7-300系列PLC控制系统,并与Wincc人机画面通过以太网通讯,完成人机监控和全过程自动控制;水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,水容器和混合液容器之间设有第一阀门1和第一泵2,浓酸容器和混合液之间连接有第二阀门4和第二泵5,混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵7和第三阀门8,第二出水管上设有第四阀门9。在本实施例中,第二出水管在第三泵7和第三阀门8之间并入第一出水管,使得酸和水得到充分的混合;水容器和浓酸容器分布设有限位传感器11,限位传感器11可以检测各容器内部的水或者浓酸是出于高位还是低位;第一阀门1、第二阀门4、第三阀门8上分别设有第一流量计3、第二流量计6、第三流量计10,可以更准确的控制酸和水的流量,而且可以作为PLC控制系统的输入参数。本实用新型在使用的过程中,点击HMI界面的开始按钮,配酸过程开始,第一泵2、 第一阀门1、第二泵5、第二阀门4分别打开,分别向混合液容器里加水和酸,水和酸的流量通过流量计设定,当流量计检测到加入的水和酸达到了设定值,第一阀门1和第一泵2与第二阀门4和第二泵5分别关闭。在配酸的过程中,打开第三泵7和第四阀门9,第三阀门8 是关闭的,第三泵7、混合液容器和第四阀门9形成一个循环系统,使得混合液充分混合,可以通过浓度检测传感器检测浓度,监控混合液容器里的浓度。配酸结束后,关闭第四阀门9, 打开第三阀门8,就可以向外供应配好的酸溶液,供应量可以通过第三流量计10监控。如图2所示,HMI是Human Machine Interface的缩写,“人机接口”,也叫人机界面。人机界面(又称用户界面或使用者界面)是系统和用户之间进行交互和信息交换的媒介,它实现信息的内部形式与人类可以接受形式之间的转换。凡参与人机信息交流的领域都存在着人机界面;在整个控制过程中,工控机做服务器,通过以太网建立WINCC画面与西门子S7-300系列PLC的通讯连接,PLC系统采集传感器的信号并控制相应的阀门和泵,从而调配出合适浓度的酸溶液。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于包括PLC控制系统、水容器、 浓酸容器和混合液容器,所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,所述的水容器和混合液容器之间设有第一阀门(1)和第一泵(2),所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门(4)和第二泵(5),所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵(7)和第三阀门(8),第二出水管上设有第四阀门(9)。
2.根据权利要求1所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于第二出水管在第三泵(7)和第三阀门(8)之间并入第一出水管。
3.根据权利要求1所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于所述的第一阀门(1)、第二阀门(4)、第三阀门(8)上分别设有第一流量计(3)、第二流量计(6)、第三流量计(10)。
4.根据权利要求1至3任一项所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,其特征在于 所述水容器、浓酸容器、混合液容器和管道均为由耐酸PVC材料制做而成的密封结构。
专利摘要本实用新型公开了一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,水容器和混合液容器之间设有第一阀门和第一泵,浓酸容器和混合液容器之间设有第二阀门和第二泵,混合液容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵和第三阀门,第二出水管上设有第四阀门。本实用新型在使用时,通过向混合液容器里加水和浓酸配制所需浓度的酸溶液,整个过程通过PLC控制系统完成,并且通过HMI画面进行显示,可以有效监控酸溶液浓度,并且能够提高工作效率和保障人身安全,有利于推广使用。
文档编号B01F3/08GK202096897SQ20112015020
公开日2012年1月4日 申请日期2011年5月12日 优先权日2011年5月12日
发明者冯涛, 金军 申请人:江苏华尔光电材料股份有限公司
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