重掺硼硅单晶棒的拉制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种重掺硼硅单晶棒的拉制方法。
【背景技术】
[0002]重掺硼硅单晶片是一种应用范围很广的硅片。衡量重掺硼硅单晶片性能的一种重要指标是氧含量。氧含量过高会导致晶片在做成器件后不良率较高，漏电现象较多。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种氧含量低的重掺硼硅单晶棒的拉制方法。
[0004]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现:
[0005]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg-27kg ;封闭热场内氩气流量为50-60L/min ;炉内压力为10_15Torr ;坩埚转速为5_15rpm。
[0006]优选地是，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为24kg-26kg ;封闭热场内氩气流量为54-56L/min ;炉内压力为12-13Torr ;坩埚转速为8_12rpm。
[0007]本发明中的重掺硼硅单晶棒的拉制方法，晶棒头部的氧含量低于26pma ;尾部氧含量低于23.9ppma。
【具体实施方式】
[0008]下面对本发明进行详细的描述:
[0009]实施例1
[0010]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg ;封闭热场内氩气流量为50L/min ;炉内压力为14Torr ;i甘祸转速为lOrpm。
[0011]实施例2
[0012]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为25kg ;封闭热场内氩气流量为54L/min ;炉内压力为12Torr ;i甘祸转速为p8rpm。
[0013]实施例3
[0014]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为23kg ;封闭热场内氩气流量为52L/min ;炉内压力为13Torr ;坩埚转速为plOrpm。
[0015]实施例4
[0016]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为26kg ;封闭热场内氩气流量为55L/min ;炉内压力为12Torr ;坩埚转速为p8rpm。
[0017]实施例5
[0018]重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为26kg ;封闭热场内氩气流量为60L/min ;炉内压力为1Torr ;i甘祸转速为p5rpm。
[0019]实施例1-5拉制的重掺硼硅单晶棒，晶棒头部的氧含量最高为26ppma ;尾部氧含量最高为23.9ppma。生产的晶片符合后道使用要求。制成的器件不良率下降20%，漏电现象减少。
[0020]本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。
【主权项】
1.重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg-27kg ;封闭热场内氩气流量为50-60L/min ;炉内压力为10_15Torr ;坩埚转速为5_15rpm。
2.根据权利要求1所述的重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为24kg-26kg ;封闭热场内氩气流量为54-56L/min ;炉内压力为12_13Torr ;坩埚转速为8-12rpm。
【专利摘要】本发明公开了一种重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg-27kg；封闭热场内氩气流量为50-60L/min；炉内压力为10-15Torr；坩埚转速为5-15rpm。本发明中的重掺硼硅单晶棒的拉制方法，晶棒头部的氧含量低于26ppma；尾部氧含量低于23.9ppma。
【IPC分类】C30B15-00, C30B29-06
【公开号】CN104746138
【申请号】CN201310753695
【发明人】沈杨宇, 韩建超, 陈建纲, 刘苏生
【申请人】上海合晶硅材料有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月31日