一种线筒室的制作方法

文档序号:11396959阅读:204来源:国知局

本实用新型属于硅片线切割技术领域,特别涉及一种线筒室。



背景技术:

传统的硅片线切割设备的线筒室小导轮的数量为10个,切割室的数量为4个,结构设计不合理,切割效率低,断线概率大。



技术实现要素:

为解决现有技术和实际情况中存在的上述问题,本实用新型提供了一种线筒室,包括底板、所述底板上部平行安装有两个张力臂电机,与所述张力臂电机相连设有张力臂,所述张力臂下端设有张力臂导向轮,所述底板下部平行设有两个导向轮支架,所述导向轮支架上设有转向导向轮,左侧导向轮支架位于左侧张力臂导向轮的右下方,右侧导向轮支架位于右侧张力臂导向轮的右下方;所述底板右侧依次设有放线轮和收线轮,所述收线轮和放线轮左上方分别设有收线导向轮和放线导向轮,依次缠绕放线轮、放线导向轮、左侧张力臂导向轮、左侧转向导向轮设有通向切割室切割线,依次缠绕右侧转向导向轮、右侧张力臂导向轮、收线导向轮和收线轮设有由切割室回来切割线。

优选地,所述收线导向轮和放线导向轮上分别设有测量切割线张力的测力传感器。

本实用新型优化导向轮排布结构,线筒室小导轮的数量由原来的10个减少到6个,切割室由4个减少到2个,提升切割效率,降低断线概率;本实用新型整体结构改变,同时改变张力臂和电机排布位置,提升切割效率,适应专用金刚线切割。

附图说明

图1是本实用新型实施例的线筒室的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,一种线筒室,包括底板1、所述底板1上部平行安装有两个张力臂电机2,与所述张力臂电机2相连设有张力臂3,所述张力臂下端设有张力臂导向轮4,所述底板1下部平行设有两个导向轮支架12,所述导向轮支架12上设有转向导向轮5,左侧导向轮支架12位于左侧张力臂导向轮4的右下方,右侧导向轮支架12位于右侧张力臂导向轮4的右下方;所述底板右侧依次设有放线轮9和收线轮8,所述收线轮8和放线轮9左上方分别设有收线导向轮7和放线导向轮6,依次缠绕放线轮9、放线导向轮6、左侧张力臂导向轮4、左侧转向导向轮5设有通向切割室切割线10,依次缠绕右侧转向导向轮5、右侧张力臂导向轮4、收线导向轮7和收线轮8设有由切割室回来切割线11。

所述收线导向轮7和放线导向轮6上分别设有测量切割线张力的测力传感器。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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