专利名称：一种夹取碳膜铜网的专用镊子的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造装备技术领域，尤其是一种专用于夹取碳膜铜网的镊子。
背景技术：
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,以下简称TEM)可以同时分析微区的组织形态、晶体结构、组成元素、化学键结状态以及电子分布结构等，是固体材料分析强有力的工具之一。随着半导体行业的不断发展，技术的不断改良，芯片尺寸的不断缩减，材料生长日趋多元化、立体化、微型化，各种类型的异质材料中存在的界面、应变态、应变弛豫及随后的晶格失配位错的形成等，为TEM的使用提供了广阔的发展空间。TEM的原理是电子束穿透样品，并激发出透射电子，经过聚焦与放大，采用探测器收集信号并成像。由于电子易散射和被物体吸收，所以必须制备超薄切片。现今，半导体行业中大部分采用聚焦离子束制备样品，然后在专用的光学显微镜下，采用带静电的玻璃针，将样品取出并放在碳膜铜网上。碳膜铜网很薄，且直径仅为3毫米，所以碳膜铜网的夹取是否可靠直接关系到TEM的样品是否安全。现今市场上用于夹取碳膜铜网的镊子一般具有细而尖的末端，镊子的两个末端分别与碳膜铜网正反两个表面压紧。此类镊子主要存在以下几个问题I.镊子夹取样品时很容易将碳膜戳破，导致TEM样品的遗失，或者是碳膜表面的不平整导致TEM样品无法观测；2.碳膜铜网尺寸很小，镊子夹取时力度很难控制，易导致其掉落；3.镊子的尖端很细长，很容易在操作的过程中戳到人，对人存在一个潜在的威胁。
实用新型内容针对现有技术中常规使用的镊子存在的各种问题，本实用新型提出一种门用于夹取装载透射电子显微镜样品的碳膜铜网的镊子。本实用新型所采用的技术方案是夹取碳膜铜网的专用镊子，包括两个操作柄以及分别位于每个操作柄末端的夹持部，所述夹持部呈弧形，且两个夹持部相对的表面开设有与碳膜铜网的外径相吻合的缺口。优选的，两个操作柄形成“8”字形的镊子手持操作部；该镊子处于非使用状态时，夹持部处于闭合状态。优选的，所述操作柄为防静电的塑料材质。本实用新型具有以下优点I.夹持部与碳膜铜网的外径形成牢固的配合，减少镊子在夹取碳膜铜网的过程中对碳膜造成的损坏，提高TEM样品制备的成功率，降低成本；2.有效地避免了碳膜铜网在夹取过程中出现的意外；[0016]3.镊子带有自锁功能，减少了保存过程中镊子尖端破坏，延长了其使用寿命，同时减少了对人的伤害，保证操作人员的人身安全。
图I是本实用新型提出的专用镊子夹取碳膜铜网的立体示意图；图2是图I的镊子尖端部分的放大图；图3是图I的俯视图；图4是图3中镊子尖端部分的放大图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例作详细说明本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。如图所示的夹取碳膜铜网的专用镊子，包括两个操作柄I以及分别位于每个操作柄I末端的夹持部2，所述夹持部2呈弧形，两个夹持部2相对的表面开设有与碳膜铜网3的外径相吻合的缺口 21。当该专用镊子夹持碳膜铜网3时，碳膜铜网3的外径位于缺口 21内，并且由于夹持部2呈弧形，能够对碳膜铜网3形成支撑、防止碳膜铜网3移动或者转动，因此能够牢固的夹持碳膜铜网3。所述夹持部2的弧度并无特殊要求，但须确保夹持力，因此不宜过小。另外，两个操作柄I形成“8”字形的镊子手持操作部，该镊子处于非使用状态时，由于操作柄I的具有的弹性应力，确保夹持部2处于闭合状态，形成自锁。所述操作柄I通常可以采用防静电的塑料材质。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
权利要求1.一种夹取碳膜铜网的专用镊子，包括两个操作柄以及分别位于每个操作柄末端的夹持部，其特征在于所述夹持部呈弧形，且两个夹持部相对的表面开设有与碳膜铜网的外径相吻合的缺口。
2.如权利要求I所述的夹取碳膜铜网的专用镊子，其特征在于两个操作柄形成“8”字形的镊子手持操作部。
3.如权利要求I所述的夹取碳膜铜网的专用镊子，其特征在于该镊子处于非使用状态时，夹持部处于闭合状态。
4.如权利要求I所述的夹取碳膜铜网的专用镊子，其特征在于所述操作柄为防静电的塑料材质。
专利摘要本实用新型涉及一种夹取碳膜铜网的专用镊子，是专门用于夹取装载透射电子显微镜样品的碳膜铜网。该镊子包括两个操作柄以及分别位于每个操作柄末端的夹持部，所述夹持部呈弧形，且两个夹持部相对的表面开设有与碳膜铜网的外径相吻合的缺口。这样可以有效的减少镊子在夹取碳膜铜网时对其造成破坏导致的样品遗失，提高了透射电子显微镜样品制备的成功率，节约了成本。同时镊子带有自锁功能，减少了保存过程中镊子尖端破坏，延长了其使用寿命，同时减少了对人的伤害。
文档编号B25B9/02GK202592239SQ20122024467
公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月28日 优先权日2012年5月28日
发明者高林, 陈强, 王炯翀, 高金德 申请人:上海华力微电子有限公司