旋转式槽体自动开关盖机构的制作方法

本发明涉及半导体湿式制程设备，尤其涉及一种旋转式槽体自动开关盖机构。

背景技术：

当下各湿式制程设备开关盖方式尚不完善，且由于所允许安装空间狭小、端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求等众多因素，致使许多开关盖方式尚不能满足要求。由于传统机构大部分运用人工、拉伸气缸和连杆来实现端盖的开关运动，由于重力、伸拉气缸和连杆机构本身的限制性，不仅给工人操作带来不便，且使端盖开启自身高度、角度和紧密性受到极大约束。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种旋转式槽体自动开关盖机构，端盖的开关使用旋转气缸驱动方式，可以改进端盖开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；特殊的端盖及其与转臂的连接设计，可以使端盖在更小的空间内实现闭合、打开动作，并可调控端盖开启时的自身高度；该开关盖机构无需人工手动对端盖进行开关，可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求，解决了现有湿式制程设备开关盖需要人力开关，劳动强度大，工作效率低，以及无法适应狭小的安装环境的技术问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所述联轴器的一侧固定安装有旋转气缸。

进一步的，所述端盖包括连接部和位于连接部一侧的遮盖部，所述连接部和遮盖部为一体结构，所述连接部的上表面开设有两个第一安装槽，所述第一安装槽的槽口呈矩形，且两个所述第一安装槽分别设置与连接部上表面的两侧边缘位置处，所述第一安装槽的中部开设有第一条形通槽。

进一步的，所述连接部的横截面为弧形结构。

进一步的，所述连接板包括第一连接臂和第二连接臂，所述第二连接臂固定连接于第一连接臂的一端，且所述第一连接臂和所述第二连接臂相互垂直，所述第一连接臂上开设有两个第一安装孔，所述第二连接臂上开设有第二条形通槽。

进一步的，所述第一连接臂设置于第一安装槽内，所述第一连接臂与第一安装槽相适配，且所述第一连接臂和端盖的连接部通过第一螺栓固定连接，所述第一螺栓贯穿安装于第一安装孔和第一条形通槽内，且所述第一螺栓与第一安装孔、第一条形通槽相适配。

进一步的，所述转臂包括臂体和连接轴，所述连接轴固定连接于臂体的一侧，所述臂体一侧开设有第二安装槽，所述第二安装槽的槽口呈矩形，所述第二安装槽上开设有两个第二安装孔，所述第二安装孔贯穿臂体，第二连接臂设置于第二安装槽内，所述臂体与第二连接臂之间通过第二螺栓固定连接，所述第二螺栓贯穿安装于第二安装孔和第二条形通槽内，且所述第二螺栓与第二安装孔、第二条形通槽相适配。

进一步的，其中一个所述转臂的连接轴与支撑块转动连接，另一个所述转臂的连接轴与联轴器的一端固定连接，所述联轴器的另一端与旋转气缸的旋转头固定连接。

进一步的，所述旋转气缸和支撑块分别固定安装于槽体的两个对称槽壁上。

进一步的，所述旋转气缸的一侧固定安装有三个定位管，三个所述定位管等弧度环形分布于联轴器的周侧。

进一步的，该开关盖机构的工作步骤为：

通过启动旋转气缸，旋转气缸的旋转头正向转动并带动与其固定的联轴器转动，并通过联轴器带动连接轴正向转动，并带动整个转臂绕连接轴正向转动，转臂通过连接板带动端盖正向转动，使端盖的遮盖部远离槽体的槽口，使槽口处于敞开状态，完成开盖，关闭槽口时，通过启动旋转气缸，旋转气缸的旋转头反向转动并通过联轴器带动连接轴反向转动，并带动端盖绕连接轴反向转动，使端盖的遮盖部移动到槽体的槽口上方，使槽口关闭。

本发明的有益效果：

本发明中的端盖的开关使用旋转气缸驱动方式，可以改进端盖开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；本发明中的端盖和转臂之间通过连接板固定连接，结构简单紧凑，端盖的连接部横截面为弧形结构，连接板为折弯状结构，特殊的端盖及其与转臂的连接设计，可以使端盖在更小的空间内实现闭合、打开动作，并可调控端盖开启时的自身高度；该开关盖机构无需人工手动对端盖进行开关，与传统自动开关盖方式相比，具有更大的进步，不仅可以降低工人的劳动强度、提高工作效率，同时可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明旋转式槽体自动开关盖机构的结构示意图；

图2为本发明旋转式槽体自动开关盖机构的局部结构图；

图3为本发明中端盖的结构示意图；

图4为本发明中连接板的结构示意图；

图5为本发明中转臂的结构示意图。

图中：1、端盖；101、连接部；1011、第一安装槽；1012、第一条形通槽；102、遮盖部；2、转臂；21、臂体；211、第二安装孔；22、连接轴；3、旋转气缸；4、定位管；5、支撑块；6、连接板；61、第一连接臂；62、第二连接臂；621、第二条形通槽；7、联轴器；8、槽体。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-5所示，旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖1，两个所述端盖1位于槽体8的上方槽口位置处，两个所述端盖1的两侧均设置有转臂2，所述端盖1通过连接板6与转臂2固定连接，其中一个所述转臂2的一侧转动连接有支撑块5，另一个所述转臂2的一侧连接有联轴器7，所述联轴器7的一侧固定安装有旋转气缸3。

所述端盖1包括连接部101和位于连接部101一侧的遮盖部102，所述连接部101和遮盖部102为一体结构，所述连接部101的上表面开设有两个第一安装槽1011，所述第一安装槽1011的槽口呈矩形，且两个所述第一安装槽1011分别设置与连接部101上表面的两侧边缘位置处，所述第一安装槽1011的中部开设有第一条形通槽1012。

所述连接部101的横截面为弧形结构。

所述连接板6包括第一连接臂61和第二连接臂62，所述第二连接臂62固定连接于第一连接臂61的一端，且所述第一连接臂61和所述第二连接臂62相互垂直，所述第一连接臂61上开设有两个第一安装孔，所述第二连接臂62上开设有第二条形通槽621。

所述第一连接臂61设置于第一安装槽1011内，所述第一连接臂61与第一安装槽1011相适配，且所述第一连接臂61和端盖1的连接部101通过第一螺栓固定连接，所述第一螺栓贯穿安装于第一安装孔和第一条形通槽1012内，且所述第一螺栓与第一安装孔、第一条形通槽1012相适配。

所述转臂2包括臂体21和连接轴22，所述连接轴22固定连接于臂体21的一侧，所述臂体21一侧开设有第二安装槽，所述第二安装槽的槽口呈矩形，所述第二安装槽上开设有两个第二安装孔211，所述第二安装孔211贯穿臂体21，第二连接臂62设置于第二安装槽内，所述臂体21与第二连接臂62之间通过第二螺栓固定连接，所述第二螺栓贯穿安装于第二安装孔211和第二条形通槽621内，且所述第二螺栓与第二安装孔211、第二条形通槽621相适配。

其中一个所述转臂2的连接轴22与支撑块5转动连接，另一个所述转臂2的连接轴22与联轴器7的一端固定连接，所述联轴器7的另一端与旋转气缸3的旋转头固定连接。

所述旋转气缸3和支撑块5分别固定安装于槽体8的两个对称槽壁上。

所述旋转气缸3的一侧固定安装有三个定位管4，三个所述定位管4等弧度环形分布于联轴器7的周侧。

本发明的工作原理为：

开关盖机构在使用时，两个端盖1设置于槽体8的上方，两个端盖1上的两个连接部101一侧相互靠近，通过启动旋转气缸3，旋转气缸3的旋转头正向转动并带动与其固定的联轴器7转动，并通过联轴器7带动连接轴22正向转动，从而带动整个转臂2绕连接轴22正向转动，转臂2通过连接板6带动端盖1正向转动，使端盖1的遮盖部102远离槽体8的槽口，从而使槽口处于敞开状态，完成开盖，关闭槽口时，通过启动旋转气缸3，旋转气缸3的旋转头反向转动并通过联轴器7带动连接轴22反向转动，并带动端盖1绕连接轴22反向转动，使端盖1的遮盖部102移动到槽体8的槽口上方，使槽口关闭。

本发明中的端盖1的开关使用旋转气缸3驱动方式，可以改进端盖1开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；本发明中的端盖1和转臂2之间通过连接板6固定连接，结构简单紧凑，端盖1的连接部101横截面为弧形结构，连接板6为折弯状结构，特殊的端盖1及其与转臂2的连接设计，可以使端盖1在更小的空间内实现闭合、打开动作，并可调控端盖1开启时的自身高度；

该开关盖机构无需人工手动对端盖进行开关，与传统自动开关盖方式相比，具有更大的进步，不仅可以降低工人的劳动强度、提高工作效率，同时可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖1开启时自身高度要求、角度和紧密性要求。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。