可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置的制作方法

本实用新型涉及一种传输装置，尤其是涉及一种可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置。

背景技术：

目前真空烘箱烘烤完半导体芯片后，需要在无水无氧的手套箱中进行封口焊接，就需要将真空烘箱与手套箱对接到一起。

由于半导体芯片烘烤温度精度高，且周期长，每次烘烤的数量不能满足封口机的速度，就需要可移动的真空烘箱，可以几个移动烘箱同时烘烤，然后通过对接装置再一一与手套箱对接，来满足封口机的速度。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，解决了移动烘箱与移动烘箱对接的问题，其技术方案如下所述：

一种可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，包括上端密闭的对接装置本体和下端的移动底端，所述对接装置本体内放置有真空移动烘箱，所述对接装置本体设置有控制真空移动烘箱的plc触摸屏，所述对接装置本体的侧面设置有对接手套箱的对接法兰。

所述对接装置本体的两侧分别设置有第一自动升降门和第二自动升降门。

所述对接装置本体安装有与真空移动烘箱相连接的真空表、第一温控仪。

所述对接装置本体安装有显示其内部状态的真空计、第二温控仪。

所述对接装置本体的后端接入充气管道，所述充气管道有两条，一条与真空移动烘箱上的充气接口相连接，另一条直接通向对接装置本体内部。

所述对接法兰上安装有密封圈。

所述对接法兰通过对接法兰固定框固定在对接装置本体上。

所述移动底端的四角安装有滚轮，其内部设置有真空泵。

所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置与手套箱对接装置能够实现与手套箱的快速对接，补气方便，操作简易，节约成本，提高效率。

附图说明

图1是所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置的结构示意图；

图2是所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置的侧面示意图；

图3是图2的a-a剖视图；

图中各标号：

1-对接装置本体；2-对接法兰固定框；3-对接法兰；4-真空表；5-第一温控仪；6-真空计；7-第二温控仪；8-plc触摸屏；9-第一自动升降门；10-滚轮；11-第二自动升降门；12-真空泵；13-真空移动烘箱；14-移动底端。

具体实施方式

如图1所示，所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置包括上端的对接装置本体1和其下端的移动底端14。所述对接装置本体1为封闭式箱体，所述移动底端14的四角安装有滚轮10，其内部设置有真空泵12。

所述对接装置本体1的左端设置有第一自动升降门9，右端设置有第二自动升降门11，所述第一自动升降门9的外侧设置有对接法兰3，所述对接法兰3通过对接法兰固定框2固定在对接装置本体1上，所述对接法兰3上安装有密封圈。

所述对接装置本体1的前端设置有plc触摸屏8，在第一自动升降门9和第二自动升降门11之间的空间，用于固定放置真空移动烘箱13，所述真空移动烘箱13与plc触摸屏8相连接，通过plc触摸屏8控制真空移动烘箱13的操作。

所述对接装置本体1安装有真空表4、第一温控仪5、真空计6、第二温控仪7，所述真空表4和第一温控仪5与真空移动烘箱13相连接，分别用于显示真空移动烘箱13的真空度和温度。所述真空计6用于显示对接装置本体1内部的真空度，所述第二温控仪7用于显示对接装置本体1内部的温度。

所述对接装置本体1的后端接入充气管道，所述充气管道有两条，一条与真空移动烘箱13上的充气接口相连接，另一条直接通向对接装置本体1内部。

这样，打开第二自动升降门11，放入真空移动烘箱13，然后关闭第二自动升降门11，通过plc触摸屏8启动真空移动烘箱13的工作，真空移动烘箱13的状态通过真空表4、第一温控仪5显示。在放入到真空移动烘箱13的物料处理好后，则可以进行下面的对接操作。

使用时，所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置通过对接法兰3与手套箱快速对接，对接法兰3上安装有密封圈，并采用快速压钳压紧；真空移动烘箱13通过plc触摸屏8控制，对接后，对手套箱与真空移动烘箱13自动门中间暴露空气的区域(对接法兰固定框及周边)进行抽真空、补气的方式，置换其内部的水氧含量，使其内部与手套箱内部的水氧含量一致，可以通过真空泵12对对接装置本体进行抽真空，并可以通过真空计6显示状态；打开真空移动烘箱13的自动门，真空移动烘箱13内部的烘烤好的半导体芯片便可进入手套箱内部，进行封口焊接。

所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置能够实现与手套箱的快速对接，补气方便，操作简易，节约成本，提高效率。

技术特征：

1.一种可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：包括上端密闭的对接装置本体和下端的移动底端，所述对接装置本体内放置有真空移动烘箱，所述对接装置本体设置有控制真空移动烘箱的plc触摸屏，所述对接装置本体的侧面设置有对接手套箱的对接法兰。

2.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接装置本体的两侧分别设置有第一自动升降门和第二自动升降门。

3.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接装置本体安装有与真空移动烘箱相连接的真空表、第一温控仪。

4.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接装置本体安装有显示其内部状态的真空计、第二温控仪。

5.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接装置本体的后端接入充气管道，所述充气管道有两条，一条与真空移动烘箱上的充气接口相连接，另一条直接通向对接装置本体内部。

6.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接法兰上安装有密封圈。

7.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述对接法兰通过对接法兰固定框固定在对接装置本体上。

8.根据权利要求1所述的可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，其特征在于：所述移动底端的四角安装有滚轮，其内部设置有真空泵。

技术总结
本实用新型提供一种可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置，包括上端密闭的对接装置本体和下端的移动底端，所述对接装置本体内放置有真空移动烘箱，所述对接装置本体设置有控制真空移动烘箱的PLC触摸屏，所述对接装置本体的侧面设置有对接手套箱的对接法兰。所述可移动高精度真空烘箱与手套箱对接装置与手套箱对接装置能够实现与手套箱的快速对接，补气方便，操作简易，节约成本，提高效率。

技术研发人员：王永红
受保护的技术使用者：北京艾谱瑞斯科技有限公司
技术研发日：2020.03.31
技术公布日：2020.11.10