一种新型的紫外激光微加工平台的制作方法

文档序号:24716354发布日期:2021-04-16 14:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,该新型的紫外激光微加工平台,包括加工台(1),伸缩杆(2),工作台(3),紫外激光器(4),扩束镜(5),分光片(6),振镜x(7),振镜y(8),聚焦透镜(9),同轴ccd显微监视系统(10),支撑柱(11),可调节防护架结构(12),可调节支架结构(13)和工具储存架结构(14),所述的伸缩杆(2)螺栓安装在加工台(1)的上部左侧;所述的工作台(3)螺栓安装在伸缩杆(2)的上端;所述的紫外激光器(4)、扩束镜(5)、分光片(6)和振镜x(7)由左至右依次螺钉安装在工作台(3)的上部;所述的振镜y(8)嵌入在工作台(3)的右侧;所述的聚焦透镜(9)螺纹连接在振镜y(8)的下部;所述的同轴ccd显微监视系统(10)螺钉安装在工作台(3)的中下部;所述的支撑柱(11)分别插接在加工台(1)的上部右侧;所述的可调节防护架结构(12)安装在工作台(3)前后两部的下侧位置;所述的可调节支架结构(13)安装在加工台(1)的下部四角处;所述的工具储存架结构(14)安装在加工台(1)的中下部;所述的可调节防护架结构(12)包括收集框(121),缠绕杆(122),旋转把(123),防护网(124)和矩形磁石块(125),所述的收集框(121)螺钉安装在工作台(3)的前后两侧;所述的缠绕杆(122)轴接在收集框(121)的内侧;所述的旋转把(123)螺钉安装在缠绕杆(122)的左右两端;所述的矩形磁石块(125)胶接在防护网(124)的下部左右两侧。2.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的可调节支架结构(13)包括固定管(131),固定螺母(132),螺纹杆(133),横向管(134)和底部支脚(135),所述的固定管(131)嵌入在加工台(1)的四角处;所述的固定螺母(132)焊接在固定管(131)的下部;所述的底部支脚(135)胶接在螺纹杆(133)的下部。3.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的工具储存架结构(14)包括矩形框(141),工具储存斗(142),纵向杆(143),滚珠轴承(144)和旋转挡板(145),所述的纵向杆(143)螺钉安装在矩形框(141)的左右两侧;所述的滚珠轴承(144)套接在纵向杆(143)的外侧下部。4.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的防护网(124)贯穿收集框(121)的下侧缠绕在缠绕杆(122)的外侧。5.如权利要求2所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的螺纹杆(133)螺纹连接在固定螺母(132)的内侧。6.如权利要求3所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的工具储存斗(142)设置在矩形框(141)的内侧。7.如权利要求2所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的横向管(134)焊接在螺纹杆(133)的前侧下部。8.如权利要求3所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的矩形框(141)嵌入在加工台(1)的中下部。9.如权利要求3所述的新型的紫外激光微加工平台,其特征在于,所述的旋转挡板(145)焊接在滚珠轴承(144)的外侧。
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