一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置的制作方法

文档序号:25825620发布日期:2021-07-13 15:01阅读:156来源:国知局
一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置的制作方法

本实用新型涉及单晶生产技术领域,具体为一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置。



背景技术:

单晶硅片,硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

目前,自动化小车运输后,单晶硅片在现场占用自动化小车,导致回流慢,需要在线切机旁增加一种单晶存储装置用于加快车具的回流,减少现场自动化小车数量,并提高搬运和运转效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置,包括固定板和支撑板,所述固定板的左端连接有连接套,所述连接套的左端固定连接有转轴,所述支撑板的底端右侧固定连接有套环,所述套环的内侧与转轴的顶端外侧转动连接,所述支撑板的顶端固定连接有滑轨,所述滑轨的顶端内侧转动连接有滚珠,所述滚珠的顶端滑动连接有放置框,所述放置框的内侧设置有单晶载体,所述放置框的前后两端内侧均开设有滑槽,所述滑槽的内侧滑动连接有限位杆。

优选的,所述支撑板的底端左侧固定连接有支撑柱,所述支撑柱的底端固定连接有行走轮。

优选的,所述滑轨的数量为2个,所述滑轨对称设置在支撑板的顶端。

优选的,所述放置框的底端固定连接有限位板,所述限位板的底端内侧和滑轨的顶端内侧滑动连接,所述限位板和滑轨的截面均呈“l”型设置。

优选的,所述支撑板的顶端固定连接有阻隔板,所述阻隔板设置在放置框的下侧,所述阻隔板设置在限位板的前侧。

优选的,所述限位杆的外侧包覆有橡胶圈,所述限位杆的前端固定连接有螺纹,所述螺纹的外侧螺旋连接有定位盘。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型中,通过设置的转轴、滑轨、滚珠和限位板等构件,可以实现对放置框的移动,以满足生产的不同需求,具有很好的实用性,放置框可以通过转轴为中心进行旋转,同时的,放置框的位置可以在支撑板上进行移动,放置框可以在滑轨的顶端进行移动,设置的滚珠可以减小放置框移动时的阻力,设置的限位板可以对放置框的移动在水平方向上进行限位,防止放置框的移动出现倾斜,设置的组隔板可以对放置框移动的距离进行限制,防止放置框滑出支撑板的顶端,具有很好的实用性。

2、本实用新型中,通过设置的限位杆、橡胶圈、定位盘和滑槽等构件,可以实现对单晶载体的固定,以防止单晶载体在放置框移动时出现晃动,放置框内的限位杆通过对单晶载体左右两端进行限位,将限位杆在滑槽的内侧滑动,使限位杆外侧的橡胶圈与单晶载体左右两端相贴合,转动定位盘,定位盘的一端会与放置框的外侧紧密贴合,从而实现对限位杆的固定,这种对单晶载体的固定方式,简单快捷,具有很好的实用性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型图1的a处结构示意图;

图3为本实用新型限位板处的安装结构示意图;

图4为本实用新型限位杆处的安装结构示意图。

图中:1-固定板、2-连接套、3-转轴、4-套环、5-限位板、6-单晶载体、7-阻隔板、8-支撑柱、9-行走轮、10-限位杆、11-滑轨、12-橡胶圈、13-定位盘、14-螺纹、15-支撑板、16-滚珠、17-放置框、18-滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:

一种加装在线切机台储备单晶提高自动化运行的装置,包括固定板1和支撑板15,固定板1的左端连接有连接套2,连接套2的左端固定连接有转轴3,支撑板15的底端右侧固定连接有套环4,套环4的内侧与转轴3的顶端外侧转动连接,支撑板15的顶端固定连接有滑轨11,滑轨11的顶端内侧转动连接有滚珠16,设置的滚珠16可以减小放置框17移动时的阻力,滚珠16的顶端滑动连接有放置框17,放置框17的内侧设置有单晶载体6,本实用新型中的放置框17可以通过转轴3为中心进行旋转,同时的,放置框17的位置可以在支撑板15上进行移动,以满足不同情况下的使用需求,因为单晶载体6通过放置框17进行支撑,放置框17可以在滑轨11的顶端进行移动,从而实现对单晶载体6的移动,放置框17的前后两端内侧均开设有滑槽18,滑槽18的内侧滑动连接有限位杆10,当自动化小车将单晶送达后,工作人员可以将单晶放置到单晶载体6的内侧,单晶载体6在放置框17内的位置同时也可以进行固定,以防止单晶载体6在放置框17移动时出现晃动,放置框17内的限位杆10通过对单晶载体6左右两端进行限位,限位时,将限位杆10在滑槽18的内侧滑动,使限位杆10外侧的橡胶圈12与单晶载体6左右两端相贴合,然后,转动定位盘13,在螺纹14的作用下,定位盘13的一端会与放置框17的外侧紧密贴合,从而实现对限位杆10的固定,同时的,单晶载体6也会被固定,这种对单晶载体6的固定方式,简单快捷,具有很好的实用性。

支撑板15的底端左侧固定连接有支撑柱8,支撑柱8的底端固定连接有行走轮9,滑轨11的数量为2个,滑轨11对称设置在支撑板15的顶端,放置框17的底端固定连接有限位板5,设置的限位板5可以对放置框17的移动在水平方向上进行限位,防止放置框17的移动出现倾斜,限位板5的底端内侧和滑轨11的顶端内侧滑动连接,限位板5和滑轨11的截面均呈“l”型设置,支撑板15的顶端固定连接有阻隔板7,阻隔板7设置在放置框17的下侧,阻隔板7设置在限位板5的前侧,设置的组隔板7可以对放置框17移动的距离进行限制,防止放置框17滑出支撑板15的顶端,具有很好的实用性,限位杆10的外侧包覆有橡胶圈12,限位杆10的前端固定连接有螺纹14,螺纹14的外侧螺旋连接有定位盘13。

工作流程:本实用通过对单晶硅片在现场的放置,来腾空自动化小车,增加自动化小车的使用频率,用以达到提高自动化运行的作用,本实用新型中的放置框17可以通过转轴3为中心进行旋转,同时的,放置框17的位置可以在支撑板15上进行移动,以满足不同情况下的使用需求,因为单晶载体6通过放置框17进行支撑,放置框17可以在滑轨11的顶端进行移动,从而实现对单晶载体6的移动,设置的滚珠16可以减小放置框17移动时的阻力,设置的限位板5可以对放置框17的移动在水平方向上进行限位,防止放置框17的移动出现倾斜,设置的组隔板7可以对放置框17移动的距离进行限制,防止放置框17滑出支撑板15的顶端,具有很好的实用性,当自动化小车将单晶送达后,工作人员可以将单晶放置到单晶载体6的内侧,单晶载体6在放置框17内的位置同时也可以进行固定,以防止单晶载体6在放置框17移动时出现晃动,放置框17内的限位杆10通过对单晶载体6左右两端进行限位,限位时,将限位杆10在滑槽18的内侧滑动,使限位杆10外侧的橡胶圈12与单晶载体6左右两端相贴合,然后,转动定位盘13,在螺纹14的作用下,定位盘13的一端会与放置框17的外侧紧密贴合,从而实现对限位杆10的固定,同时的,单晶载体6也会被固定,这种对单晶载体6的固定方式,简单快捷,具有很好的实用性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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