工件台移入移出装置及作业系统的制作方法

1.本发明涉及作业设备技术领域，尤其是涉及一种工件台移入移出装置及作业系统。


背景技术：

2.在高集成度的半导体设备当中，工件台工作时位于狭小空间，为实现对工件台的维护维修，需要将工件台移出至开阔空间，以便进行进一步的操作；维护维修结束后，需要将工件台重新移入至狭小空间的工作位。
3.但采用常规的工件台移入移出方式，靠人工在平面内沿着沟槽或导向杆在水平面内两个方向移动，不仅工作量大效率低，而且会使工件台的速度不可控，存在人为操作不当，导致产生安全事故的隐患。
4.因此，急需提供一种工件台移入移出装置及作业系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种工件台移入移出装置及作业系统，以在一定程度上解决工件台作业空间狭小，较难通过人工移入移出作业空间的问题。
6.本发明提供的一种工件台移入移出装置，用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；所述连杆机构包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的第一端与所述驱动机构相连接，所述第一连杆的第二端与所述第二连杆的一端转动连接，所述第二连杆远离所述第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与所述作业系统的工件台相连接；所述驱动机构能够驱动所述第一连杆以所述第一端为转动中心相对所述驱动机构转动，以带动所述第二连杆移动，并将所述工件台的部分拉出所述作业空间。
7.其中，本发明提供的工件台移入移出装置，还包括安装机构，所述连杆机构还包括第三连杆和第四连杆；所述第三连杆的一端与所述第一连杆接近所述第二连杆的位置转动连接，另一端与所述第四连杆的一端转动连接，所述第四连杆远离所述第三连杆的一端与所述驱动机构的动力端相连接。
8.具体地，本发明提供的工件台移入移出装置，还包括第一连接件，所述第一连接件用于连接所述作业系统的基座和所述工件台；所述第一连接件与所述工件台的连接位置与所述第二连杆与所述工件台的连接位置同时位于所述工件台在第一方向上的轴线的同一侧，以使所述工件台的另一侧为自由端。
9.进一步地，所述第一连接件对应设有第一拆卸机构，所述第一拆卸机构能够驱动所述第一连接件与所述工件台相连接或相分离。
10.具体地，本发明提供的工件台移入移出装置，还包括第二连接件，所述第二连接件用于连接所述基座和所述工件台；所述第二连接件与所述工件台的连接位置与所述第二连杆与所述工件台的连接位置同时位于所述工件台在第二方向上的轴线的同一侧，当所述第
一连接件与所述工件台相分离时，所述工件台能够相对所述第二连接件转动。
11.进一步地，所述第二连接件对应设有第二拆卸机构，所述第二拆卸机构能够驱动所述第二连接件与所述工件台相连接或相分离。
12.更进一步地，所述第一连接件和所述第二连接件与所述工件台均为间隙配合。
13.具体地，所述第一连接件和所述第二连接件均为插销。
14.进一步地，所述驱动机构为气缸、电机或手摇杆。
15.相对于现有技术，本发明提供的工件台移入移出装置具有以下优势：
16.本发明提供的工件台移入移出装置，用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；连杆机构包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的第一端与驱动机构相连接，第一连杆的第二端与第二连杆的一端转动连接，第二连杆远离第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与作业系统的工件台相连接；驱动机构能够驱动第一连杆以第一端为转动中心相对驱动机构转动，以带动第二连杆移动，并将工件台的部分拉出作业空间。
17.由此分析可知，通过使第一连杆的第一端与安装机构转动连接，第二端与第二连杆的一端转动连接，且第二连杆的另一端伸入作业空间与工件台转动连接。由于驱动机构的动力端与第一连杆相连接，因此，当需要对工件台进行检修或工件台覆盖的位置进行检修时，驱动机构的动力端动作，驱动第一连杆以第一端为旋转中心相对驱动机构转动，从而能过带动第二连杆移动，进而通过第二连杆能够将工件台的部分拉出作业空间。
18.之后检修人员通过其他工具操作工件台被拉出的位置，使工件台的整体能够全部移出作业空间，而在此过程中，驱动机构的动力端可配合检修人员同时进行相应的动作，使工件台能够快速稳定地移出工作空间。
19.当检修完成后，驱动机构的动力端以相反的方向驱动第一连杆动作，从而使工件台能够再次伸入作业空间内，完成工件台的移出移入操作。
20.此外，本发明还提供一种作业系统，包括工件台、基座以及上述的工件台移入移出装置；所述工件台设置于所述基座上，且所述工件台能够相对所述基座移动。
21.采用本技术提供的工件台移入移出装置的作业系统，由于第二连杆的远离第一连杆的一端与工件台转动连接，因此，通过第二连杆能够承载工件台的部分重力，从而在一定程度上降低工件台与基座之间的摩擦力，使工件台能够顺利的进行移入移出动作。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本发明实施例提供的工件台移入移出装置在初始状态的结构示意图；
24.图2为本发明实施例提供的工件台移入移出装置在第一拉动状态的结构示意图；
25.图3为本发明实施例提供的工件台移入移出装置在第二拉动状态的结构示意图。
26.图中：1-第一连杆；101-第一端；102-第二端；2-第二连杆；3-第三连杆；4-第四连杆；5-工件台；6-基座；601-第一连接孔；602-第二连接孔；7-第一连接件；8-第二连接件；
27.s1-第一方向；s2-第二方向。
具体实施方式
28.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
31.在本技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
32.如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。
33.为了易于描述，在这里可使用诸如“在
……
之上”、“上部”、“在
……
之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。
34.在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
35.由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。
36.这里所描述的示例的特征可按照在理解本技术的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本技术的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
37.实施例1
38.如图1所示，本发明提供一种工件台5移入移出装置，用于作业系统，包括安装机构、驱动机构以及连杆机构；连杆机构包括第一连杆1和第二连杆2，第一连杆1的第一端101与安装机构转动连接，第一连杆1的第二端102与第二连杆2的一端转动连接，第二连杆2远离第一连杆1的一端伸入作业系统的作业空间内与作业系统的工件台5相连接；驱动机构的动力端与第一连杆1相连接，驱动机构能够驱动第一连杆1以第一端101为转动中心相对驱动机构转动，以带动第二连杆2移动，并将工件台5的部分拉出作业空间。
39.相对于现有技术，本发明提供的工件台5移入移出装置具有以下优势：
40.本发明提供的工件台5移入移出装置，通过使第一连杆1的第一端101与安装机构转动连接，第二端102与第二连杆2的一端转动连接，且第二连杆2的另一端伸入作业空间与工件台5转动连接。由于驱动机构的动力端与第一连杆1相连接，因此，以图1中示出的方向进行说明，当需要对工件台5进行检修或工件台5覆盖的位置进行检修时，驱动机构的动力端动作，驱动第一连杆1以第一端101为旋转中心相对安装机构沿顺时针转动，从而能过带动第二连杆2移动，进而通过第二连杆2能够将工件台5的部分拉出作业空间。
41.之后检修人员通过其他工具操作工件台5被拉出的位置，使工件台5的整体能够全部移出作业空间，而在此过程中，驱动机构的动力端可配合检修人员同时进行相应的动作控制第一连杆1和第二连杆2动作，从而使工件台5能够快速稳定地移出工作空间。
42.当检修完成后，驱动机构的动力端以相反的方向驱动第一连杆1逆时针转动，从而使工件台5能够再次移入作业空间内，完成工件台5的移出移入操作。
43.此处需要补充说明的是，在本实施方式中，驱动机构可以为电机、伸缩油缸、伸缩气缸以及手摇杆等结构，且当驱动机构采用电机时，电机的输出端与第一连杆1的第一端101相连接，当电机的输出端转动时，能够驱动第一连杆1以第一端101为旋转中心转动，从而能够带动第二连杆2移动，进而实现工件台5的移出。
44.当驱动机构为伸缩油缸或伸缩气缸等具有伸缩能力的结构时，第一连杆1的第一端101通过销轴等结构与安装机构相连接，且第一连杆1仍可以第一端101为转动中心相对安装机构转动。伸缩油缸或伸缩气缸的固定端与安装机构转动连接，伸缩端与第一连杆1远离第一端101的位置转动连接，从而通过伸缩端的伸缩，能够带动第一连杆1相对安装机构的转动，从而实现第二连杆2的移动，进而通过第二连杆2能够将工件台5移出工作空间。
45.当驱动机构为伸缩油缸或伸缩气缸时，优选地，伸缩端与第一连杆1的第二端102转动连接，且工件台5全部位于工作空间内时，伸缩端处于全部伸出状态，从而通过伸缩端的回收能够将更大面积的工件台5移出，提高检修人员的可操作性。
46.实施例2
47.如图1所示，本发明提供的工件台5移入移出装置，还包括安装机构，所述连杆机构还包括第三连杆3和第四连杆4；所述第三连杆3的一端与所述第一连杆1接近所述第二连杆2的位置转动连接，另一端与所述第四连杆4的一端转动连接，所述第四连杆4远离所述第三连杆3的一端与所述驱动机构的动力端相连接。
48.如图1所示，本技术中的第二种实施方式在实施例1的基础上增加了第三连杆3和第四连杆4，且在此种实施例中，第一连杆1的第一端101相对安装机构的位置固定，且第一端101与安装机构转动连接，第三连杆3的一端与第一连杆1的杆体相连接，另一端与第四连
杆4的一端转动连接，驱动机构的动力端与第四连杆4远离第三连杆3的一端相连接。
49.在此种实施方式中，驱动机构采用电机等具有旋转输出轴的结构，以图1示出的方向为例，当需要使工件台5移出工作空间时，驱动机构启动，从而驱动第四连杆4顺时针转动，由于第一连杆1的第一端101相对安装机构的位置固定，且第一连杆1能够以第一端101为转动中心相对安装机构转动。因此，当第四连杆4沿顺时针转动时，第三连杆3能够沿逆时针方向产生一定程度上的移动，从而带动第一连杆1沿顺时针方向转动，进而拉动第二连杆2移动，实现工件台5的移出。
50.如图1所示，由于本技术中第一连杆1的位置接近基座6，因此，第一连杆1的位置处的空间较小，较难提供充足的空间安装动力机构，因此，在本实施方式中，增加了第三连杆3和第四连杆4，一方面能够增加整体连杆机构的整体尺寸和动作范围，另一方面，也能够通过连杆机构在一定程度上远离作业系统的空间位置，从而为驱动机构的安装提供充足的空间，使整体装置的动作过程更加稳定。
51.实施例3
52.基于上述实施方式，本技术进一步地优化了整体装置，其中，如图1-图3所示，本发明提供的工件台5移入移出装置，还包括第一连接件7，通过第一连接件7能够将基座6与工件台5相连接。
53.可选地，本技术中作业系统的基座6上开设有第一连接孔601，工件台5上形成有第一穿孔，第一连接件7的一端穿过第一穿孔与第一连接孔601相连接，且工件台5能够相对第一连接件7转动；第一穿孔和第二连杆2与工件台5的连接位置同时位于工件台5在第一方向s1上的轴线的同一侧，以使工件台5的另一侧为自由端。
54.如图1-图3所示，本实施方式中进一步地增加了第一连接件7，当需要使工件台5移出工作空间时，通过驱动机构驱动第四连杆4沿顺时针转动，能够使第三连杆3沿逆时针转动的同时，产生一定程度的位移，从而通过第三连杆3能够带动第一连杆1相对安装机构转动，进而带动第二连杆2动作，使工件台5获得移出工作空间的力。
55.由于在本实施例中增加了第一连接件7，当工件台5位于作业空间内时，第一连接件7与第一穿孔和第一连接孔601对位连接，且工件台5能够相对第一连接件7转动。
56.因此，在此种状态下，工件台5远离第二连杆2的一侧为自由端，从而当第二连杆2动作时，能够使工件台5的自由端由图1中示出的状态转动至图2中的状态，从而实现工件台5的自由端移出作业空间的目的。之后，检修人员将第一连接件7与第一连接孔601相分离，并使用工具通过对工件台5的自由端进行操作，实现工件台5的全部移出。
57.实施例4
58.基于实施例3的方案，如图1-图3所示，本技术中的工件台5移入移出装置，还包括第二连接件8，通过第二连接件8能够将基座6与工件台5相连接。
59.可选地，作业系统的基座6上还开设有第二连接孔602，第二连接孔602位于作业空间的外部；工件台5上形成有第二穿孔，第二连接件8的一端穿过第二穿孔与第二连接孔602相连接；第二穿孔与第二连杆2与工件台5的连接位置同时位于工件台5在第二方向s2上的轴线的同一侧，当第一连接件7与第一连接孔601相分离时，工件台5能够相对第二连接件8转动。
60.在此种实施方式中，当工件台5由图1的状态移动至图2中的状态时，能够使第二穿
孔逐渐与第二连接孔602对位重合，从而通过将第二连接件8依次穿过第二穿孔和第二连接孔602，实现工件台5与基座6之间的转动连接。
61.之后，检修人员将第一连接件7拆离第一连接孔601，驱动机构继续驱动第四连杆4转动，从而使工件台5能够以第二连接件8为转动中心进行转动，由图2中的状态移动至图3中状态，使工件台5的大部分位置处于作业空间外。最后通过检修人员将工件台5全部移出作业空间。
62.基于上述结构，当工件台5需要移入工作空间时，驱动机构驱动第四连杆4逆时针转动，从而通过第三连杆3和第一连杆1使第二连杆2移动，进而使工件台5由图3中的状态转动至图2中的状态。
63.而在此过程中，第一穿孔逐渐与第一连接孔601相对位，之后，将第一连接件7装入第一穿孔和第一连接孔601中，并将第二连接件8抽离第二连接孔602，驱动机构继续驱动第四连杆4沿逆时针方向转动，从而使工件台5能够由图2中的状态移动至图1中的状态，完成工件台5移入作业空间。
64.此处需要补充说明的是，优选地，本技术中的第一连接件7和第二连接件8均为插销。由于在此种实施方式中基座6上开设有第一连接孔601和第二连接孔602，因此，通过第一连接孔601和第二连接孔602能够实现工件台5在移入和移出过程中的精准定位。
65.基于上述实施方式，可选地，如图1-图3所示，本技术中的第二连杆2的长度大于第一连杆1的长度，第一连杆1的长度大于第三连杆3的长度，第三连杆3的长度大于第四连杆4的长度。
66.由于第二连杆2的一端需要伸入作业空间与工件台5相连接，因此，使第二连杆2的长度较长能够实现连杆机构与工件台5的稳定连接。而使第四连杆4的长度最短，能够缩短响应时间，提高工件台5移入移出速度。
67.而第一连杆1、第二连杆2、第三连杆3以及第四连杆4的长度可根据具体作业需求进行调节。
68.此处需要补充说明的是，本技术中的第一连杆1、第二连杆2、第三连杆3以及第四连杆4均为板条状结构，且尤其是第二连杆2需要采用板条状结构，从而能够顺利伸入伸出狭窄的作业空间内。
69.进一步优选地，本发明提供的工件台5移入移出装置，还包括第一拆卸机构和第二拆卸机构，第一拆卸机构对应第一连接件7设置，第二拆卸机构对应第二连接件8设置，通过第一拆卸机构和第二拆卸机构能够使第一连接件7与第一连接孔601相分离或相连接，第二连接件8与第二连接孔602相分离或相连接。
70.通过与第一连接件7对应设置的第一拆卸机构和第二连接件8对应设置的第二拆卸机构，能够实现第一连接件7和第二连接件8的自动拆装，从而降低人工参与程度，提升作业效率的同时，提高整体装置的使用安全性。
71.此处需要补充说明的是，本技术中的第一拆卸机构和第二拆卸机构均可以采用顶升气缸，且顶升气缸可设置在工件台5或基座6上，且当顶升气缸设置在工件台5上时，工件台5上可不开设第一穿孔和第二穿孔；当顶升气缸设置在基座6上时，基座6上可不开设第一连接孔601和第二连接孔602，工件台5上的第一穿孔和第二穿孔作为连接孔进行连接。
72.可选地，本技术中第一连接件7的直径不大于上述的第一穿孔和第一连接孔601的
直径，第二连接件8的直径不大于第二穿孔和第二连接孔602的直径，从而使第一连接件7与第一穿孔和第一连接孔601为间隙配合，第二连接件8与第二穿孔和第二连接孔602为间隙配合，进而使第一连接件7和第二连接件8与第一连接孔601和第二连接孔602的插入和拔出过程更加顺利。
73.此外，本发明还提供一种作业系统，包括工件台5、基座6以及上述的工件台5移入移出装置；工件台5设置于基座6上，且工件台5能够相对基座6移动。
74.采用本技术提供的工件台5移入移出装置的作业系统，由于第二连杆2的远离第一连杆1的一端与工件台5转动连接，因此，通过第二连杆2能够承载工件台5的部分重力，从而在一定程度上降低工件台5与基座6之间的摩擦力，使工件台5能够顺利的进行移入移出动作。
75.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。