一种近红外3d探测滤波器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种近红外3D探测滤波器，包括基板（1）和沉积于所述基板（1）上的膜层，所述膜层包括多个TiO2膜层（2）以及多个SiO2膜层（3），所述TiO2膜层（2）和SiO2膜层（3）依次交替沉积于所述基板（1）上，并且所述TiO2膜层（2）和SiO2膜层（3）的膜层数均为33层。本实用新型所述近红外3D探测滤波器具有良好的波长稳定性、高透过率以及良好的截止深度，在828nm±7nm波长区域内，透过率T≥90%，其它波长的截止深度大于3dB。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种滤波器，具体为一种近红外3D探测滤波器。 一种近红外3D探测滤波器
【背景技术】
[0002] 3D游戏是近年来发展起来的一种新型网络互动游戏，手动控制是这种新型游 戏的主要特征，这一特征对游戏中采用的探测滤波器的要求比较高，即要求滤波器在 828nm±7nm的波长区域内，透过率能够平均大于90%，其它波长的截止深度能够大于3dB， 以避免其余杂散光对其的干扰。传统的滤波器暂时无法满足这种要求。
【发明内容】
[0003] 针对上述技术问题，本实用新型公开一种近红外3D探测滤波器，包括基板1和沉 积于所述基板1上的膜层，所述膜层包括多个Ti0 2膜层2以及多个Si02膜层3,所述Ti02 膜层2和Si02膜层3依次交替沉积于所述基板1上，并且所述Ti02膜层2和Si02膜层3的 膜层数均为33层。
[0004] 优选的，所述基板1为玻璃。
[0005] 本实用新型的有益效果是通过采用在基板上依次交替沉积多个高折射率膜层以 及多个低折射率膜层的结构，实现了良好的波长稳定性、高透过率以及良好的截止深度，在 828nm±7nm波长区域内，透过率T彡90%，其他波长的截止深度大于3dB。
【专利附图】
【附图说明】
[0006] 图1是本实用新型所述近红外3D探测滤波器的结构示意图；
[0007] 图2是本实用新型所述近红外3D探测滤波器的波长（nm)-透过率（%)关系曲线 图。
【具体实施方式】
[0008] 下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明 书文字能够据以实施。
[0009] 如图1所示，本实用新型公开一种近红外3D探测滤波器，包括基板1和沉积于所 述基板1上的膜层，所述膜层包括多个Ti0 2膜层2以及多个Si02膜层3,所述Ti02膜层2 和Si0 2膜层3依次交替沉积于所述基板1上，并且所述Ti02膜层2和Si02膜层3的膜层 数均为33层。
[0010] 优选的，所述基板1为玻璃。
[0011] 下面具体讲述本实用新型所述近红外3D探测滤波器。
[0012] 实施例1
[0013] 如图1所示，本实用新型所述近红外3D探测滤波器的基板1为玻璃，在所述基板 1上依次交替沉积多个Ti0 2膜层2以及多个Si02膜层3,并且所述Ti02膜层2和Si02膜层 3的膜层数均为33层。各层膜自上而下的厚度如下：
[0014] 1. 31L/1. 35H/1L/1H/1L/1H/2L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/2H/1L/ 1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/4H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/2H/1L /1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/2L/1H/1L/1H/1L/1H。
[0015] 其中，Η和L分别代表Ti02膜层(高折射率材料层)和Si02膜层(低折射率材料层） 的一个1/4波长光学厚度，Ti0 2膜层对应的折射率Hn = 2. 288, Si02膜层对应的折射率Ln =1. 471。本例中波长 λ =365nm，1H = 1/4 λ Hn ;1L = 1/4 λ Ln。Η 和 L 前面的系数表不 1/4 波长的倍数。
[0016] 如图2所示，本实用新型所述近红外3D探测滤波器，在波长828nm，光线垂直射入 时，允许828±7nm波长的光通过，而其它波长的光被隔离，即截止，透过率T > 90%，其它波 长的截止深度大于3dB，实现了一种在近红外光区域的高透过率和高截止深度的探测滤波 器。
[0017] 尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中 所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言， 可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实 用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【权利要求】
1. 一种近红外3D探测滤波器，包括基板（1)和沉积于所述基板（1)上的膜层，其特征 在于：所述膜层包括多个Ti0 2膜层（2)以及多个Si02膜层（3)，所述Ti02膜层（2)和Si0 2 膜层（3)依次交替沉积于所述基板（1)上，并且所述Ti02膜层（2)和Si02膜层（3)的膜层 数均为33层。
2. 如权利要求1所述的近红外3D探测滤波器，其特征在于：所述基板（1)为玻璃。
【文档编号】B32B9/04GK203849440SQ201420182128
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年4月16日 优先权日:2014年4月16日
【发明者】王明利 申请人:苏州奥科辉光电科技有限公司