一种大幅面快速激光标刻系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及了一种激光标刻系统，具体的说是一种大幅面快速激光标刻系统，包括激光器(1)、扩束镜(2)、分光装置(3)、振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)、聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7)，扩束镜(2)后设置有分光装置(3)，分光装置(3)后设置振镜扫描系统一(4)与振镜扫描系统二(5)，振镜扫描系统一(4)后设置聚焦场镜一(6)，振镜扫描系统二(5)后设置聚焦场镜二(7)。分光装置(3)可将扩束镜(2)的来光分成两束光，两束光分别进入振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)，然后分别经过聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7)，对物体进行标刻。由于设置两套振镜扫描系统，可以同时对两个工件进行加工，工作效率大幅度提高。进行大幅面激光标刻时，其振镜扫描系统与工件无相对移动，标刻误差小、幅面易扩充。
【专利说明】一种大幅面快速激光标刻系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光标刻【技术领域】，具体的说是一种大幅面快速激光标刻系统。
【背景技术】
[0002]现有激光标刻系统只有一套振镜扫描系统，在进行大幅面激光标刻时，需使用长焦距聚焦场镜以扩大标刻幅面或者利用转动装置使振镜扫描系统与加工工件作相对移动，其缺点在于:第一，同一时间只能对单个工件进行加工；第二，工件移动需耗费时间，降低了工作效率；第三，相对移动也容易使得激光器的稳定性下降，产生较大误差；第四，当需要进行高精度激光标刻时，高精度的转动设备会大大增加系统成本。
实用新型内容
[0003]针对上述激光标刻系统的缺陷，本实用新型提供一种大幅面快速激光标刻系统，由于设置两套振镜扫描系统，可以同时对两个工件进行加工，所以加工速度快、工作效率大幅度提高。进行大幅面激光标刻时，其振镜扫描系统与加工工件无相对移动，标刻误差小、幅面易于扩充。
[0004]本实用新型提供的大幅面快速激光标刻系统是通过以下技术方案实现的:
[0005]—种大幅面快速激光标刻系统，包括激光器(I)、扩束镜(2)、分光装置(3)、振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)、聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7)，其特征在于:扩束镜(2)后设置有分光装置(3)，分光装置(3)后设置振镜扫描系统一(4)与振镜扫描系统二(5)，振镜扫描系统一(4)后设置聚焦场镜一(6)，振镜扫描系统二(5)后设置聚焦场镜二⑵。
[0006]所述分光装置(3)可将扩束镜(2)的来光分成两束光，两束光分别进入振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)。
[0007]所述本激光标刻系统设置多个分光装置及多个振镜扫描系统。
[0008]本实用新型的有益效果是:
[0009]一、进行大幅面激光标刻时，其振镜扫描系统与加工工件无相对移动；
[0010]二、标刻误差小、幅面易于扩充；
[0011]三、可以同时对两个工件进行加工，工作效率大幅度提高。
[0012]以下结合附图对本实用新型的上述内容再作进一步的详细说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型大幅面快速激光标刻系统光路不意图。
[0014]图中标记:1为激光器、2为扩束镜、3为分光装置、4为振镜扫描系统一、5为振镜扫描系统二、6为聚焦场镜、7为聚焦场镜。
【具体实施方式】
[0015]本实用新型提供的大幅面快速激光标刻系统包括激光器(I)、扩束镜(2)、分光装置(3)、振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)、聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7)，扩束镜
(2)后设置有分光装置(3)，分光装置(3)后设置振镜扫描系统(4)与振镜扫描系统(5)，振镜扫描系统(4)后设置聚焦场镜(6)，振镜扫描系统(5)后设置聚焦场镜(7)。分光装置
(3)可将扩束镜(2)的来光分成两束光，两束光分别进入振镜扫描系统(4)与振镜扫描系统
(5)，然后分别经过过聚焦场镜￠)、聚焦场镜(7)，对物体进行标刻。
[0016]利用上述原理，本实用新型标刻系统设置多个分光装置及多个振镜扫描系统，进行更大幅面的标刻。
【权利要求】
1.一种大幅面快速激光标刻系统，包括激光器(I)、扩束镜(2)、分光装置(3)、振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)、聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7)，其特征在于:扩束镜(2)后设置有分光装置(3)，分光装置(3)后设置振镜扫描系统一(4)与振镜扫描系统二(5)，振镜扫描系统一(4)后设置聚焦场镜一(6)，振镜扫描系统二(5)后设置聚焦场镜二⑵。
2.根据权利要求1所述的一种大幅面快速激光标刻系统，其特征在于:分光装置(3)可将扩束镜(2)的来光分成两束光，两束光分别进入振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)。
3.根据权利要求1所述的一种大幅面快速激光标刻系统，其特征在于:本激光标刻系统设置多个分光装置及多个振镜扫描系统。
【文档编号】B41J2/435GK204196456SQ201420386400
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年7月14日 优先权日:2014年7月14日
【发明者】何如 申请人:成都荣乐激光技术有限公司