一种微电子工艺综合实验装置的制作方法

本实用新型涉及一种微电子工艺综合实验装置，属于微电子设备技术领域。

背景技术：

微电子学是一门实践性很强的学科，对于学生的理论联系实践能力的培养提出了很高的要求；在理论课程的教学中，很大程度上都是以理想化条件进行演绎，而实际的微电子制造过程中有很多的生产细节是无法完全在理论课上阐述清楚的，因此必须有一定的实践和实际操作基础，这是微电子学专业教学中最为特殊的方面；为了培养合格的微电子技术人才，在微电子教学过程中必须理论与实验并重，甚至要实验重于理论。

现有的微电子工艺试验装置一般体积较大且较重，在安装过程中需要将其搬运至安装点进行固定安装，在搬运过程中需要大量人力，导致该装置安装时人力成本较高，安装时，需要安装人员对该装置各个安装点进行固定，使其具有良好的稳定性，但是由于该装置的安装点较多，从而导致安装起来较为麻烦。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种微电子工艺综合实验装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种微电子工艺综合实验装置包括安装底板、实验装置本体、螺纹筒、螺纹钉、齿轮柱和安装箱，所述安装底板上固定有实验装置本体、安装底板的四个拐角处开设有固定孔，固定孔内固定有螺纹筒，所述安装底板上位于螺纹筒的一侧开设有旋转孔，旋转孔的内壁开设有环形滑槽，所述旋转孔内设置有转轴，转轴的侧面固定有转动环，转动环与环形滑槽滑动连接，所述转轴的顶端固定有齿轮柱，转轴的底端固定有第一同步轮；所述安装底板的底部固定有安装箱，安装箱的底部四个拐角处固定有脚轮，所述安装箱的两侧开设有对称的通孔，所述安装箱的内侧顶部固定有对称的安装电机。

优选的，所述安装电机的输出端固定有转杆，转杆上固定有第二同步轮，第一同步轮和第二同步轮之间通过同步带连接。

优选的，所述螺纹筒内螺纹连接有螺纹钉，螺纹钉的顶端固定有齿轮盘，齿轮盘与齿轮柱啮合。

优选的，所述实验装置的侧面铺设有缓冲垫，缓冲垫包括泡沫板和海绵，所述泡沫板有两块且对称设置，两块泡沫板之间夹设有海绵。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型涉及一种微电子工艺综合实验装置，通过设置在缓冲垫，当该装置移动过程中与其它物体发生碰撞时，缓冲垫可以减小碰撞时产生的冲击力，从而避免该装置表面磨损的同时避免该装置内部设备的损坏。

本实用新型设置有安装箱、螺纹筒、齿轮柱和螺纹钉，在安装电机的作用下，使得齿轮柱转动，进而使得螺纹钉同时转动，在螺纹筒的作用下，使得螺纹钉可以轻松钻入地下，从而对安装底板起到固定作用，从而大大减小了安装人员的工作量，提高安装效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为转轴与安装底板连接结构示意图。

图中：1、安装底板；101、旋转孔；102、环形滑槽；2、实验装置本体；3、螺纹筒；4、螺纹钉；5、齿轮柱；6、安装箱；601、通孔；7、转轴；8、转动环；9、第一同步轮；10、脚轮；11、安装电机；12、第二同步轮；13、同步带；14、齿轮盘；15、缓冲垫；16、泡沫板；17、海绵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种微电子工艺综合实验装置，包括安装底板1、实验装置本体2、螺纹筒3、螺纹钉4、齿轮柱5和安装箱6，所述安装底板1上固定有实验装置本体2、安装底板1的四个拐角处开设有固定孔，固定孔内固定有螺纹筒3，所述安装底板1上位于螺纹筒3的一侧开设有旋转孔101，旋转孔101的内壁开设有环形滑槽102，所述旋转孔101内设置有转轴7，转轴7的侧面固定有转动环8，转动环8与环形滑槽102滑动连接，所述转轴7的顶端固定有齿轮柱5，转轴7的底端固定有第一同步轮9；所述安装底板1的底部固定有安装箱6，安装箱6的底部四个拐角处固定有脚轮10，所述安装箱6的两侧开设有对称的通孔601，所述安装箱6的内侧顶部固定有对称的安装电机11。

进一步的，所述安装电机11的输出端固定有转杆，转杆上固定有第二同步轮12，第一同步轮9和第二同步轮12之间通过同步带13连接。

进一步的，所述螺纹筒3内螺纹连接有螺纹钉4，螺纹钉4的顶端固定有齿轮盘14，齿轮盘14与齿轮柱5啮合。

进一步的，所述实验装置本体2的侧面铺设有缓冲垫15，缓冲垫15包括泡沫板16和海绵17，所述泡沫板16有两块且对称设置，两块泡沫板16之间夹设有海绵17。

工作原理：本实用新型涉及一种微电子工艺综合实验装置，使用时，首先在脚轮将实验装置本体2移动至安装点，然后启动安装电机11带动第二同步轮12转动，在同步带13的作用下带动第二同步轮12转动，在转轴7的作用下带动齿轮柱5转动，进而带动齿轮盘14转动，齿轮盘14带动螺纹钉4转动，在螺纹筒3作用下，使得螺纹钉4旋转的同时下移进而钻入地下实现安装底板1的固定，从而实现实验装置本体2的固定作用；从而大大减小了安装人员的工作量，提高安装效率。

值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有成熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种微电子工艺综合实验装置，其特征在于：包括安装底板（1）、实验装置本体（2）、螺纹筒（3）、螺纹钉（4）、齿轮柱（5）和安装箱（6），所述安装底板（1）上固定有实验装置本体（2）、安装底板（1）的四个拐角处开设有固定孔，固定孔内固定有螺纹筒（3），所述安装底板（1）上位于螺纹筒（3）的一侧开设有旋转孔（101），旋转孔（101）的内壁开设有环形滑槽（102），所述旋转孔（101）内设置有转轴（7），转轴（7）的侧面固定有转动环（8），转动环（8）与环形滑槽（102）滑动连接，所述转轴（7）的顶端固定有齿轮柱（5），转轴（7）的底端固定有第一同步轮（9）；所述安装底板（1）的底部固定有安装箱（6），安装箱（6）的底部四个拐角处固定有脚轮（10），所述安装箱（6）的两侧开设有对称的通孔（601），所述安装箱（6）的内侧顶部固定有对称的安装电机（11）。

2.根据权利要求1所述的一种微电子工艺综合实验装置，其特征在于：所述安装电机（11）的输出端固定有转杆，转杆上固定有第二同步轮（12），第一同步轮（9）和第二同步轮（12）之间通过同步带（13）连接。

3.根据权利要求1所述的一种微电子工艺综合实验装置，其特征在于：所述螺纹筒（3）内螺纹连接有螺纹钉（4），螺纹钉（4）的顶端固定有齿轮盘（14），齿轮盘（14）与齿轮柱（5）啮合。

4.根据权利要求1所述的一种微电子工艺综合实验装置，其特征在于：所述实验装置本体（2）的侧面铺设有缓冲垫（15），缓冲垫（15）包括泡沫板（16）和海绵（17），所述泡沫板（16）有两块且对称设置，两块泡沫板（16）之间夹设有海绵（17）。

技术总结
本实用新型属于微电子设备技术领域，具体公开了一种微电子工艺综合实验装置，包括安装底板、实验装置本体、螺纹筒、螺纹钉、齿轮柱和安装箱，所述安装底板上固定有实验装置本体、安装底板的四个拐角处开设有固定孔，固定孔内固定有螺纹筒，所述安装底板上位于螺纹筒的一侧开设有旋转孔，旋转孔的内壁开设有环形滑槽，所述旋转孔内设置有转轴，转轴的侧面固定有转动环，转动环与环形滑槽滑动连接，所述转轴的顶端固定有齿轮柱，转轴的底端固定有第一同步轮；所述安装底板的底部固定有安装箱，安装箱的底部四个拐角处固定有脚轮，所述安装箱的两侧开设有对称的通孔，所述安装箱的内侧顶部固定有安装电机。

技术研发人员：符继征
受保护的技术使用者：符继征
技术研发日：2020.03.09
技术公布日：2020.09.01