专利名称：有效折射率啁啾布拉格光栅的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种制备啁啾布拉格光栅的新方法，以及用这种方法制作的光通信器件。
背景技术：
在本领域中，已经知道，光纤布拉格光栅用来将预定中心波长处的光信号添加至传送其他波长处的信号的波分复用光纤传输系统，或者将该预定中心波长处的光信号从该波分复用光纤传输系统去除。这种技术的详细概要描述在R.Kashyap，Fiber Bragg Gratings，AcademicPress(1999)中。
布拉格光栅可以对从宽频带信号选出的较窄波带进行反射。现有技术教导到，在光栅系统中被反射的光的波长取决于下面的公式λ＝2neffΛ其中λ是反射波长范围的中心点，neff是波导的有效折射率，Λ是光栅周期。
在现有技术中还知道，有限宽的光脉冲会经历色散，从而导致脉冲不希望的展宽。啁啾布拉格光栅可以用作色散补偿器。啁啾(chirping)指的是光栅性质的逐渐空间变化，其可以导致沿光栅长度的不同点处被反射波长有些不同。
从上面的方程可以看出，通过改变光栅周期，或者通过改变其内设有布拉格光栅的波导介质的有效折射率，就可以改变反射光的波长。两种方法在现有技术中都已经教导过。
第一种方法称作周期啁啾，其中高折射率和低折射率相邻区域的间距沿传播的方向逐渐变化。第二种方法称作有效折射率啁啾。在这种方法中，光栅周期保持均匀，但是介质的平均有效折射率发生变化。
通过改变有效折射率来在光纤布拉格光栅内产生啁啾效应披露在Byron等人Elctron.Lett.29，(18)1659(1993)中。这种改变借助于使波导尺寸成为锥形来实现。线性光栅写入该锥形波导内，以获得这种啁啾效应。
Hill等人的Tech.Dig.of Post Deadline Pap.，PD-21，Opt.Fib.Comm.Conf.OFC，94’中披露沿均匀周期光栅的长度改变折射率。
从Kashyap，op.cit.，§7.2.1可知切趾和非切趾布拉格光栅。切趾涉及可控地改变布拉格光栅内某些栅线的振幅，以将反射信号内旁瓣的影响减至最小。
使用相位掩模在聚合物波导内制备均匀周期的布拉格光栅披露在Eldada等人的美国专利6,023,545中。
美国专利5,982,963披露使用结合有环行器和未结合有环行器的啁啾布拉格光栅来进行色散补偿。通过向波导结构施加应力，电场，电磁辐射或声波来获得可调谐性。所披露的布拉格光栅借助于沿光栅的周期改变来进行啁啾。
美国专利6,317,539披露基于取样布拉格光栅来级联色散补偿器。它披露了使用结合有环行器或未结合有环行器的啁啾布拉格光栅。该布拉格光栅借助于沿光栅的周期改变来进行啁啾。其中还披露对波长既进行色散又进行色散斜率依赖性的补偿。
美国专利6,330,383披露一种可调谐的色散补偿器和一种可调谐的色散斜率补偿器，所述补偿器包括用施加应力，电场，电磁辐射或声波进行调谐的啁啾布拉格光栅。
Fritze等人在SOI Conference，IEEE International 2002，165-166(2002)中披露进行灰度色调成像(gray tone imaging)，以成形光通信部件。其中披露了灰度级掩模。
Matsumoto等人在IEEE Photonics Technology Letters，13(8)，827-829(2001)中披露通过向光纤布拉格光栅施加抛物线折射率剖面来进行色散斜率补偿。他们的方法并没有提供同时的色散补偿和色散斜率补偿。
发明概述本发明提供一种有效折射率啁啾布拉格光栅，包括锥形的聚合物光波导，基底和设在所述波导内的均匀周期性布拉格光栅，所述波导设于所述基底上。
本发明还提供一种制备啁啾布拉格光栅的方法，所述方法包括向均匀周期性的布拉格光栅施加温度梯度。
本发明还提供一种制备啁啾布拉格光栅的方法，所述方法包括在光折射光波导内制备均匀周期的布拉格光栅之后，灰度级地曝光该光折射光波导。
本发明还提供一种同时提供组合的色散补偿和色散斜率补偿的装置，包括均匀周期的布拉格光栅、基底、设在所述均匀周期布拉格光栅与所述基底之间的第一加热器，以及设在所述啁啾布拉格光栅与所述第一加热器相反一侧上的第二加热器，其中一个所述加热器(在宽度或在厚度上)具有基本抛物线形，而所述另一个加热器(在宽度或在厚度上)具有基本梯形剖面，所述两个加热器的设置使得在基于活化来提供热量时，抛物线形的温度分布和线性的温度分布会叠加在所述均匀周期布拉格光栅上。
本发明还提供一种提供偏振独立色散或色散斜率补偿器的装置，包括偏振本征模分离器/组合器和两个色散或色散斜率补偿器。
附图简述图A示意性示出级联的补偿器，每个补偿器补偿宽谱带的一个分波段。
图B示出添加的环行器，将原始入射信号和补偿的出射信号物理地分离进单个光程内。
图1示出由一些CDC构成的模块，其中每个CDC向感兴趣的整个波段的一个分波段提供色散补偿，所述CDC设置在多路分解器和多路复用器之间，所述模块向感兴趣的整个波段提供色散补偿。
图2示出由一些CDC构成的模块，其中每个CDC向感兴趣的整个波段的一个分波段提供色散补偿，所述CDC与一个用作多路分解入射信号的多路分解器和多路复用出射补偿信号的多路复用器的部件进行组合，所述组件向感兴趣的整个波段提供色散补偿。
图3示出类似于图2所示组件但添加有光环行器的组件，该光环行器允许入射信号和出射补偿信号使用单个端口，以使出射信号容易取得和便于使用。
图4示出由周期啁啾布拉格光栅和用来调谐的基本线性加热器构成的可调谐CDC。代表目前现有技术的状态。在此图中示作矩形加热器的加热器表示可以是均匀的或者可以具有基本线性锥形厚度或宽度的线性加热器。该图用来区分用于对色散或色散斜率的补偿进行调谐的相对轻微锥形的加热器，和用于对光栅进行啁啾(以及可能的话，对色散或色散斜率的补偿进行调谐)的相对较锥形的加热器。
图5示出由加热器啁啾布拉格光栅构成的可调谐CDC。尽管此处示出的用来啁啾布拉格光栅的较锥形加热器具有基本线性(或基本梯形)的锥形宽度，但可替代地，所述加热器可以具有基本线性的锥形厚度。
图6示出由有效折射率啁啾布拉格光栅和用来进行调谐的基本线性加热器组成的可调谐CDC。所述有效折射率可以通过改变波导的尺寸或折射指数进行变化。
图7示出由啁啾布拉格光栅和两个加热器构成的可调谐CDC，其中一个加热器用来补偿色散，而另一个加热器用来补偿色散斜率。在一种优选的集成光学实施方式中，其中一个加热器位于波导之上，而另一个位于波导之下。在另一种优选实施方式中，色散斜率补偿加热器具有基本上抛物线形变化的剖面。
图8-11类似于图4-7，但具有切趾的光栅(折射率的包络并不均匀，所述振幅在沿光栅的某些点处，通常在光栅中间周围较大，并朝末端逐渐变小)。这种切趾将光栅响应中的频谱旁瓣减至最小。
在图4-11的CDC设计中，入射信号和出射补偿信号共用相同的端口，由于布拉格光栅是反射的。
图12示出由单个啁啾布拉格光栅构成的CDC，其中光环行器被用来允许入射信号和出射补偿信号使用单个端口，以使出射信号容易得到和便于使用。对于每个CDC来说，使入射信号和出射补偿信号使用单个端口并不经常需要，如图2和3中的组件那样，其中希望使两个信号共用相同的端口，既用作多路分解器又用作多路复用器。然后，用单个光环行器将最终的多路复用输出信号从入射信号分离出来，如图3中所示。
图13示出可以减轻两个偏振本征模在色散补偿操作中被区别对待这一问题的CDC(例如，当光栅具有显著的双折射时)。在本实施方式中，偏振模分离器/组合器的使用允许两个偏振本征模被送至两个单独的CDC，这两个单独的CDC单个地色散补偿每个模。
图14示出布拉格光栅2的一种实施方式，其包括基底4，在基底4之上有下包层6和上包层8。芯层10夹在包层6和8之间。
在上面的图4-13中，用一条中央水平黑直线来表示光波导。用垂直的虚线示意性表示栅线，而用变化的虚线长度表示变化振幅的折射率振荡。栅线和波导的组合构成布拉格光栅。用光栅周围具有抛物线变化剖面的矩形、梯形以及“蝴蝶领结”的方框示意性表示加热器。在实际的实践时，加热器可以相对于布拉格光栅以一些不同的方式进行放置。
发明详述依照本发明，提供一种以光波导形式的布拉格光栅，该光波导沉积(deposit)在基底上。制作本发明布拉格光栅所用的基底可以选自各种材料，包括玻璃，硅和塑料，如聚氨酯和聚碳酸脂。如图14所示，布拉格光栅2的一种实施方式包括如上定义的在其上具有下包层6和上包层8的基底4。芯层10夹在包层6和8之间。
下包层6，上包层8以及芯层10由光折射材料制成，光折射材料的折射率变化与所受到的UV光强成比例。优选的光折射材料是包括有选择用来使折射率彼此不同的共聚单体的聚合物。
适当的共聚单体可以显示出不同的扩散率，以使在依照现有技术的方法制作光栅的过程中，其中一种单体具有移动离开入射光束条纹(fringe)的趋势，而另一种单体趋向于保持不动，其中的现有技术优选是Eldada等人的op.cit.披露的技术，在此引用该文的全部作为参考。理想的是，保持曝光的共聚单体经历较快的聚合速率，而未处于光条纹之下的那些共聚单体经历较慢的聚合。
实施本发明的优选聚合物是由至少两种二丙烯酸酯单体制成的交联聚甲基丙烯酸酯。优选的二丙烯酸酯单体选自包括乙氧基化的双酚二丙烯酸酯(EBDA)，三丙二醇二丙烯酸酯，1，6-己二醇二丙烯酸酯(HDDA)，乙氧基化的双酚二甲基丙烯酸酯，1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯，和卤化二甲基丙烯酸酯构成的组。最优选的是氟化二甲基丙烯酸酯单体。
在依照上文所述的本发明的实施中，单体的某些组合相比其它是有利的。例如，聚合快速的HDDA单体，和聚合较HDDA慢的EBDA代表一种优选的单体对。
本领域的任何熟练人员都可以明白，在本发明的任一实施方式中，布拉格光栅都可以依照其预期的具体应用的指示来进行变换或者不依照这些指示来进行变换。
在本发明的一种实施方式中，提供一种啁啾布拉格光栅，它包括锥形的聚合物波导晶片，所述波导仅沿一维方向呈现锥形，和用依照现有技术的方法设在所述波导内的均匀周期的布拉格光栅。
这种用有效折射率变化啁啾过的现有技术布拉格光栅包括成圆锥形的锥形玻璃纤维，该玻璃纤维已经经受过穿过相位掩模而传递的UV光的照射。尽管由此形成的折射率振荡(oscillation)的周期是均匀的，但是因为玻璃纤维内允许折射率变化的固有位置已经被产生锥体所需的纤维的拉伸扩展开，所以振荡的振幅并不均匀。另外，应力诱发的双折射很可能会由于纤维的拉伸而产生，从而导致偏振依赖的性能，这是极其不希望出现的结果。从实践的角度看，以这种现有技术的方式啁啾过的光栅在设计和可重现性方面存在着相当的困难。
位于晶片之上优选是聚合物的锥形波导是由依照各种光刻法以及现有技术中已知的其他方法来直接制备成锥形的。在这种优选是聚合物的锥形波导中，波导成分在整个波导上是均匀的。在折射率振荡振幅方面，仅仅存在着尺寸偏差，而不存在相从变动。另外，位于晶片之上的“印刷”锥形波导在形成锥形期间没有经受应力，从而双折射减至最小。此外，制备优选是聚合物的锥形波导的工艺容许依照具体的需要，形成任意横截面形状的波导。
在另一种实施方式中，本发明提供一种制备啁啾布拉格光栅的方法，该方法包括向具有均匀周期的布拉格光栅施加温度梯度。现有技术中已经知道，光学材料可以显示出折射率对温度的依赖性。然而，在现有技术中，施加线性加热来调谐周期啁啾布拉格光栅。已知现有技术的一种实施方式示意性地示出在图4中。在本发明的实施中惊奇地发现，用锥形加热剖面(heating profile)向均匀周期的布拉格光栅施加温度梯度是生成锥形有效折射率剖面的一种极其有效的方式，该锥形有效折射率剖面足以形成啁啾布拉格光栅。本发明的一种实施方式示出在图5中。
当然，也可以施加线性加热，来调谐具有均匀周期和由非加热方式(means)产生的变化有效折射率剖面的啁啾布拉格光栅。
通过加热均匀周期的布拉格光栅来生成有效折射率的剖面基本上在任何波导材料上都可以实现，包括玻璃，硅或塑料。为了增加可调谐的范围，优选的是采用对温度具有相对高折射率灵敏度的波导材料。塑料是优选的。
可以借助于现有技术中已知的任何方法来向均匀周期的布拉格光栅施加加热剖面。该剖面优选是连续的，但可以显示出一个或多个中断。优选的方式是简单地用一个锥形剖面加热器，其中锥形的方向沿波导的纵向。
在一种优选实施方式中，本发明的这种有效折射率啁啾布拉格光栅包括基底；均匀周期的布拉格光栅，设在由芯和包层构成的聚合物波导内；和加热装置，设在所述基底与所述光波导之间，该加热装置被设置或制作来在所述光波导内提供连续或半连续的温度梯度。通过用加热装置施加热来活化生成有效折射率梯度。更优选地，在所述加热装置和所述基底之间还有绝缘层。所述加热装置优选是一个电阻加热器。
在本发明的另一种实施方式中，提供一种制备啁啾布拉格光栅的方法，该方法包括在依照现有技术制备均匀周期的布拉格光栅之前，对光折射光波导进行灰度级曝光。适合用在本实施方式中的光折射材料与上文中提到的相同。
在本实施方式中，依照现有技术中已知的方法制备灰度级掩模，以用来制备光掩模。光掩模一般被制备得使任何给定的区域或者完全透明或者完全不透明，从而在或者黑暗或者明亮的照射基底上生成刻线。相反，灰度级掩模被制备得使掩模的透明度存在着连续或半连续的梯度，以便射到曝光基底上的入射光的强度连续地变化。在本发明的实施中，光源发出的光穿过灰度级掩模所进入的聚合物材料可以选自各种材料，包括玻璃和石英。
依照本发明，包括光折射材料的光波导经受灰度级照射，由此诱导其折射率的连续梯度。接着，曝光于灰度级照射之后，由此曝光过的光波导进行处理，以此来制备均匀周期的布拉格光栅。制备本发明的布拉格光栅的优选方法是Eldada等人的op.cit.披露的方法。这样，就得到依照本发明的有效折射率啁啾均匀周期波导。
在如这里所述用非加热法在光波导内生成有效折射率剖面时，本发明的一种实施方式包括使用线性加热器来向有效折射率啁啾布拉格光栅提供可调谐性，如图6中示意性示出的。
如上所述，通过在均匀周期的布拉格光栅内施加有效折射率啁啾，本发明的各个实施方式都涉及布拉格光栅内的色散补偿。在所有这些实施方式中，折射率剖面是沿光栅长度的距离的单调函数。该剖面可以单调地增加或者减小。
在本领域中已经知道，色散并不随波长而恒定不变；而且不同波长处的信号随着其沿纤维的传输会受到不同程度的污染(smudge)。经过快速调制的光信号具有较宽的谱宽，从而使用单个色散值并不能对其进行充分地补偿。随着速度的增加，这一问题更加恶化。例如，40Gbit/s的信号一般具有0.64纳米的展宽。当四倍于该速度时，展宽会变成四倍宽，即2.56纳米。在色散补偿而没有斜率补偿下，160Gbit/s的信号仍然会失真得不能读取。添加色散斜率补偿器可以解决这个失真问题。
为了获得对高速数据传输的足够的色散补偿，就需要补偿色散的波长依赖性，或者用专门术语来讲，对色散斜率进行补偿。在本领域中已经知道，对色散斜率的补偿可以通过在布拉格光栅内施加二次啁啾剖面来实现。
在本发明的一种替代实施方式中，可以向具有二次有效折射率剖面的光波导施加均匀周期的布拉格光栅，其中该二次有效折射率剖面用依照上述任一种方法来制备。
二次折射率剖面啁啾布拉格光栅可以结合加热以提供可调谐性。
在本发明一种特别优选的实施方式中，提供一种组合的色散补偿器和色散斜率补偿器，它包括啁啾布拉格光栅，基底，设在所述啁啾布拉格光栅和所述基底之间的第一加热器，设在所述啁啾布拉格光栅与所述第一加热器相反一侧上的第二加热器，其中一个所述的加热器具有“蝴蝶领结”的形状(在宽度或厚度上)以实现二次有效折射率剖面，以及其中一个所述的加热器具有连续锥形的梯形形状(在宽度或厚度上)以实现单调的折射率剖面。这两种热效应的合成叠加既提供色散补偿也提供色散斜率补偿。这种实施方式示意性地示出在图7中。
在本发明的另一种实施方式中，提供一种偏振独立色散或色散斜率补偿器，包括偏振本征模分离器/组合器和依照本发明制备的两个色散或色散斜率补偿器。在本实施方式中，入射信号的两个偏振本征模用本领域中公知的偏振分离器/组合器进行分离。接着，用单独的补偿器对每个偏振本征模进行补偿。然后，再用偏振分离器/组合器将这两个单独反射的补偿过的偏振本征模进行重新组合。
在本发明的啁啾布拉格光栅中，这两个偏振本征模具有不同的有效折射率值。从而，本发明的这种实施方式可以对其产生的色散补偿的偏振依赖性进行补偿。
相同的技术可以应用于任何啁啾布拉格光栅，而无论啁啾的方式或者制作的方法如何。这在图13中示意性地示出。
本领域的任何熟练人员能够理解，对于依照本发明制备的有效折射率啁啾布拉格光栅，可以设想出许多具体的用途和结构。其中的一些示出在附图中。它们包括级联的补偿器，每个所述补偿器补偿宽谱带的一个分波段，如图A中示意性示出的。可以添加循环器将原始入射信号和补偿过的出射信号物理地分离进单个光程内，如图B中示意性示出的。
使用多路分解器将宽频带光信号分离成较窄频带的信道，并将每个所述信道引导至补偿器，如图1中示意性示出的。
使用多路分解器将宽频带光信号分离成用于补偿的单个信道，然后将反射补偿过的信号再一次地重新组合成多路复用信号，如图2中示意性示出的。
加入环行器将原始入射信号和补偿过的出射信号物理地分离进单个光程中，如图3中示意性示出的。
可调谐补偿器如在图5-7中所示的，而添加有切趾的可调谐补偿器示意性地示出在图8-11中。
由如图5-11中所示的任何可调谐补偿器件构成的装置和环行器被结合用来将原始的入射信号光和补偿过的出射信号光物理地分离进单个光程中，如图12中示意性示出的，其中单个补偿器涵盖要补偿的整个频谱范围。
本发明进一步地用下述实施例进行说明。
实施例使用下面的术语ARC是31.5％重量的双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，63％重量的三丙二醇二丙烯酸酯，5％重量的双(二乙胺)二苯甲酮，和0.5％重量的Darocur 4265的混合物。
B3是94％重量的乙氧基化全氟代聚醚二丙烯酸酯(MW1100)，4％重量的双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，和2％重量的Darocur 1173的混合物。
BF3是98％重量的乙氧基化全氟代聚醚二丙烯酸酯(MW1100)和2％重量的Darocur 1173的混合物。
C3是91％重量的乙氧基化全氟代聚醚二丙烯酸酯(MW1100)，6.5％重量的双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，2％重量的Darocur 1173，和0.5％重量的Darocur 4265的混合物。
用KOH清洁6英寸氧化的硅晶片(基底)，然后用(3-丙烯酰氧基丙烯)三氯硅烷加以处理。将17μm厚的B3单体层旋涂沉积在晶片上，并用UV光进行聚合。然后，分别以10/200/10纳米的厚度将Cr，Au和Cr连续层溅射沉积在该聚合物涂敷的晶片上，形成加热器叠层(heater stack)。再将20纳米厚的SiO2层沉积在底部的加热器叠层上，作为粘合层。接着，将6μm厚的ARC抗反射涂层沉积在该二氧化硅层上。使用底片色调(negative tone)光敏单体以下述方式在所述ARC上形成聚合物波导旋涂沉积10μm厚的BF3下包层，并用UV光覆盖(blanket)固化，然后沉积C3芯层，通过照射穿过暗场光掩模的UV光在该芯层内对7μm×7μm横截面的直线波导进行构图，然后用有机溶剂显影未曝光的区域，最后旋涂沉积10μm厚的B3上包层并用UV光进行覆盖固化。这样，借助于相位掩模用UV曝光在所述每个波导内都形成均匀的布拉格光栅。溅射沉积100纳米的Ni层，并光刻地进行构图，作为用于RIE的掩模。所述波导用反应离子刻蚀法(RIE)来进行构图，以在其周围形成抛物线形变化的台式结构剖面，该结构剖面在末端处较大(理想的底部加热器的形状)，并在其间曝光Cr/Au/Cr加热器叠层。将台面(mesa)间的镍RIE掩模和Cr完全刻蚀掉，留下台面之间的Cr/Au层。将台面作为电镀掩模，用Au对晶片进行电镀。通过溅射沉积10/200纳米的Cr/Au叠层并光刻地对所述叠层进行构图，在台面的顶部形成梯形顶加热器(top heater)(在宽度或在厚度上，位于光栅一端较窄，位于另一端较宽)。当向所述梯形加热器施加电能时，由于所述加热器的变化形状产生加热器的变化温度，光栅内的平均有效折射率就沿光栅发生变化，从而促使布拉格光栅被用热的方法进行有效折射率啁啾。随后，溅射沉积100nm的Ni层，并光刻地进行构图，作为用于RIE的掩模。从两侧面对所述台面进一步进行RIE刻蚀，曝光下面的Cr/Au/Cr。然后，完全刻蚀掉位于台面和镀覆线之间的所述Ni RIE掩模和Cr，留下台面之间的Cr/Au层，接着，再光刻地进行构图，分离出所得的可调谐色散/色散斜率补偿光学部件。
权利要求
1.一种有效折射率啁啾布拉格光栅，包括锥形的聚合物光波导、基底和设在所述波导内的均匀周期性布拉格光栅，所述波导设于所述基底上。
2.权利要求1的光栅，其特征在于所述聚合物光波导包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
3.权利要求2的光栅，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
4.一种制备啁啾布拉格光栅的方法，所述方法包括向具有均匀周期性的布拉格光栅施加温度梯度。
5.权利要求4的方法，其特征在于所述布拉格光栅是聚合物的。
6.权利要求5的方法，其特征在于所述聚合物光栅包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
7.权利要求6的方法，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
8.权利要求4的方法，其特征在于还包括使用在宽度或在厚度上为锥形剖面的加热器来提供所述温度梯度。
9.一种制备啁啾布拉格光栅的方法，所述方法包括在光折射光波导内制备均匀周期的布拉格光栅之后，灰度级地曝光该光折射光波导。
10.权利要求9的方法，其特征在于所述光波导是聚合物的。
11.权利要求10的方法，其特征在于所述光波导包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
12.权利要求11的方法，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
13.一种同时提供组合的色散补偿和色散斜率补偿的装置，包括均匀周期的布拉格光栅、基底、设在所述均匀周期布拉格光栅与所述基底之间的第一加热器，以及设在所述啁啾布拉格光栅与所述第一加热器相反一侧上的第二加热器，其中一个所述加热器在宽度或在厚度上具有基本抛物线形，而所述另一个加热器在宽度或在厚度上具有基本梯形剖面，所述两个加热器的设置使得在活化来提供热量时，抛物线形的温度分布和线性的温度分布会叠加在所述均匀周期布拉格光栅上。
14.权利要求13的装置，其特征在于所述加热器是电阻加热器。
15.权利要求13的装置，其特征在于所述均匀周期布拉格光栅包括聚合物光波导。
16.权利要求15的装置，其特征在于所述聚合物光波导包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
17.权利要求16的装置，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
18.一种提供偏振独立色散或色散斜率补偿器的装置，包括偏振本征模分离器/组合器和两个色散或色散斜率补偿器。
19.权利要求18的装置，其特征在于至少一个所述的色散补偿器是啁啾布拉格光栅。
20.权利要求19的装置，其特征在于所述啁啾布拉格光栅是有效折射率啁啾均匀周期布拉格光栅。
21.权利要求20的装置，其特征在于所述布拉格光栅包括聚合物光波导。
22.权利要求21的装置，其特征在于所述聚合物光波导包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
23.权利要求22的装置，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
24.一种多路复用和/或多路分解光信号的装置，所述装置包括色散补偿器或色散斜率补偿器，所述补偿器包括有效折射率啁啾均匀周期布拉格光栅。
25.权利要求24的装置，其特征在于还包括环行器。
26.权利要求24或25的装置，其特征在于所述布拉格光栅包括聚合物光波导。
27.权利要求26的装置，其特征在于所述聚合物光波导包括卤化甲基丙烯酸酯单体单元。
28.权利要求27的装置，其特征在于所述卤化甲基丙烯酸酯是氟化甲基丙烯酸酯。
全文摘要
本发明提供一种有效折射率啁啾布拉格光栅，包括锥形的聚合物光波导、基底和设在所述光波导内的均匀周期性布拉格光栅，所述波导设在所述基底上。本发明还提供一种制备啁啾布拉格光栅的方法，所述方法包括向均匀周期性的布拉格光栅施加温度梯度。本发明还提供一种同时提供组合的色散补偿和色散斜率补偿的装置，包括均匀周期的布拉格光栅、基底、设在所述均匀周期布拉格光栅与所述基底之间的第一加热器，以及设在所述啁啾布拉格光栅与所述第一加热器相反一侧上的第二加热器，其中一个所述加热器(在宽度或在厚度上)具有基本抛物线形，而所述另一个加热器(在宽度或在厚度上)具有基本梯形剖面，所述两个加热器的设置使得在活化来提供热量时，抛物线形的温度分布和线形的温度分布会叠加在所述均匀周期布拉格光栅上。
文档编号G02B6/122GK1650204SQ03809585
公开日2005年8月3日 申请日期2003年4月29日 优先权日2002年4月29日
发明者L·埃尔达达, A·皮尔 申请人:纳幕尔杜邦公司