专利名称：液晶板组装系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及基板粘合系统，特别是涉及能够谋求缩短截止到粘合 结束的时间，同时能够传送器运送粘合基板的基板粘合系统。
背景技术：
在液晶显示板的制造中，有将设有透明电极、薄膜晶体管矩阵的
两片玻璃基板以几Mm程度的极其接近的间隔，通过设置在基板的周 缘部上的粘接剂(下面，也称为密封剂)粘合(后面，将粘合后的基 板称为晶格)，将液晶密封在因此而形成的空间的工序。
该液晶的密封有将液晶滴下到充填了密封剂的按照图案描绘的一 方的基板上，以"便不i炎置注入口，在真空腔内，将另一方的基板配置 到一方的基板上，使上下的基板接近，进行粘合的方法等。专利文献 1公开了为了将基板运入、运出该真空腔内而设置预备室，使真空腔 内为与预备室相同的环境，进行基板的出入的情况。
另外，专利文献2公开的真空处理装置的构成是，为了顺畅地进 行材料从预备室的运入运出，为了在预备室内进行基板的交接，使运 送室也成为真空状体，而将基板从处理室向加载互锁室运送。
专利文献II日本特开2001-305563号一>寺艮
专利文献2j日本特开平06-005687号/〉才艮
在上述专利文献l中，因为为了在基板的出入时，使预备室和真 空腔内为相同的环境，而成为将粘合的两片基板运入一方侧的预备室 内，若两片基板的粘合结束，则从设置在另一方的预备室排出的构成， 所以，需要装置的配置增长的大的设置面积。另外，因为需要使各个 预备室以及粘合室成为真空状态，所以，需要配置用于这些的装置， 截止到成为真空状态要花费时间，在缩短单件产品生产时间方面存在 界限。另夕卜，虽然如引用文献2那样，提出了在中央配置运送机器人(机 器人机器手)，在其周围配置加载互锁室以及多个处理室，来进行基 板的处理的配置构成，但是，在该构成中，伴随着粘合基板的大型化， 处理室也增大，需要大面积。另外，需要运送用机器人也是能够在真 空状态下工作的特殊的构成。
发明内容
为了实现上述目的，在本发明中，构成为将加载互锁室和脱气室 以及基板粘合室直线状配置，同时，在各室间设置门阀，在脱气室内 设置存储多片下基板的收纳机构，在粘合室设置运入粘合的上侧基板 和将粘合后的制品运出的门阀，从加载互锁室运入粘合的下侧基板， 按照运入脱气室的顺序，通过传送器运送，将下基板向粘合室运送。
另外，构成为从大致直线状配置的加载互锁室开始与粘合室平行 地设置运送处理的基板以及粘合后的制品的直线状的移动路径，设置 在移动路径上保持并运送处理的基板以及制品的机器人机械手，配置 构成为在移动路径的一方侧端部设置运入以及运出处理的基板的基板 的旋转室，在另一方的端部设置临时保管完成的制品的保管室。
发明效果
根据本发明的基板粘合装置，由于构成为能够将加载互锁室、脱 气室、粘合室直线配置，传送器运送各室的基板运送，同时，将收纳 多片滴下了液晶的基板的收纳机构设置在脱气室，从传送器到收纳机 构依次保管，所以，不必使用特殊的真空机器人即可，维护变得简单。
图l是表示成为本发明的一个实施方式的基板粘合系统的整体构 成的一个例子的图。
图2是表示加载互锁室的概略构成的图。
图3是表示脱气室的概略构成的图。
图4是用于说明脱气室的基板收纳机构的图。
图5是表示粘合室的概略构成的图。
符号说明2…旋转室、3...运送机器人的移动轨道、4...运送机器人、5...加 载互锁室、6...脱气室、7...粘合室、8...面板保管室。
具体实施例方式
下面，根据附图，说明本发明的基板粘合装置的一个实施例。 图1是表示本发明的基板粘合装置的整体配置的俯视图。如图1 所示，设置临时保管在前工序进行了处理的基板的旋转室2和从旋转 室开始直线状配置的用于使运送机器人4移动的运送路3。沿该运送 路3，以用于运入下基板的加栽互锁室5为中心，在左右分别借助门 阀G2 G5，设置脱气室6、粘合室7，成为腔构造，以便能够对各个 屋室减压。另外，在加栽互锁室和粘合室7在与运送路3相对的方向 也设置门阀Gl、 G5、 G6。再有，在加载互锁室、脱气室6、粘合室7， 分别设置用于运送下基板的传送器5C、 6C、 7C。该传送器在本实施 例中使用辊传送器，但也可以是使用皮带传送器的构成。在运送路3 的与旋转室相反侧的端部，设置临时保管粘合结束的面板9的面板保 管室8。在保管于保管室8时，面板被收纳在盒(收纳架)中保管。 若盒内收纳了规定片数的面板，则按照每个盒向后面的工序运送。
在旋转室2，在一方形成了滤色片的滤色片基板(后面称为CF 基板或者上基板)la和形成有TFT，且环状地涂抹了用于粘合的密封 剂，并在由密封剂包围的区域内滴下了最合适的量的液晶剂的基板(后 面称为TFT基板或者下基板)lb被运入旋转室2。此时，CF基板la 以粘合面朝上的方式被运入，TFT基板lb以滴下有液晶的面(粘合 面)朝上的方式被运入。因此，CF基板la以粘合面朝下的方式旋转 并被保管。
图2是表示加载互锁室的剖视图。运入到旋转室2的基板中的TFT 基板lb被保持在运送机器人4的机械手部，被运送到加栽互锁室5。 在加载互锁室5设置用于将TFT基板lb向脱气室6运送的传送器5C。 另外，设置用于从运送机器人4的机械手接收TFT基板lb，转交到 传送器5C上的接收销11。该接收销11通常被收纳在传送器5C的下 部，在接收TFT基板lb时，使驱动装置5M动作，使接收销11上升，从运送机器人4的机械手接收TFT基板lb。若将TFT基板lb转交 到接收销11,则运送机器人的机械手退避到门阀Gl之外，同时，将 接收销爪11收纳在传送器5C的下部，据此，将TFT基板lb转交到 传送器5C上而构成。若将TFT基板lb接收到传送器5C上，则关闭 门阀G1，开放阀5B1，通过已经驱动的真空泵5P1，对加载互锁室5 内进行减压。此时，开放阀5B1 5B3。然后，在达到规定的减压力 的时刻，关闭阀5B1，开放阀5B2、 5B3，通过已经驱动的真空泵5P2 更进一步减压。若成为规定的减压状态，则打开门阀G2，驱动传送器 5C,将TFT基板lb向脱气室6运送。
图3是表示脱气室6的剖视图。在脱气室6设置收纳机构30，该 收纳机构30具有多级(在本实施例中最大五片)基板保持部(基板架) 30a，以便能够隔开间隔收纳多片TFT基板lb。另外，在脱气室6内 被保持为在装置工作中总是为规定的减压状态(真空状态)。
收纳机构30具有多级基板保持部30a和由马达构成的驱动构件 30M。图4是表示该收纳机构的细节。图4 (a)是表示从上方看传送 器部的图，(b)是表示A-A剖视图。如图4a所示，构成为收纳机构 30的基板保持部30a位于传送器6C之间，通过使收纳机构30上升， 能够通过基板保持部30a保持TFT基板。即，构成为基板保持部30a 仅与传送器6C大致相同，向内侧突出地设置，能够从传送器切实地 转交基板。
若在传送器6C上运送来TFT基板lb，则首先通过对位机构进行 对位，使TFT基板lb的水边方向的位置栽置在基板保持部30a上。 该对位机构如图3所示，由用于对合TFT基板lb的行进方向的位置 的缸13D上下驱动的基板挡块13,和具有由缸和马达构成的驱动构件 14D，并且通过缸上下移动，并通过马达旋转的旋转凸轮14，以及同 样具有由缸和马达构成的驱动构件15D,用于对位左右方向的位置的 旋转凸轮15构成。若对位结束，则使收纳机构30上升，将TFT基板 lb接收到基板保持部30a。若将TFT基板lb接收到基板保持部30a， 则使传送器6C左右退避，使驱动构件30M动作，使收纳机构30上升，通过传送器6C，使收纳的TFT基板的位置位于在上方构成收纳 机构30的下一级的基板保持部30a不接触传送器6C的下方位置。此 后，将传送器6C返回到通常的运送位置。象这样，能够依次将TFT 基板积累到收纳机构30中。
虽然上述的构成是使传送器退避到外侧，接收基板的方式，但也 可以将收纳机构30构成为，在传送器6C的外侧设置多个柱部(4个 部位以上)，通过柱部，使基板保持部30a向传送器6C侧延伸，接 收并保持基板。但是，在该情况下，需要将基板保持部30a形成得长， 需要适宜地选定形成基板保持部的材料等，以便在保持了基板时不会 产生挠曲。
在将多片TFT基板收纳在该收纳机构30后，关闭门阀G2、 G3， 待机规定时间，以此，消除预先滴下到TFT基板上的液晶剂等所含有 的气泡。
图5是表示基板粘合装置的剖视图。
预先开放门阀G6，通过运送机器人4的机械手，将CF基板(上 基板)la粘合面朝下运入粘合室7。运入的CF基板la由于将负压供 给到在上工作台上设置的吸附孔，所以，开放阀7B1,通过预先驱动 的真空泵7TP，利用吸引吸附，粘合面朝下被保持在上工作台7UT上。 另外，虽然在本图中没有图示出，但是在将能够上下移动的带吸引孔 的吸附垫设置在上工作台7UT侧的情况下，在使吸附垫降下到CF基 板面，通过吸附垫保持了 CF基板后，提升到上工作台7UT面，以此， 能够进行吸附保持。另外，在上工作台7UT上设置静电吸附构件或者 粘着保持构件，以便能够在真空状态下保持CF基板la。在通过吸引 吸附，将CF基板la保持在上工作台7UT后，使静电吸附构件动作 或者通过吸引吸附构件进行吸附，直至工作台面，据此，粘着保持构 件运动，即使粘合室内成为真空状态，也能够保持基板。
若CF基板la的保持结束，则在下工作台7DT上存在粘合结束 后的面板9的情况下，通过运送机器人的机械手保持面板9，运送到 粘合室7外。此后，关闭门阀G6，开放阀7B2，预先通过驱动的真空泵7P1，使粘合室7内成为规定的真空状态。然后，关闭阀7B2，开 放阀7B3、 7B4，预先通过驱动的7P2进一步减压。若粘合室7内成 为规定的真空状态，则打开门阀G3，由传送器7C从真空状态的脱气 室6将一片TFT基板lb向同样真空状态的粘合室7的下工作台位置 运送。在粘合室，载置在传送器7C上被运送来的TFT基板lb停止 在下工作台7DT进行载置的位置。若传送器7C停止，则将下工作台 7DT或者设置在下工作台7DT侧的接收爪向上侧移动，从传送器7DT 上接收TFT基板。若将TFT基板lb接收到下工作台7DT，则通过静 电夹具或者粘着机构进行保持，使TFT基板lb不会移动。此后，通 过使下工作台7DT在水平方向移动，与保持在上工作台7UT的CF 基板la进行对位。构成为在TFT基板lb和CF基板la上分别设有 对位用的标记，通过未图示出的照相机，〗t见测该标记，求出位置错开 量。若求出位置错开量，则使用配置在粘合室(粘合用的真空腔)外 的对位机构，使下工作台移动，进行对位。
上面，对各个装置的构成及其动作进行了说明，接着，说明整体 动作。
接着，说明本系统的整体动作。这里，将CF基板称为上基板la， 将TFT基板称为下基板lb来进行说明。
首先，运入旋转室2， 4吏有必要旋转的上基板la反转进行保管。 另外，不需要旋转的下基板lb保持原来的状态进行保管。接着，使运 送机器人4动作，保持一片下基板lb，向加载互锁室5移动。打开加 栽互锁室5的入口侧的门阀Gl,将一片下基板lb转交到加载互锁室 5的传送器5C (因为转交的细节已经在前面进行了说明，所以这里省 略说明)。若下基板lb向传送器5C的转交结束，则关闭门阀Gl。 另外，此时加载互锁室5的其它的门阀G2、 G4维持着关闭状态。接 着，将加载互锁室5内减压到规定的减压状态。若减压结束，则打开 门阀G2，驱动传送器5C以及6C,使下基板lb向脱气室6侧移动。 若下基板lb向脱气室6移动，则使收纳机构30动作，将在传送器6C 上运送来的下基板lb载置在收纳机构30的基板保持部30a上进行保
8若下基板la被运入脱气室6，则关闭门阀G2。若门阀G2被关闭， 则在使加载互锁室5返回到大气压后，开放门阀Gl。运送机器人4 回到旋转室，与先前相同，保持一片TFT基板(下基板l)，向加载 互锁室5前移动，将下基板转交到加载互锁室5的传送器5C上。若 下基板lb向传送器5C上的转交结束，则使运送机器人4的机械手退 避到门阀Gl夕卜。在机械手退避后，运送机器人4回到旋转室2，与先 前相同，保持一片TFT基板lb，向加载互锁室5前移动。
接着，关闭门阀Gl,对加载互锁室5内进行减压。若达到规定的 减压状态，则与先前相同，打开门阀G2，将下基板lb收纳在脱气室 6的收纳机构30的空的架子上。若下基板lb被完全运入脱气室6，则 关闭门阀G2。同样，在从加栽互锁室5依次将下基板lb运入脱气室 6,将第四张下基板存储在收纳机构30时，运送机器人从旋转室取出 上基板la和下基板lb。然后，在将两基板保持在加载互锁室5之前 的状态下待机。
若第四片下基板lb被运入脱气室6,则关闭门阀G2，打开加载 互锁室5的基板运入用的门阀Gl，将下基板lb转交到传送器5C。若 下基板lb的转交结束，则机械手退避到加载互锁室5外，运送机器人 向粘合室7侧移动。
此时，同时将第五片下基板lb保持在收纳机构30，将其信号向 粘合室7侧的控制构件传递。粘合室7的运入侧门阀G6开放，保持 在运送机器人4的机械手上的上基板la被设置在粘合室7内的上工作 台7UT吸引吸附(对上工作台7UT保持的顺序已经在前面阐述，这 里省略说明)。
若上基板向上工作台7UT转交，则使运送机器人的机械手退避到 粘合室7外，关闭门阀G6。接着，开始粘合室7内的减压。若确认室 内达到规定的减压压力，并且在将第五片下基板运入脱气室6后经过 了规定时间，则从粘合室7的控制构件向脱气室6的控制构件指令开 放门阀3的指示。脱气室6的控制构件开放门阀G3，同时将一片下基板(最初收纳在收纳机构的下基板)从收纳机构30载置到传送器6C， 驱动传送器6C，将下基板lb向粘合室7运出。同时，驱动粘合室7 的传送器7C，从传送器6C接收下基板lb，若下基板来到下工作台 7DT的载置位置，则使传送器7C停止，载置到下工作台7DT上进行 保持，使之不动。下基板lb的保持也与上基板la同样，使用静电吸 附构件或者粘着构件等进行保持。
若将下基板lb保持在下工作台上，则关闭门阀G3、 G6，同时进 行上基板和下基板的对位。对位使用未图示出的照相机，观测设置在 各基板的对位标记，求出位置错开量，使用在粘合室的外侧具有驱动 源的横推机构，在水平方向移动，对下工作台来进行对位。
若对位结束，则将粘合室内减压到规定的压力。然后，使上工作 台下降到下工作台侧，进行粘合。在该粘合中进行若干次对位。
若粘合结束，则开放门阀G6。运送机器人预先通过旋转室保持下 一个上基板la，在门阀G6之前待机，将该上基板la转交到上工作台 7UT。若上基板la的运入结束，则运送机器人保持粘合结束的面板9， 向保管室8运送，收纳在收纳架上。
另外，在本实施例中，如图l所示，隔着加载互锁室5，在相反 側也设置脱气室粘合室，在由单侧(图的右侧)的粘合室进行粘合作 业期间，进行向图的左侧的装置的基板的供给，以此，能够提高单件 产品生产时间。
如上所述，通过将基板运入用的加栽互锁室、脱气室、粘合室直 线状配置，以能够与该配置平行地使运送机器人移动的方式进行配置， 据此，装置整体的布置筒单。另外，由于从加载互锁室经由脱气室向 粘合室运送下基板，使用传送器运送，因此，没有必要使用真空机器 人，还能够简单地进行维护。
权利要求
1.一种基板粘合系统，其特征在于，构成为将加载互锁室和脱气室以及基板粘合室直线状配置，同时，在各室间设置门阀，在上述脱气室内设置存储多片下基板的收纳机构，在上述粘合室设置用于通过粘合的运入机器人运入上侧基板并保持在上工作台，同时，从下工作台接收粘合后的制品并运出的门阀，将滴下有液晶的下侧基板运入上述加载互锁室，通过传送器运入上述脱气室，依次收纳在设置于上述脱气室的收纳机构，按照运入的顺序，将上述下基板交接到传送器，向上述粘合室运送。
2. 如权利要求1所述的基板粘合系统，其特征在于， 构成为从大致直线状配置的上述加栽互锁室开始相对于上述粘合室平行地设置运送处理的基板以及粘合后的制品的直线状的移动路 径，设置具有机械手的运送机器人，所述运送机器人在移动路径上保 持并运送处理的基板以及制品，配置构成为在移动路径的一方侧端部 设置运入以及运出处理的基板的周转室，在另一方的端部设置临时保 管完成的制品的保管室。
3. 如权利要求1所述的基板粘合系统，其特征在于， 在上述脱气室具有对在上述传送器上运送的下基板进行对位的对位机构，在通过上述对位机构对位后，^:上述收纳机构上升，将下基 板接收到基板架，使收纳机构上升，直至上述传送器位于基板架间。
全文摘要
本发明提供一种布置构成简单的粘合系统。本发明公开了一种基板粘合系统，构成为将加载互锁室和脱气室以及基板粘合室直线状配置，同时，在各室间设置门阀，在上述脱气室内设置存储多片下基板的收纳机构，在上述粘合室设置用于通过粘合的运入机器人运入上侧基板并保持在上工作台，同时，从下工作台接收粘合后的制品并运出的门阀，将滴下有液晶的下侧基板运入上述加载互锁室，通过传送器运入上述脱气室，按照运入上述脱气室的顺序，通过传送器，将上述下基板向上述粘合室运送。
文档编号G02F1/1333GK101576688SQ20081017974
公开日2009年11月11日 申请日期2008年12月3日 优先权日2007年12月3日
发明者武田紘明, 海津拓哉 申请人:株式会社日立工业设备技术