光波导的制作方法

专利名称：光波导的制作方法
技术领域：
本发明涉及主要构成部分由通过^^J具有双环^烯环的多官能氧杂环
丁;^^^的形威^^M^f于成型而成的光》皮导。
背景技术：
近年来，光波导^^在光波导器件、光集成电路、光配tt^等中，广 泛用于M讯、光信息处理、其它^fct学领域。而且，作为上述光波导构 成部分的形成材料，^^]可光引发阳离子聚合或硬化的树脂^^，已开发 出许多单官能性以及多官能性的紫外线硬化型树脂组合物，使用在光波导的
a^形^N"料中(参照专利文献i )。特开2005—17940公报

发明内容
发明要解决的舰
然而，上述紫外线硬化型树脂组合物等的耐湿性差的情况多，例如，将 其用作光波导形成材辨，J作光波导时，具有容易吸湿的缺点。因此，由于上 述吸湿，存在光波导的尺寸U变化、结果iU员失增加的问题。
本发明是鉴于上述情况而做出的发明，目的是提f种耐湿性优良的光 波导。
解决i^ll的方法
为&'J上述目的，本发明的光波导，是具有a、和该M上形成的覆 层，在上i^层中以规定图案形成传输光信号的芯部而成的光波导。采用如 下结构即上ii^以及芯部的至少一方由含有下逸逸式(1)表示的具有双 环C彿环的多官能氧杂环丁烷^^物的树脂组，所形成。<formula>formula see original document page 4</formula>(1)
本发明人，着眼于氧杂环丁烷^^7作为用作耐湿性优良的光波导形成 材料的聚^，寻求关于^HS')!l^鄉良棒性的氧杂环丁烷^^,进行了 ^^研究。而且，关于具有特歹綠构的^Mt氧杂环丁烷^^物，重复试验， 结^^现，当^^]上itit式(1)表示的具有^C烯环的多官能氧杂环丁 烷4^物时，iif'J了上i^斤期望的目的，从而完成了;^发明。即，上述具有 特歹#构的多官能氧杂环丁烷^^的，由于1分子中具有多个氧杂环丁^， 所以具有快速石更化性，而且由于硬化物形成高密度的网络结构，因此具有优 良的耐湿性。另外，上述多官能氧杂环丁烷^^物，由于具有一定程度的高 M量，因此形成高粘度，在形M膜时变得有利。当用于光波导(M、
芯部)的形成材料时，由刊l定、容易以相同的形^ui行硬化制作，所以可
获得光波导特'魁l定等的作用 。 发明的^
这样，本发明是M和芯部的至少一方由含有上iiii式(1)表示的具有 双环^烯环的多官能氧杂环丁烷的树脂组合物所形成的光波导。因此，由
以及芯部的至少一方显示出低吸湿性，结果，作为光波导，光损失的增加得 到抑制，可得到具有优良导波#性的光波导。


图l U示;^发明的光波导的^t截面图。
图2是(a) ~ (f )表示本发明的光波导的制造工序的说明图。 符号的说明1. 絲
2. 絲
3. 芯部
M实施方式
以下对^_发明的实施方i^i^ffi兌明。
本发明的光波导，详细而言，作为其的"H^仔，可举出具有图1所示 结构的光波导。即，具有Ml、和在该J^1上形成的^2,在上iit^ 2中，以败图案形成传输光信号的芯部3。而且，上ii^2由在狄l上 形成的下^ 2a和在下M 2a上形成的包，定图案的芯部3的Ji^ 2b 构成。而且，在本发明的光波导中，由含有具有特歹絲构、具有^JT、^彿 环的多官能氧杂环丁烷m^物的树脂组合物形成上ii^ 2以及芯部3的至 少一方。予以说明的是，上i^i:2的折射率必须比芯部3的还小。
作为上ili^ 1的形威对料，没有特殊限定，可用以前7/^p的材料，例 如可举出聚^:曱酸乙二醇酯、石英玻璃板、硅片、陶f^1、玻璃环衡 脂員、聚^胺膜、铜箔或不辦岡箔等的金属箔等。其厚度，也可适意地 进4ti议，顿常i议为10lam 5咖的范围内。
^^发明的光波导中，上ii^ 2以及芯部3的至少一方由含有具有特 殊结构、具有XWC烯环的多官能氧杂环丁烷4^^的树脂组合物形成。
上述具有，^烯环的多官能氧杂环丁烷^^物，是下述的通式(l) 表示的^^物，具有在1分子中具有2个(n-0时)~7个(n=5时)氧杂环 丁烷环的结构。予以说明的是，通式(l)中，R"如下ii^斤示，All^子或 碳数1 ~ 6的絲，例如可举出曱基、乙基、丙基、丁基等，舰甲基、乙l.0
CH:
0
■0
0
0
」
0
(i)
上逸逸式(1)表示的具有^f、^^烯环的多官能氧杂环丁烷^^物，可 通过以下iiit式(2)表示的酚类、下逸逸式(3)表示的3-坑基-3-羟曱 J^L杂环丁烷的^酯和碱作为合^^料、将它们用于合^A^中而进行制 造。
OH
厂
OH
(2) [化4]
R,、 /CH， 一OSO豕X
0
(3)
此处，作为上逸喊，可i人为使用以前乂^的磁d^属(氬氧化钠、氩氧化
钾等)，^SL^发明中，特别是^ 1继作为上舰时，因为可不伴有烦杂的操
作、高收率iife^^Ui必逸式(1)表示的化M，因此可^^fM上述铯盐。
^il种情况下，^^各原^ii行的合^X应，例如可举出(i)将酚类通过铯 盐而#^盐化，接着，再使其与氧杂环丁;^^S旨反应的合M应。或者，
6可举出(ii)通it^铯盐存在下使氧杂环丁:^4^酯与酚类^而进行的合 M应。其中，M按照上述(ii)的顺序进行。而且，上述合M常M 才膝剂(^!溶剂)中进行，上述合M应的反应结束后，向该反应液中加
入有才/U^剂和水，分离为7M目和有才M目，通ii^该有才/^目中萃取，可得到作 为目标的具有^JT、^1烯环的多官能氧杂环丁烷4^物。
作为上述铯盐，例如可举出碳酸铯、氢氧化绝、氟化绝、甲酸铯等。其 中，从可以高收率获得作为目标的具有双环c烯环的多官能氧杂环丁烷化 *的方面考虑，^i^f^I碳酸铯。
而且，上述铯盐的^JU量，相对于上舰式(2 )表示酚类的SW生羟基1 摩尔^^iti议为0.8 2. 0摩尔，更她为1.0~1.5摩尔的范围。
上逸逸式(2)表示的酚类，A/斤谓的具有,C烯骨架的多官能酚。
而且，在与上述的酚类""^f吏用的、上itit式(3)表示的3-烷基-3 -羟甲a杂环丁烷的^酉旨中，式(3)中的&是>^数1~6的g,例如 可举出曱基、乙基、丙基、丁基等，M曱基、乙基。而且，作为其M例 子可举出2 - ( 3 -氧杂环丁絲)丙基甲嫩酯、2 - ( 3 -氧杂环丁錄) 丙苯1^酯、2- (3-氧杂环丁;^)丙基曱^ 酯、2- (3-氧杂环 丁絲)丁基甲微酯、2- (3-氧杂环丁絲)丁基曱^t^酯等。这些 嫩酯可单独^^J，也可2种以J^且^fM。
予以i兌明的是，上iiit式(3 )表示的3 - - 3 -羟曱^杂环丁烷的 ^t^酉旨,例如可基于有才A/^成vol. 1 [Organic Synthesis, Collective vol. 1， p. 145 ( 1941 )]中记载的方'^^成。
而且，上逸逸式(3 )表示的3 一烷基—3 -羟甲^lL杂环丁烷的^酯的 4M量，相对于上舰式(2 )表示酚类的酚性羟基1摩尔^^i5^71. 5 ~ 2. 0 摩尔，更她为l. 0~1. 5摩尔的范围。
而且，在本发明的具有带有氧杂环丁烷环的^;^烯环的多官能氧杂 环丁烷^^物的制造时，^^成时的a温度，伏选i议为0~120匸，更优 选60-100。C的范围。另夕卜，扭过#^预先#^类进行^^盐化时，该舰 盐化时的^温度，^iti ^7 0~120匸，更她40~100匸的范围。而且， 这些反应时的压力没有特殊限定，可在常压、加压、减压的任一种。另外， 反应氛围也可在氮气等的惰性气体氛围下，没有特^P艮制。予以说明的是，在上述合成具有^Of、;^烯环的多官能氧杂环丁烷^^ 物时，4娥需要，也可适当添加钠、钾等的碱金属，氩^4S、 ！U^)等的碱 金属氢化物，氢氧化钠、氬氧化钾等的碱金属氬氧化物，碳酸钠等的碱金属 碳^等作为合絲料。
另夕卜，才娥需要，作为7j^目-有才M目间的相间^fM化剂，也可加入季 铵盐、季憐盐等。作为上述季铵盐，没有特殊限制，例如可举出四丁M化 铵(TBAB)、四乙^^f^F的四:^4囟化铵，千l三甲基漆^^的芳:^ 三;^卣化*。另外，作为上述四基鳞盐也没有特殊限定，例如可举出四 苯U^化鳞等的四芳基卣化憐等。
而且，在上述制造具有双环;^烯环的多官能氧杂环丁烷^^物时，如 上述，通常可^^I^溶剂，该^I溶剂，没有特殊限定，例如可^i^f^1 芳香絲(甲苯、二甲苯等)、醚(四氬呔喃、二丁JJt等)、非质子'舰性 溶剂(N—甲^^p比咯烷酉同、N —甲基-2-p比^^烷酮、N， N-二甲基甲St^、 N， N-二曱基乙St^)等。这些溶剂可单独^^J,也可2种以Jii且^vf^)。
通过这些原料合成得到的具有双环戊二烯环的多官能氧杂环丁烷化合 物，如前所述，通常可通过向其反应液中加7v7j^有才;i^剂(乙酸乙酯等)， 分液为7j^目和有才M目，再用7K和食盐水等洗^H亥有才;i4目，用无水石充酸4^等干 躲，滤出石i(t^镁，通过蒸馆去除溶剂而得到。
在本发明的光波导中，由含有上述具有^f、^烯环的多官能氧杂环丁
以及芯部3的至少一方，可得到^)w缺耐热性优良的硬化物。另外由于也 可i某求膝光灵敏度的提高，因itb^。 jH^，作为上述具有环|^的>(化物， 只要呈现出与上iiit式(1)表示的具有xwc烯环的多官能氧杂环丁烷化 合物的相容性，任何一种^t使用。具体而言，作为具有1个环錄的环氧 4^物，有苯員水甘油醚以及丁，水"^由醚等；作为具有2个以上环氧 基的环氧^^物，可^^^f^)双酚A 1水甘油醚、xsqtlL基乙醇芴二缩水 甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、旨药四缩水甘油醚、作为具有脂环 式环錄的^^的3, 4环狄己烯基甲基-3' ， f -环狄己烯舰酯、 2， 2-二(羟曱基)-l-丁醇的l， 2-环氧-4- (2-环氧乙基)环己烷的 加成物等。另外，作为上述具有乙烯^i^的^^,只要呈现出与上iiil式(i)表示的化合物的相容性，任何一种^r使用。具体而言，作为具有i
个乙烯^基的化r^，可举出羟乙基乙;^自、羟丁基乙烯JJ^、十二烷 基乙烯Ui等；作为具有2个以上乙烯J^的4t^物，可^^^使用环己烷 二曱醇二乙彿M、三乙二醇二乙辨l^以;Sjm清漆型二乙烯，等。而 且，这些^^可单独^^)，也可2种以j^a^fM。
本发明的光波导中，例如作为M 2的形威对料，^^J含有上述具有双 环戊二烯环的多官能氧杂环丁烷^^物和具有环lij^或乙烯，基的化^ 的树脂组合物，另一方面，作为芯部3的形成材料，可例^f^)含有除上述 具有双环戊二烯环的多官能氧杂环丁烷^^物以外的氧杂环丁烷^^物和具 有环ltj^或乙烯自基的化洽物的树脂组合物的组合。作为除上述具有双环 t烯环的多官能氧杂环丁烷^^物以外的氧杂环丁烷^^物，例如可举出
1, 3, 3-三(4- (2- (3-氧杂环丁烷基)丁氧i^基)丁烷)等的三官 能氧杂环丁烷^^等。予以^兌明的是，2形威对料中，优逸的是， Ji^层2b形成材#下覆层2a形成材^H吏用相同材料。
上述具有双环^烯环的多官能氧杂环丁烷^^物的含有比率，在树脂 组合物中伏选i议为10 ~ 60重:fy。的比率。
这些树脂組*,为赋予紫外^^更化性，可适当酉給M产酸剂。进而 才 需要，可g5^其它添加剂。
作为上述M产酸剂，例如没有特殊P艮定，可佳月以前^^p的，例如， ^i^f^I芳^^族重氮盐、芳^^皿钹盐、芳^^;^碘镇盐、芳^^族氧^MJL、 金属茂m^、铁芳烃类^^等。其中，从^ 更化性的观吝、考虑^ttLi^f^] 芳香;MJl，特别是AU更化性以;SJ^^生等的观泉考虑，舰4， 4 -双[二( p -鞋基乙ltJO苯基锍(；V":M-才)]苯1^雄-双-六氟锑,等的芳 香^l充钹.六氟锑^it^^、芳香族锍镇 六氟锍钹化合物，或两者的并 用。进而，除了上述M产酸剂外，可才娥需要适当添加光敏剂和酸增殖剂 等的添加剂。上ii^产酸剂的^J:，相对于聚#成分100重量份， i殳定为0.1 ~ 10重量份、更优选1 ~ 5重量份的范围。
作为上述其它的添加剂，为了提高^^性可举出^ i^类或钬类的4,寸、 烯烃类低聚物或降冰片烯类的聚合物等的环烯烃类低聚物或聚合物、合^
胶、有;MI等的挠性赋予剂等的化合物、或抗氧化剂、消泡剂等。
9接着对于使用上iH4l以及各层形成材料的本发明的光波导的制造工 序，举出""^'Ji^fti兌明。
本发明的光波导，例如可通过图2(a) ~ (f)所示工序进行制造。首先， 如图2 (a)所示，准备絲l,如图2 (b)所示，在该絲l面上4M下覆 层形成材料，以4吏4寻干;^的^W^为5~100yffl i^f亍凃布，通过使其干 燥而形成下覆层2a (覆层2的下方部分)。另外，在上述下覆层2a形成材料 为紫外线硬化型树脂组合物的情况下，通iti4行紫外线照射形成下;t^ 2a。 然后干燥后或紫外线照射后，进一對鹏需要进行加热等的固化。
作为^^)上述下;t^2a形成材料的涂布方法，可^fM旋涂，利用涂布器、 环涂布器、棒涂布器等的涂覆的方法，丝网印刷，利用间隔形成间隙向其中 通过毛细管现象注入的方法，通过多重涂布器(multicoater)等的涂布;N^ 的以te辊(roll to roll) i^^ii续涂覆的方法等。
予以说明的是，为了提高下覆层2a与絲l的密合性，也可^J I^^^偶 合剂或铝^^剂，对基^ 1的下M 2a形成面i^f亍表面处理。
接着，如图2 (c)所示，在上述下^lr 2a上形成由芯部3形賴的树脂 组^构成的层3'。作为形成该层3'的方法，可举出与上述^^]下覆层2a 形成^"料时的J^布方法同才羊的方法。
然后，图2 (d)所示，在上i^3'面上，配i^于^M^图案(光波导
图案)曝光的^^膜9，介由该iU^膜9进行紫外线曝光等的iy 、射，进而进
行加热处理。在上述膝光时，没有特殊P艮定，例如可举出接触曝光、使M 膜9与层3'稍微离开进行的接狄膝光、投影曝光法等。从进一步提高精度 方面考虑，^iM接触膝絲接狄膝光。另夕卜，在上述紫外线的啄光时， ^i^f吏用滤光片等而使用平行光。
接着，曝M，通过^^]显影^^解除去层3'的未啄光部分，如图2 (e) 所示，形iU^定图案的芯部3。作为上述显影法，可使用桨式(paddle )显影、 浸渍法、喷射法等的公知技术。予以说明的是，进行显影后，也可根悟需要 进一步进fr洗涤。上述洗涂，例如，可^^异丙醇等的醇或蒸镏水等。而且， 为了使形成的芯部3的硬化更完全，也可进行利用加热等的后固化。
接着，如图2 (f)所示，在形成了上m^l图案的芯层3的下絲2a上， 用jL^2b形成材^^U^层2b。作为上iiJi^ 2b的形成方法，可举
10出与上述下;t^ 2a的形成方法同样的方法。另外如上所述，上i^J^ 2b
形^H"^下aJr2a形^H^K^^f^I相同的 H"料。这样在J^！ 1 成下覆层2a，进而在上述下覆层2a上形g定图案的芯部3，形成包含该芯 部3的Ji^罢2b，从而制ii^波导。
予以i兌明的是，上n波导，也可通过剥离除去上*板1而形成薄膜 状光波导，辆这种结构时，挠性优良。
这样得到的光波导，例如可作为直线光波导、弯曲光波导、交Xib皮导、 Y分JUt波导、板型(slab)光波导、马赫-策德尔型光波导、AWG型光波导、 衍射雄(grating),光波导透镜等^ft^。另夕卜，作为<^了这些光波导的 it^件，可举出滤波器、光转换器、光分支器、M波器、it^波器、光 放大器、波长变换器、波长分割器、分光器、定向耦合器、以及^^集成了 >^管、it^L管的M斷狭等。
以下结合tb^例对实施例进^i兌明，但，本发明并不限于这些实施例。
首先，在实施例之前，如下合成作为3-錄-3-羟甲狄杂环丁烷的 ^酯的2 - ( 3 -氧杂环丁M) 丁基甲^^酯。
向具有温度计、^P管以及，装置的200ml三口 中，19. 5g (50. Ommol)下述结构式(a )表示—的具有^Jf、;^烯骨架的多官能酚(新日^S油社制，DPP-6095H)以及作为溶剂的90ml N，N-二曱基乙酰胺，在氮 在么围下在80。C下撒沐30分钟。再向其中加入45. lg (138. 5mmo1)的碳酸 铯，再在氮U围下在80。C下餅30 向其加入34. 3g (126. 9mmo1)
先前合成的2 - (3 -氧杂环丁烷基)丁基甲^^酯，在氮气氛围下在80X: 下撒泮20小时。反应结^，冷却到室温(25X:),然后加入100ml乙酸乙 酯和70ml蒸馏水，分离为有才M目和7j^目，接着再用zMp^^^盐水洗涤有才几 相，用无水疏酸镁干燥一夜。接着滤出硫酸镁后，通过蒸條去除溶剂，得到 雄粗产物。 [化5]<formula>formula see original document page 12</formula>(a)
这样得到的粗产物，用薄层色谙法分析，结果只确认1个点。将其用硅 胶色镨法('m液正己烷/丙酮)进行精制，得到黄色固体27. 7g(收率90。yO。 然后通it^目色谦法测定该^^物的^L，结果为99%以上的纯度。
然后用红外p及jlij^普(日本分ibii制)对这样得到的^^进行分析， 结果来自原^S^基的3400cm—1的吸收完全消失，新的来自氧杂环丁g的吸 收980cnf1出现。由jH^角^人，为导入了下i^构式(A)表示的氧杂环丁g 的、具有双环;i^烯环的多官能氧杂环丁烷^f^^。予以说明的是，结构式 (A)中的重复数n的平均值为0. 3。
<formula>formula see original document page 12</formula>(A)
向具有温度计，冷却管及搅拌装置游"500ml三口烧瓶中投入30. Og(50. Ornmol)下述结构式(b )表示的具有X3UT、;^烯骨架的多官能酚(新日 本石油社制，DPP-6125H)、以及作为溶剂的115ml N，N-二曱基乙酰胺，在 氮气氛围下在80。C下搅拌30分钟。向其中加入63. 4g (194. 6咖o1)碳酸铯， 再在氮M围下在80匸下,30 ^4中，向其加入48. 2g (178. 4mmo1)先前 合成的2- (3-氧杂环丁烷基)丁基曱^t^酯、在氮气氛围下在80"C下搅 拌20小时。反应结束后，^HP到室温(25匸)，然后加入140ml乙酸乙酯和 100ml蒸馏水，分离为有才;i^目和7j^目。接着再用7K^i^fp食盐7jc洗涤有才^f目， 用无7jc 克酸镁干;^一夜，接着滤出石JIL^^，通过蒸馏去除ig:剂，得到A^ 粗产物。
这样得到的粗产物用薄层色语法进行分析时，结果只确认1个点。将其 用皿色语法(洗脱液正己烷/丙酮)进行精制，得到黄色固体42. 3g (收 率93%)，然后通it^目色谦法测定该4b^的纯度，结果为99%以上的逸复。
然后用红外吸Jltit语(日本分it^土制)对这样得到的4t^进行分析， 结果来自原料酚基的3400cm—1的吸收完全消失，新的来自氧杂环丁烷基的吸 收980cm—i出现。由jH^角认，为导入了以下i^构式(B)表示的氧杂环丁烷 基的、具有双环^烯环的多官能氧杂环丁烷m^物。予以说明的是，结构 式(B)中重复数n的平均值为1.2。实施例1 '
如下，形成下M、芯部以;sji^层，制作光波导(参照图2)。 B口下 对该光波导进^W。 [下M的形成]
首先，#^口下成^^#>、給，即，2官能性芳香族环氧(xMt^乙醇芴 1水甘油醚)(成分A) 30重量份、具有作为环己烯氧化物骨架的脂环式环 M悄旨的3'， 4' -环氧环己基曱基-3, 4-环IUr、己;^l^酯(夕、七乂W匕 学工业社制、七口《廿4卜'2021P)(成分B) 50重量份、以上逸矛法制作的 上述结构式(A)表示的多官能氧杂环丁烷^^物(成分C) 20重量份、和作 为M产酸剂的4， 4-双[二 ( P -M乙lLjO ^tJ^U^i^皿—双-六 氟锑缝的50% 3 —戊酉^^f膽(7口匕°才》力一」4卜*)溶液(成分G) 2 重量份。调制^& (下M/Ji^)形^树脂组^ (奢漆A)。
接着，准备聚^甲酸乙二醇酯糾(250咖x 250咖x厚度188 jnm)(参 照图2 (a))，在其表面Jiit过旋涂法涂布上ii^漆A。然后以2000mJ/c迈2的 照射量全面照射紫外线后，在100'C下加热处理15分钟，由此形成下覆层(参 照图2 (b))。通过接触^f计测定该下;t^的厚度，结果为25)am。另夕卜， 上述下M的折射率，在波长830nm中为1.545。
接着，将2官能性芳香族环氧(二錄基乙醇芴4水甘油醚)(成分A) 50重量份、作为3官能氧杂环丁烷4^物的(1， 3，.3-三(4- (2- (3-氧杂环丁烷基)丁舉J^基)丁垸)(成分D) 22重量份、和作为光致产酸剂 4, 4-双[二 ( P-羟基乙錄)苯基劍苯*爐-双-六氟锑缝的50%3 -戊酮碳^4勿溶液(成分G ) 1重量儉溶解在乳酸乙醉(成分F) 28重量份中，
14调制成芯部形^]树脂组* (清漆B)。
然后，通过旋涂法，将上述奢漆B涂布在上述下絲上，通錄10(TC下 干燥10分钟形成芯部前体层(参照图2 (c))。再在其上i^描绘出50Mm宽 的带状光波导图案的合成石英类的铬掩膜(光掩膜)(参照图2(d)),介由该 ##膜通过接触啄光法照射4000mJ/cm2照綠的紫外线，进一步在12(TC下加 热处理15^4中。其后为了除去^ 、射部分，用y -丁内酯水溶^ii行显影， 再在120。C下加热30分钟，由此形成芯图案(参照图2 (e))。用电子显微镜 (工;/^社制、VE - 7800)测定芯形状，结果形成具有宽50 pm、高50 ja m的正方形的断面形状的芯图案。另夕卜，这样形成的芯部的折射率，在波长 830nm中为1. 594。
通过旋涂法，将与下a^形成时调制的清^漆A相同的清漆涂布在上述下 M以及芯部上。然后，和上述下覆层形成时同样，以2000mJ/cm2的照#* 全面照射紫外线，接着在150匸下加热处理60分钟，由此形成JL^层(参照 图2 (f ))，这样制作比折射率厶=3. 0%的光波导(参照图1 )。
实施例2
^ft为a^形^t料的清漆A的成份B的S5^量变成30重量份、将成分 C的酉5^量变成40重量份，除jtb^卜和实施例1同样，用*漆A形成下^/gr 以;sjia层，同时用清漆B形成芯部，制作光波导(参照图l)。
实施例3
，为a^形威射料的淹漆A的成分B的酉e^量变成20重量份、将成分 C的酉e^量变成50重量份，除jtb4^卜和实施例1同样，用、奢漆A形成下;t^ 以AJl^，同时用清漆B形成芯部，制作光波导(参照图l)。
实施例4
^JU导入了 20重量份上述[多官能氧杂环丁烷^^物的合成2]中合成的 结构式(B)表示的氧杂环丁M的具有XW;i^烯环的多官能氧杂环丁烷化 ^4勿(成分C，)代辨为^形^#料的'斧漆A的成分C，除ith^卜和实施 例1同样，用，斧漆A形成下^i"以;SJia^，同时用、)^漆B形成芯部，制作 光波导(参照图1)。
实施例5将作为W:形威^^料的清、漆A的成分A的S2/^量变成35重量份、成分B
的酉e^量变成20重量份、成分c的酉e^^量变成10重量份、成分G的酉e^量
变成1重量份、同时作为新成分CM^] [1 -乙基(3 -氧杂环丁;^)]曱基 醚(东亚合^ 土制，7口》才^七夕yOXT-221 ) 35重量份，除jH^卜和实 施例l同样，用'斧漆A形成下絲以^M^，同时，用'斧漆B形成芯部， 制作光波导(参照图l)。 滩例
<M 20重量份三羟甲基丙烷fijt水"^由醚(大^七少厶^y夕^社制、
于'大3 —> EX - 321)(成分E )代辨为;t^形^t料的,斧漆A的成分C (多
官能氧杂环丁^^^),除》b^卜和实施例i同样，用';fr"漆A形成下a^以
;sjia层，同时用清、漆B形成芯部，制作光波导(参照图l)。 [糊
^^切割装置将上述制作的光波导切成lcm的M，将其在85X:x85y。(相 对温度)的氛围下放置100小时，用下述所述的卡尔-费歇尔法^Wt1^ 的光波导吸湿率。这些结果与实施例以及tb^例的清漆A、 B的构M^—并 示于下i^41。甲絲(东亚合^^土制，r口 ^才^七夕》0XT —221)
成分D: 1，3，3-三(4- (2- ( 3 -氧杂环絲)丁^L^^基)丁烷) 成分E:三羟曱基丙烷辦水甘油醚(大力*七少厶^少夕义社制、T大3
一》EX-321) 成分F:乳酸乙酯
成分G: 4， 4-双[二("幾基乙絲)苯基劍苯^舰-双_六氟锑 ^的50% 3-戊酮碳化物溶液
由上iii^果可知，实施例品的光波导的吸湿率比比较例品的小，耐湿性 优良。
工业应用性
作为^^发明的光波导，例如可举出直线光波导、弯曲光波导、交叉光波 导、Y分iJ6波导、板型光波导、马赫-策德尔型光波导、AWG型光波导、衍 射自，光波导透镜等。而且，作为^^]上i^b皮导而成的i^L件，可举出 滤波器、光转换器、光分支器、光合波器、*分波器、光放大器、波长变 换器、波长分割器、分光器、定向耦合器、以及〉'^^集成了激it^l管、光 ^L管的絲糾狭等。
权利要求
1. 一种光波导，其特征在于，其是具有基板和在该基板上形成的覆层、在上述覆层中以规定图案形成传输光信号的芯部的光波导，上述覆层以及芯部的至少一方由树脂组合物形成，所述树脂组合物含有下述通式(1)表示的具有双环戊二烯环的多官能氧杂环丁烷化合物，[化1]式(1)中，R1表示氢原子或碳数1～6的烷基，彼此可以相同也可以不同，n为0或1～5的正数。
2.才財居权利要求1所述的光波导，^#棘于，上ii^gr以及芯部的至 少一方由树脂组賴形成，所述树脂组杨含有权禾'涹求1所述的具有鄉 ^烯环的多官能氧杂环丁娱^r^和具有环^或乙烯^^MJ^K^物。[化l]
全文摘要
本发明提供一种耐湿性优良的光波导。光波导的构成是在基极1上形成下覆层2a，再在上述下覆层2a上，以规定图案形成传输光信号的芯部3，进而在其上形成包复该芯部3的上覆层2b。上述二个覆层2a，2b和芯部3，其中至少一方由如下树脂组合物所形成，该树脂组合物含有以下述通式(1)表示的具有双环戊二烯环的多官能氧杂环丁烷化合物。[式(1)中，R₁表示氢原子或1～6个碳的烷基，彼此可以相同也可以不同，n为0或1～5的正数。]。
文档编号G02B6/13GK101441299SQ200810188790
公开日2009年5月27日 申请日期2008年5月16日 优先权日2007年5月17日
发明者疋田贵巳 申请人:日东电工株式会社