专利名称：大型护罩的收纳方法
技术领域：
本发明涉及大型护罩^ )的收纳方法及其收纳结构体，所述收纳方法可以将护罩膜的面积在IOOOcm2以上的大型护罩以稳定的状态收纳在由托盘和盖子构成的箱体中，所述大型护罩用于防止在制造构成LSI、液晶显示器(LCD)的薄膜晶体管(TFT)和滤色器(CF)等时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物。
背景技术：
在以往制造半导体电路图案等过程中，正如在后述专利文献I中记载的那样，通 常采用称为护罩的防尘措施来防止异物附着在光掩模或标线片上。护罩的结构如下在具有与光掩模或标线片的形状相匹配的形状的数微米厚的框架的上缘面上铺展并粘合有厚度为10 μ m以下的硝化纤维素或纤维素衍生物或者含氟聚合物等透明高分子膜(以下称为护罩膜)，并且，在该框架的下缘面涂有粘结材料，并在该粘结材料上以规定的粘合力粘附有保护膜。上述粘结材料用于将护罩固着在光掩模或标线片上，而且，为了使该粘结材料的粘合力能够保持到该粘结材料用于这一用途，使用保护膜来保护该粘结材料的粘合面。在将该护罩从制造者运送至使用者的过程中，为了防止异物附着在护罩膜等上或者防止护罩损伤，通常将该护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中，进而将该箱体装在防尘袋等中进行运送。将作为本发明的对象的面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳起来的由托盘和盖子构成的箱体通常采用真空成型法成型，并且，过去通过在将大型护罩放置在托盘上后盖上盖子来将大型护罩收纳在箱体中。在制造上述箱体时，要有计划地设计制造，以使收纳在箱体内的大型护罩的框架与盖子之间的间隔在Omm以上且小于1mm，在该间隔部分，盖子压住大型护罩，从而防止了运输中等的振动导致大型护罩在箱体内移动而产生摩擦或灰尘。可是，对于收纳面积在IOOOcm2以上的护罩的大型箱体，存在如下问题。S卩，在大型箱体中，由于存在护罩和箱体的间隙问题，或者存在箱体难以满足平整性的要求等问题，导致大型护罩的四周与箱体的盖子之间的间隔不能准确地控制在Omm以上且小于Imm的范围，因此，在维持满足现有设计思想的成型精度的条件下，难以制造出大型箱体。因此，在将大型护罩收纳在以现有设计思想制造的大型箱体中时，在大型护罩与盖子间的间隔为Omm以致盖子与大型护罩接触时，盖子压住大型护罩的框架，因而在运送大型护罩时等，在盖子和大型护罩的框架之间产生摩擦而出现灰尘，从而产生异物附着在大型护罩上的问题。另外，在大型护罩与盖子间的间隔为Imm以上时，不能用盖子压住大型护罩使之保持稳定，因而在运送大型护罩时，大型护罩在箱体内出现移动或振动，导致在箱体和大型护罩之间产生摩擦而出现灰尘，从而产生异物附着在大型护罩上的问题。为了解决上述诸多问题，本申请的申请人已经完成了如后述的专利文献2、专利文献3或专利文献4所述的发明，提出了专利申请。后述专利文献2中记载的技术是在收纳 护罩的箱体的托盘表面上突出设置立起的突出部，并且，在该突出部的侧面设有底切部，通过将护罩的保护膜插入该底切部之中来保持固定置于托盘上的护罩。另外，专利文献3中记载的技术是先将具有规定粘合力的粘结材料涂在护罩的保护膜下表面，在将护罩放置在托盘上时，通过将保护膜粘合在托盘上来将护罩保持固定在托盘上。此外，专利文献4中记载的技术是由箱体盖子的顶面悬挂棒状的挤压体，在将这种盖子盖在托盘上时，用该挤压体从上方压住放置在托盘上的护罩的保护膜，由此将护罩保持固定在托盘上。专利文献I :特公昭54-28718号公报专利文献2 :特开平11-38597号公报专利文献3 :特开平11-24238号公报专利文献4 :特开平11-52553号公报
发明内容
记载于上述专利文献2 专利文献4的发明对收纳过去常用的5英寸或6英寸这种用于半导体的护罩的箱体是极为有效的，但是，在对收纳作为本发明对象的护罩的面积在IOOOcm2以上的大型护罩的箱体应用这些发明时，存在后述的若干问题。在专利文献2的技术中，采用成本低廉且易于制造的真空成型法，在托盘表面上突出设置立起的突出部，并在该突出部的侧面设置较深的底切部，这种方法存在难以获得足够的成型精度的问题。另外，在采用注射成型法成型托盘时，虽然由于成型精度高可以进行上述成型，但在采用注射成型法来成型作为本发明对象的IOOOcm2以上的大型护罩时，需要极其大型的成型机，因此，成本提高且不实用，同时由于托盘尺寸非常大而出现成型变形，并且难以在突出部的侧面以高精度设置又窄又深的底切部。在专利文献3的技术中，将粘结材料涂在护罩的保护膜的下面以将保护膜粘贴在托盘的表面上，这一方法对于像半导体用护罩的箱体这种小尺寸箱体是有效的，但是，在像本发明这样收纳大型护罩的大型箱体中，由于成型精度可能不够，有时在托盘的放置护罩的位置出现翘曲。于是，托盘翘曲产生的变形影响到保护膜，使保护膜的一部分从粘结材料上剥离或者使粘结材料的粘合力降低，由此导致了难以将护罩均匀地贴在光掩模上的问题。在专利文献4的技术中，采用的方法是用悬挂于箱体盖子的顶面的挤压体对放置在托盘上的护罩的保护膜进行挤压以保持固定护罩。像收纳半导体护罩的箱体那样，5英寸 6英寸之类的小型箱体的情况下可以维持成型精度，但是，如上所述，在收纳作为本发明对象的大型护罩的大型箱体中，不仅成型精度不够且成型的箱体出现翘曲，因此，采用上述技术时，在将盖子盖在箱体上时，出现的问题是，设置于盖子一侧的挤压体难以正确且确实地压住护罩的保护膜以使该护罩保持固定。本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体是鉴于上述诸多问题而开发出的全新的技术，该收纳方法及其收纳结构体的特征在于，大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，在将护罩放置在托盘上时，用胶带将该余边粘合在托盘表面来确实地将护罩保持固定在托盘上。本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体是从根本上解决上述问题的技术。本发明的第一方案在于大型护罩的收纳方法，该方法包括将面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘合在框架下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用胶带将该余边固定在所述托盘上，从而将大型护罩收纳在箱体内。此处的护罩面积是框架的外径面积。在上述第一方案中，由于护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，因而在将护罩放置在托盘上时，可以将突出于护罩外框的外侧的所述余边贴在托盘的表面上。并且，在本发明中，利用胶带使所述余边粘贴在托盘上，因此，通过极其简单的 操作就可以将护罩以稳定的状态确实地保持固定在托盘上。此外，在本发明中，由于采用富于柔软性的胶带将大型护罩的保护膜粘贴在托盘上，因此，即使在托盘的成型精度不充分的情况下，或者在托盘出现翘曲的情况下，也能够不受任何影响地将大型护罩正确且确实地保持固定在托盘上。本发明的第二方案是本发明的第一方案的大型护罩的收纳方法，其中，形成的所述保护膜的余边的宽度为6mm以上、长度为20mm以上。在上述第二方案中，更优选的实施方式是所述保护膜的余边的长度为50mm以上，进一步优选的实施方式是所述长度为300mm以上。另外，在本发明中，大型护罩的面积在4000cm2以上时，将上述保护膜的余边的长度制成300mm以上是特别有效的。在上述第二发明中，由于在大型护罩的保护膜上设有的余边的尺寸是宽度在6mm以上、长度在20mm以上，因此，在将大型护罩放置于托盘上时，可以将该余边以较宽的宽度重合在托盘的表面上，并且，可以利用胶带将余边稳定地且确实地保持固定在托盘的表面上。本发明的第三方案是本发明的第一或第二方案的大型护罩的收纳方法，考虑到成型精度，在放在上述箱体的托盘上的大型护罩的框架与盖在该托盘上的盖子之间的全部空间设置至少1_以上的间隔来进行收纳。在上述第三方案中，由于通过在放置于箱体托盘上的大型护罩的框架和盖在该托盘上的盖子之间设置至少Imm以上的间隔来对大型护罩进行收纳，因此，在运送大型护罩时，也无需担心大型护罩由于振动等原因而与盖子发生接触并产生摩擦。另外，如上所述，由于可以利用胶带以稳定的状态将大型护罩保持固定在托盘上，因而无需用盖子压住大型护罩，所以，可以容易地设计箱体，并且，还可以将箱体的成型精度和变形的问题全部解决。本发明的第四方案在于大型护罩收纳结构体，该结构体是将面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的结构体，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在框架下面的保护膜，其中，在该结构体中，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部具有向外侧突出的余边，并且，利用胶带将该余边固定在所述托盘上。
本发明的第五方案是本发明的第四方案的大型护罩收纳结构体，其中，上述保护膜的余边的宽度为6mm以上、长度为20mm以上。本发明的第六方案是本发明的第四或第五方案的大型护罩收纳结构体，其中，放置在上述箱体的托盘上的大型护罩的框架和盖在该托盘上的盖子之间具有至少Imm以上的间隔。为了防止在对构成液晶显示器(IXD)的 薄膜晶体管(TFT)和滤色器(CF)等进行制造时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物，使用护罩面积在IOOOcm2以上的大型护罩，本发明作为这种大型护罩的收纳方法及其收纳结构体可发挥有用的效果。在本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中，由于护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，因此，将护罩放置在托盘上时，具有突出于护罩外框外侧的所述余边可以贴在托盘表面上的效果。并且，在本发明中，由于利用胶带使所述余边粘贴在托盘上，所以还具有通过极其简单的操作就可以将护罩以稳定的状态确实地保持固定在托盘上的效果。此外，由于利用富于柔软性的胶带将护罩保护膜的具有柔软性的余边粘贴在托盘上，所以具有如下效果即使在托盘的成型精度不充分的情况下，或者在托盘出现翘曲的情况下，也能够不受任何影响地将护罩正确且确实地保持固定在托盘上。另外，在本发明中，将设置在护罩的保护膜上的余边的尺寸设为宽度在6mm以上、长度在20mm以上的情况中，还具有如下效果将护罩放置于托盘上时，可以将该余边以较宽的宽度贴在托盘的表面上，并且，可以利用胶带将余边稳定且确实地保持固定在托盘的表面上。另外，在本发明中，在放置于箱体的托盘上的大型护罩的框架和盖在该托盘上的盖子之间设置至少1_以上的间隔来进行收纳的情况中，在运送大型护罩时，也无需担心大型护罩由于振动等原因而与盖子接触并发生摩擦。另外，如上所述，在利用胶带将大型护罩以稳定的状态保持固定在托盘上的情况中，无需用盖子压住大型护罩，所以具有如下效果可以容易地设计箱体，并且，还可以将箱体的成型精度和变形的问题全部解决。
图I是本发明的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的纵剖面说明图。图2是图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的主要部位的放大说明图。图3是在图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平面图。图4是在图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平面图。图5是表示保护膜的形状的例子的图。
具体实施例方式根据附图对本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的一实施方式进行具体说明。图I是本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的纵剖面说明图，图2是图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的主要部位的放大说明图，图3是在图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平面图，图4与图3同样地是在图I的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平面图。在图I、图2(a)和图2(b)中，A是大型护罩，正如已做的详细说明，A是护罩面积在IOOOcm2以上的大型护罩，其构成如下框架I、利用粘合剂2粘附在所述框架I的上缘面上的护罩膜3、涂在所述框架的下缘面上的粘结材料4、以及用于保护该粘结材料4而粘附在粘结材料4上的保护膜5。在上述实施方式中，将粘结材料4涂在了框架I的下缘面上，但是，使用预先将粘结材料4和保护膜5形成为层状所得到的层状粘结材料的情况中，只要将该层状粘结材料层积在框架I的下缘面上进行粘附即可。但是，在本说明书中，也包含上述情况而仅总称为“涂”。接着，将如上构成的大型护罩A收纳在由托盘6和盖子7构成的箱体B中。可以用胶带将盖子和托盘的对接面的四周进行密封，或者在托盘6和盖子7的角部安装夹子8。
在上述大型护罩A的保护膜5的外周缘的外侧突出设置有余边5a，该余边5a通过后述的胶带粘附固定于托盘6的表面上。本发明人反复进行各种实验，结果表明，优选该余边5a的宽度W为6mm以上、长度L为20mm以上。从而可以利用胶带9容易地将具有这种尺寸的余边5a以稳定的状态粘附固定在托盘6的表面上。另外，在本发明中，更优选所述长度L为50mm以上，进一步优选所述长度L为300mm以上。另外，优选在护罩框架的至少2边，以各边长度的5%以上作为余边的长度；优选至少在相对的2边，以各边长度的5%以上作为余边的长度。另外，关于上述余边5a的宽度W和长度L，将余边碰到托盘端部的情况作为余边的上限。在实施本发明的收纳方法及其收纳结构体时，如上述图I和图2所示，将大型护罩A放置在箱体B的托盘6的中央部，并且，使用规定宽度和长度的胶带9，将突出在大型护罩A的框架I的外侧的保护膜5的余边5a粘附在托盘6的表面上，由此可以将大型护罩A以极其稳定的状态简单且确实地保持固定在托盘6的中央部。在本发明的收纳方法及其收纳结构体中，如上所述，利用富于柔软性的胶带9将突出在大型护罩A的框架I的外侧的保护膜5的具有柔软性的余边5a粘附固定在箱体B的托盘6的表面上，因此，即使箱体B的托盘6的成型精度不充分或者托盘6出现翘曲，也可以简单地将大型护罩A以稳定的状态固定在托盘6上而不受这些问题的影响。另外，优选粘附胶带9以覆盖余边5a的整个面的方式进行粘贴，但如果可以获得粘附固定的效果，也可以以部分覆盖的方式进行粘贴。此外，在本发明的收纳方法及其收纳结构体中，由于可以将大型护罩A以稳定的状态确实地保持固定在箱体B的托盘6上，所以无需用箱体B的盖子7压住大型护罩A，因此，可以使盖子7和大型护罩A的框架I之间的间隔D为Imm以上。因此，由于大型护罩A和盖子7具有足够的间隔，所以不会出现因运送时等的振动导致大型护罩A和盖子发生摩擦的情况，从而无需担心出现灰尘的问题。另外，从大型护罩的保管性、清洗性的方面考虑，上述间隔D优选在300mm以下。在上述大型护罩A的保护膜5上设置余边5a时，如图3 (a) 图3(d)或者图4(a) 图4(d)所示，可以在保护膜5的外缘的外侧突出设置宽度W为6mm以上、长度L为20mm以上的余边5a。S卩，图3(a)是在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边的外侧中央设置余边5a的结构，图3(b)是在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的短边的外侧中央设置余边5a的结构。图3(c)是在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边和短边的各边外侧中央设置余边5a的结构，并且图3(d)是在对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边和短边的各边外侧中央设置余边5a的结构。图4 (a)是在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边的外侧中央和短边的几乎全部长度的外侧设置余边5a的结构，图4(b)是在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边的几乎全部长度的外侧和短边的中 央分别设置余边5a的结构。此外，图4(c)的情况中，在不对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边和短边的几乎全部长度连续设置余边5a。图4(d)的情况中，是在对大型护罩A的中央进行粘附的保护膜5的长边和短边的几乎全部长度连续设置余边5a的结构。另外，图5给出了保护膜的形状的例子。作为在本发明中使用的保护膜的材质，优选使用聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚乙烯树脂等。另外，对于保护膜的厚度，优选使用厚度为30μπι 500μπι的保护膜。对于本发明中使用的箱体的材质，可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯树脂、丙烯酸树脂、聚碳酸酯树脂、或聚氯乙烯树脂等树脂。另外，也可以使用防静电型树脂。特别优选使用出气量少的树脂。另外，作为本发明中使用的胶带的基材，可以使用例如聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或非织布等。另外，作为胶带的粘合剂，可以使用例如丙烯酸类的粘合剂或聚乙烯醇等。此外，作为胶带，优选出气量少的胶带。另外，也可以是实施了防静电处理的胶带。本发明人使用具有如上所述的结构的本发明的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体进行了实验，结果得到了如下实施例所示的良好结果。实施例I将外形尺寸为427mmX294mm、在保护膜5的长边和短边的中央部位分别设有尺寸为W IOmmXL IOOmm的余边5a的大型护罩A放置在通过以ABS树脂材料进行真空成型得到的箱体B的托盘6上,利用胶带9 (胶带尺寸15mmX 120mm)将上述余边5a粘附固定在托盘6上，然后，将盖子7盖在所述托盘6上，在所述托盘6和盖子7的角部安装夹子8来将两者固定。此时，考虑到成型精度，将大型护罩A的框架I和盖子7之间的间隔D保持在3. 6mm以上。以这种状态进行长距离运送大型护罩的测试，结果未发现在大型护罩A和箱体B之间出现摩擦，并且，在大型护罩A的护罩膜3上和框架I的周围的任意一处也未发现有灰尘附着。而且，大型护罩A以最初被放置的状态被保持固定。长距离运送测试的最大冲击值是IOcm/S2。实施例2将外形尺寸为905mmX750mm、在保护膜5的长边和短边的中央部位分别设有尺寸为W IOmmXL IOOmm的余边5a的大型护罩A放置在通过以ABS树脂材料进行真空成型得到的箱体B的托盘6上,利用胶带9(胶带尺寸15mmX 120mm)将上述余边5a粘附固定在托盘6上，然后，将盖子7盖在所述托盘6上，在所述托盘6和盖子7的角部安装夹子8来将两者固定。此时，考虑到成型精度，将大型护罩A的框架I和盖子7之间的间隔D保持在3. 6mm以上。在与上述实施例I完全相同的条件下进行运送测试，结果未发现在大型护罩A和箱体B之间出现摩擦，并且，在大型护罩A的护罩膜3上和框架I的周围的任意一处也未发现有灰尘附着。而且，大型护罩A以与最初放置时同样的状态被稳定地保持固定在托盘6上。实施例3 6将具有如下表I所示的护罩的外形尺寸以及设置于保护膜的长边和短边的中央部的余边的尺寸(WXL)的大型护罩A放置在通过以ABS树脂材料进行真空成型得到的箱体B的托盘6上，利用胶带9将上述余边5a粘附固定在托盘6上，然后，将盖子7盖在所述托盘6上，用带子将所述托盘6和盖子7的对接部位的四周进行密封。固定带尺寸以及大型护罩A的框架I和盖子7之间的间隔D如下述表I所示。在与上述实施例I完全相同的条件下对这些护罩箱体进行运送测试，结果未发现在大型护罩A和箱体B之间出现摩擦，并且，大型护罩A以与最初放置时同样的状态被稳定地保持固定在托盘6上。[表 I]
权利要求
1.一种大型护罩的收纳方法，该方法包括将面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在该框架的下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，放置在所述箱体的托盘上的大型护罩的框架与盖在所述托盘上的盖子之间设置至少Imm以上的间隔来收纳所述大型护罩，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用具有柔软性的胶带从上方将该余边固定在所述托盘上，由此将大型护罩收纳在所述箱体内。
2.根据权利要求I所述的大型护罩的收纳方法，其中，所述保护膜的余边在沿着对向的护罩框架的边的方向上具有20mm以上的长度，在与沿着对向的护罩框架的边的方向垂直的方向上具有6mm以上的宽度。
3.一种大型护罩收纳结构体，该结构体是在由托盘和盖子构成的箱体中收纳有面积在IOOOcm2以上的大型护罩的结构体，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在该框架的下面的保护膜，在所述大型护罩收纳结构体中，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部具有向外侧突出的余边，并且，利用胶带从上方将该余边固定在所述托盘上。
4.根据权利要求3所述的大型护罩收纳结构体，其中，所述保护膜的余边在沿着对向的护罩框架的边的方向上具有20mm以上的长度，在与沿着对向的护罩框架的边的方向垂直的方向上具有6mm以上的宽度。
5.根据权利要求3或4所述的大型护罩收纳结构体，其中，放置在所述箱体的托盘上的大型护罩的框架和盖在所述托盘上的盖子之间具有至少Imm以上的间隔。
全文摘要
本发明提供一种大型护罩的收纳方法，该方法包括将面积在1000cm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面的粘结材料、以及用于保护该粘结材料而粘附于该框架的下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用胶带将该余边固定在所述托盘上，由此将大型护罩收纳在箱体内。
文档编号G03F7/20GK102819184SQ201210274128
公开日2012年12月12日 申请日期2004年12月2日 优先权日2004年12月2日
发明者栗山芳真, 脇元一郎 申请人:旭化成电子材料株式会社