无热型阵列波导光栅的制作方法

文档序号:2801143阅读:228来源:国知局
专利名称:无热型阵列波导光栅的制作方法
技术领域
本实用新型涉及光通信领域,尤其涉及一种无热型阵列波导光栅。
背景技术
在光纤通信系统中,阵列波导光栅在密集波分复用领域得到了广泛的应用。但由于阵列波导光栅是基于硅基二氧化硅制作的,由于二氧化硅的折射率随温度的变化而变化,使得阵列波导光栅的每个通道的波长也发生变化。为了避免这种波长的变化,无热的阵列波导光栅产品采用了两种热膨胀系数不同的材料,利用两种材料对温度的不同响应来补偿波长的变化。现有的无热型阵列波导光栅产品中,波长的初始化调节使用的是螺杆和螺母的调节方式,通过调节螺母的位置使基板产生所需的初始化变形,以在输出端得到所需的波长。如图1所示,11为基板,12为阵列波导光栅,13为螺杆,14为螺母。利用11和13不同材料的热膨胀系数的不同使基板随温度的变化而产生相应的变形,而12因固定于11上,所以也随之产生变形,从而补偿温度变化对波长的影响。螺杆13和螺母14用于调节初始的波长输出,使输入端为AO时,输出端相应的位置分别输出Al-An。由于螺母在螺杆上旋转一周,使螺杆参与工作的部分的长度要发生I个螺距的变化,而波长对这个长度的变化非常敏感,这种调节方式不够精确,常常使输出端波长调不到很理想的位置。这个调节过程要求非常的精确,否则在输出端的实际输出波长会有很大误差,因而该方案的工艺难度极高。
发明内容本实用新型所涉及的就是这个波长初始化调节的过程。为了克服以上的不足,提高波长初始化调节的精度,本实用新型提出了如下技术方案。本实用新型的技术问题通过以下的技术方案予以解决:—种无热型阵列波导光栅,包含阵列波导光栅芯片、基板和滑动组件,阵列波导光栅芯片包含输入光波导、输出光波导和连接在输入光波导与输出光波导之间的多根条形波导,阵列波导光栅芯片固定基板的上表面,基板被分割为第一部分和第二部分,分割面横向穿过输入光波导、输出光波导或多根条形波导中的至少一个,滑动组件的两端分别固定在基板的第一部分和第二部分上,其中滑动组件为螺杆和螺母,基板和螺杆的热膨胀系数不同,螺杆两端的螺纹间距不同。在本实用新型的一个实施例中,所述基板为不胀钢,所述螺杆为不锈钢。在本实用新型的一个实施例中,所述分割面横向穿过多根条形波导。在本实用新型的一个实施例中,所述分割面横向穿过输入光波导。 在本实用新型的一个实施例中,所述分割面横向穿过输出光波导。本实用新型利用两段螺杆的螺距之差,而螺距差可以做到远小于螺距的值,这样就可以使调节更加精确。把现有的波长调节装置中的一根螺杆改为两段不同螺距的组合,这样可以把原来的螺杆(或螺母)旋转一周实现一个螺距的位移,转变为旋转一周实现的位移为两段螺杆的螺距之差,这样通过调整两段螺杆螺距之差,使之足够小就可以达到微调的效果。本实用新型通过简化的螺杆和螺母设计,提高了调节精度,并且结构和制造工艺简单,具有较高的成本优势。

图1是现有技术的无热型阵列波导光栅的示意图;图2是本实用新型的实施例一的无热型阵列波导光栅的示意图;图3是本实用新型的实施例一的滑动组件的螺杆与螺母的剖面图;图4是本实用新型的实施例二的无热型阵列波导光栅的示意图;图5是本实用新型的实施例三的无热型阵列波导光栅的示意图。
具体实施方式
下面通过具体的实施方式并结合附图对本实用新型做进一步详细说明。实施例一:如图2和图3所示,本实施例的无热型阵列波导光栅包含阵列波导光栅芯片22、基板21和滑动组件23,阵列波导光栅芯片22包含输入光波导221、输出光波导222和连接在输入光波导与输出光波导之间的多根条形波导223。阵列波导光栅芯片22固定基板21的上表面,基板21被分割为第一部分211和第二部分212。本实施例的分割面24横向穿过多根条形波导223,即分割面24沿着基本垂直于多根条形波导223轴线的方向延伸,穿过并分割多根条形波导223。滑动组件23的两端分别固定在基板21的第一部分211和第二部分212上,其中滑动组件23为螺杆和螺母,螺杆的长度随温度变化而改变。螺杆的左端32和右端33的螺纹间距不同(分别为Tl和T2),左端32和右33的旋向相同,左端螺母34和右端螺母35分别与螺杆的左端32和右端33匹配,左端螺母34和右端螺母35在这里只起到锁紧的作用。31为调节管套,其内孔的两端为分别与螺杆的左端32和右端33相匹配的内螺纹。调节时,调节管套31两端的螺母处于松开状态,其他螺母为锁紧状态。当旋转调节管套31 —周时,LI的长度增加(或减少)一个螺距Tl,而L2的长度减少(或增加)了一个螺距T2,这时螺杆参与工作部分的长度LO的变化量就是T1-T2,L0的长度变化值取决于螺距Tl和T2及调节套管31的旋转方向。在本实施例中,基板21为不胀钢,螺杆为不锈钢。实施例二:如图4所示,本实施例与实施例一的区别在于,分割面44横向穿过输入光波导421,即分割面44沿着基本垂直于输入光波导421轴线的方向延伸,穿过并分割输入光波导421。基板41的第一部分411和第二部分412的连接点位于分割面44的下方。实施例三:如图5所示,本实施例与实施例一的区别在于,基板51的第一部分511和第二部分512的连接点位于基板51的一侧。以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明,不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种无热型阵列波导光栅,其特征在于,包含阵列波导光栅芯片、基板和滑动组件,阵列波导光栅芯片包含输入光波导、输出光波导和连接在输入光波导与输出光波导之间的多根条形波导,阵列波导光栅芯片固定基板的上表面,基板被分割为第一部分和第二部分,分割面横向穿过输入光波导、输出光波导或多根条形波导中的至少一个,滑动组件的两端分别固定在基板的第一部分和第二部分上,其中滑动组件为螺杆和螺母,基板和螺杆的热膨胀系数不同,螺杆两端的螺纹间距不同。
2.根据权利要求1的无热型阵列波导光栅,其特征在于,所述基板为不胀钢,所述螺杆为不锈钢。
3.根据权利要求1的无热型阵列波导光栅,其特征在于,所述分割面横向穿过多根条形波导。
4.根据权利要求1的无热型阵列波导光栅,其特征在于,所述分割面横向穿过输入光波导。
5.根据权利要求1的无热型阵列波导光栅,其特征在于,所述分割面横向穿过输出光波导。
专利摘要本实用新型公开了一种无热阵列波导光栅,包含阵列波导光栅芯片、基板和滑动组件,阵列波导光栅芯片固定基板的上表面,基板被分割为第一部分和第二部分,分割面横向穿过阵列波导光栅芯片的输入光波导、输出光波导或多根条形波导中的至少一个,滑动组件的两端分别固定在基板的第一部分和第二部分上,滑动组件为螺杆和螺母,基板和螺杆的热膨胀系数不同,螺杆两端的螺纹间距不同。本实用新型把现有的一根螺杆改为两段不同螺距的组合,可以把原来的螺杆旋转一周实现一个螺距的位移,转变为旋转一周实现的位移为两段螺杆的螺距之差,从而使得波长初始化的精度更高。
文档编号G02B6/12GK202929241SQ20122061736
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月21日 优先权日2012年11月21日
发明者王斌 申请人:深圳新飞通光电子技术有限公司
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