技术总结
本发明公开了一种紫外激光投影镜头，属于光学镜头技术领域。所述紫外激光为波长为200nm~400nm的准分子激光，紫外激光投影镜头包括光学结构和机械结构两部分，光学结构包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜，其中第一透镜为双凸型柱面正透镜，第二透镜为凹凸型柱面负透镜，第三透镜为双凸型柱面正透镜；机械结构包括沿入射光线传输方向依次设置的固定架，第一调节组件，第二调节组件，第三调节组件。本发明的镜头结构简单，易于装调，生产成本低，便于拆装和维护，可应用于平板显示低温多晶硅制备的光束整形系统中。
技术研发人员：尹广玥;游利兵;方晓
受保护的技术使用者：中国科学院合肥物质科学研究院
文档号码：201611137768
技术研发日：2016.12.12
技术公布日：2017.05.17