自动调整紫外激光光束位置的方法与流程

文档序号:12062045阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板和光纤,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,部分紫外光射入光纤内部导致光纤纤芯透射光功率发生改变,通过光功率计测量纤芯透射光功率是否处于最大值,并将光功率计所测数据送入计算机,若不是最大值,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在光纤纤芯透射光功率最大。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

技术研发人员:沈华;舒剑;朱日宏;汤亚洲;葛诗雨;张秋庭
受保护的技术使用者:南京理工大学
文档号码:201611195388
技术研发日:2016.12.22
技术公布日:2017.05.24

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