一种透射式激光光束整形系统的制作方法

文档序号:12733159阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种透射式激光光束整形系统,其特征在于,包括透射式相位调制镜、空间滤波镜和透射式准直镜;

所述透射式相位调制镜的激光入射面为高度不同的、凹凸间隔的同心圆环面,相邻的凸面与凹面分别对应入射激光束相邻的峰;所述透射式相位调制镜的出射激光聚焦形成聚焦光斑,所述聚焦光斑包括主峰和旁瓣;

所述空间滤波镜设于透射式相位调制镜出射激光聚焦光斑处,空间滤波镜中心部位有光孔;所述主峰从光孔穿过,旁瓣则被空间滤波镜反射吸收;

所述透射式准直镜的前焦面位于空间滤波镜中心处;透射式准直镜用于对空间滤波镜的出射激光进行准直。

2.如权利要求1所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述透射式相位调制镜的激光入射面的凸面与凹面的高度差Δ满足:

其中,n为透射式相位调制镜材料对入射激光的折射率,λ是入射激光的波长,k为正整数。

3.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述透射式相位调制镜的出射面为凸面,将出射激光聚焦形成聚焦光斑。

4.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述透射式相位调制镜的出射面为平面;所述透射式激光光束整形系统还包括单透镜,所述单透镜设于透射式相位调制镜的出射面与空间滤波镜之间,空间滤波镜设于单透镜的焦点处。

5.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述空间滤波镜的光孔大小可调;通过调整所述光孔的大小来调整输出激光的能量大小。

6.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述空间滤波镜的光孔周围设有一个不透明的圆锥面,所述圆锥面镀有增反膜。

7.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述空间滤波镜内部设有水冷通道,通过水冷降低吸收光线的圆锥面的温度。

8.如权利要求1或2所述的透射式激光光束整形系统,其特征在于,所述透射式相位调制镜与透射式准直镜的各表面均镀有增透膜。

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