一种可多维调整的激光光束片状整形装置及方法与流程

文档序号:15367030发布日期:2018-09-07 22:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述激光光束片状整形装置包括光束片状整形透镜组和直线滑台,其中:

所述光束片状整形透镜组沿光路方向依次由整形凹柱透镜、整形凸柱透镜、扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜组成,整形凹柱透镜、整形凸柱透镜、扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜的光轴保持同轴存在,激光经由整形凹柱透镜和整形凸柱透镜整形为片状光,整形后的片状光通过扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜压缩其厚度;

所述直线滑台采用滚珠丝杠结构,由底座、丝杆和滑块组成,其中:丝杆和滑块均为四个,丝杆固定在底座上,滑块设置在丝杆上,所述滑块上设置有透镜安装孔,透镜安装孔上安装有整形凹柱透镜、整形凸柱透镜、扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜。

2.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述片状光尺寸为,其中:f+为整形凸柱透镜焦距,f-为整形凹柱透镜焦距。

3.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜的扩束和压缩方向与整形凹柱透镜和整形凸柱透镜垂直存在。

4.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜将整形后的片状光厚度压缩在0.2mm以下。

5.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述整形凹柱透镜、整形凸柱透镜、扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜上镀有针对整形激光波长的增透膜,激光透过率在99%以上。

6.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述直线滑台的调节精度为1mm。

7.根据权利要求1所述的可多维调整的激光光束片状整形装置,其特征在于所述激光光束片状整形装置还包括可倾角底座,所述可倾角底座由安装底座、底座支架、可倾角固定台和直线滑台安装孔组成,其中:所述底座支架固定在安装底座上,可倾角固定台安装在底座支架上,所述可倾角固定台上设置有直线滑台安装孔,直线滑台安装孔上安装有直线滑台的底座。

8.一种利用权利要求1-7任一权利要求所述的激光光束片状整形装置实现多维调整的激光光束片状整形并输出的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:

步骤一、目标激光经由整形凹柱透镜和整形凸柱透镜整形为片状光;

步骤二、通过转动丝杆用以微调整形凹柱透镜和整形凸柱透镜对应的滑块使得片状光完全平行;

步骤三、整形后的片状光通过扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜压缩其厚度,通过转动丝杆用以微调扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜对应的滑块使其厚度压缩在0.2mm以下。

9.根据权利要求8所述的实现多维调整的激光光束片状整形并输出的方法,其特征在于所述方法还包括以下步骤:

步骤四、调整可倾角底座的可倾角固定台,实现片状光0-90o任意角度输出。

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