一种压差环境光学窗口的加工方法与流程

文档序号:11229350阅读:570来源:国知局

本发明涉及光学元件加工领域,具体指一种在压差工况下使用的光学窗口的加工方法;该方法模拟压差工况,使光学窗口变形,在此基础上对光学窗口进行加工。该方法可避免传统光学窗口在压差工况下工作时,光学窗口变形引起像质变差;该方法可用于多种压差环境,如液压、气压、真空等。



背景技术:

光学窗口在光学系统中有着广泛的应用,尤其是在水下探测器、高空高速航空相机、空间相机、真空激光等系统中。上述系统往往处于复杂的压力环境中,光学窗口不但起着保证透光的作用,而且起着减小压力对光学系统影响的作用,但由于光学窗口处于压差工况,压差使得光学窗口变形,最终使像质变差。

针对压差工况,目前多采用增加光学窗口厚度以提高刚度,减少压差变形这一技术路线。但该方法一方面会增加系统重量,增加系统尺寸,另一方面光学窗口增厚会降低光的透过率;此外,该方法还会加大经济成本。

经过对现有技术的文献检索发现,中国专利号:201310180114,发明名称:一种真空高精度窗口的实现方法及其装置。该专利公布了一种阶梯压差式真空窗口的实现方法。该方法通过采用n块窗口玻璃连续安装,并进行抽真空再充惰性气体的方式保证窗口的面形精度。但该高精度窗口组件多、尺寸大、重量大,造成的累积误差大;且该方法经济成本高。



技术实现要素:

本发明要解决的技术问题为:针对传统方法加工的光学窗口用于压差工况时,压差导致光学窗口变形产生像差。本发明的目的是提供一种在压差工况下使用的光学窗口的加工方法;该方法模拟压差工况,使光学窗口变形,在此基础上对光学窗口进行加工。该方法可避免传统光学窗口在压差工况下工作时,光学窗口变形引起像质变差;该方法可用于多种压差环境,如液压、气压、真空等。

本发明采用的技术方案为:本发明公开一种压差环境光学窗口的加工方法,该加工方法步骤如下:

步骤s1:光学窗口分a、b两面,先将a面按常规方法加工至所需面形,再将b面进行半精加工;

步骤s2:设计一带有法兰的密封腔,其中抽气法兰接抽气泵;接口法兰接压力传感器;

步骤s3:将光学窗口安装于步骤s2中的密封腔上,使步骤s1中加工好的a面朝内;

步骤s4:密封腔内安装一高精度标准反射镜,调整反射镜位置,使干涉仪能够检测到光学窗口的透射面形,并锁定反射镜位置;

步骤s5:通过安装于抽气法兰的抽气泵对密封腔抽气;

步骤s6:通过监测压力传感器的压力,保证密封腔内外压差δp与光学窗口实际压差工况一致;

步骤s7:用干涉仪检测光学窗口,得到光学窗口的透射面形;

步骤s8:根据步骤s7的检测结果对b面进行加工;

步骤s9:重复步骤s7和步骤s8,直到光学窗口透射面形满足指标要求。

其中,步骤s6中所述的密封腔内外压差具体满足以下要求:外部气压p1,腔内气压p2,密封腔内外压差δp=|p1-p2|。

本发明与现有技术相比的优点在于:本发明加工光学窗口时加工环境与实际使用环境一致,因此该光学窗口用于压差工况时,由压差引起的光学窗口变形小,进而引起的像差小;本发明加工的光学窗口厚度薄、质量轻、体积小,结构简单但面形精度高,可靠性强;本发明的加工方法减小了光学窗口对光束质量的影响,对光学系统的优化设计有实际意义;本发明的加工方法简便快捷、成本低、加工误差小、可操作性强,可实现不同压差光学窗口的加工。

附图说明

图1是一种压差环境光学窗口的加工方法示意图。

图中附图标记含义为:1为密封腔,2为光学窗口,3为干涉仪,4为接口法兰,5为抽气法兰,6为标准反射镜。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式进一步说明本发明。

如图1所示,一种压差环境光学窗口的加工方法,利用的装置主要由:密封腔1,光学窗口2,干涉仪3,接口法兰4,抽气法兰5,标准反射镜6组成。

该方法步骤如下:

步骤s1:光学窗口材料为熔石英,口径200mm,厚度15mm,分a、b两面,先将a面按常规方法加工至所需面形rms<λ/10,再将b面进行半精加工,面形rms为2.1λ;

步骤s2:设计一带有法兰的密封腔,其中抽气法兰接抽气泵(工作压力范围:101325pa~1×10-2pa);接口法兰接压力传感器(测量压力范围:0~1000pa);

步骤s3:将光学窗口安装于步骤s2中的密封腔上,使步骤s1中加工好的a面朝内;

步骤s4:密封腔内安装一高精度标准反射镜,调整反射镜位置,使干涉仪能够检测到光学窗口的透射面形,并锁定反射镜位置;

步骤s5:通过安装于抽气法兰的抽气泵对密封腔抽气;

步骤s6:通过监测压力传感器的压力,保证密封腔内外压差δp与光学窗口实际压差工况一致(其中外部气压p1为大气压101325pa,腔内气压p2为300pa,密封腔内外压差δp=|p1-p2|);

步骤s7:用干涉仪检测光学窗口,得到透射面形rms为4.8λ;

步骤s8:根据步骤s7的检测结果对b面进行加工;

步骤s9:重复步骤s7和步骤s8,直到光学窗口透射面形满足rms<λ/10的指标要求。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种压差环境光学窗口的加工方法,将光学窗口的A、B两面分别置于不同的压力环境进行加工。其中,A面在常压下加工;而后设计一密封腔,将光学窗口安装于此密封腔上,A面朝内;调节密封腔内外压差为实际使用时光学窗口所处压差ΔP,然后对B面进行加工;同时采用仪器检测光学窗口透射面形,如透射面形精度不足,则继续加工B面直到透射面形满足指标要求。本发明采用在实际压差工况下对光学窗口进行加工的方法,可弥补常规方法加工的光学窗口用于压差环境时,光学窗口由于压力变形所带来的光学像差。

技术研发人员:任晓坜;翟嘉;任戈;史建亮
受保护的技术使用者:中国科学院光电技术研究所
技术研发日:2017.06.26
技术公布日:2017.09.08
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1