一种光刻机硅片转移机构的制作方法

本发明涉及转移机构技术领域，具体为一种光刻机硅片转移机构。

背景技术：

随着人们对硅片的需求越来越大，硅片的大量使用使得人们对硅片的转移速度要求也越来越高，而人力在运输硅片时速度很慢并且难免会损伤硅片，而光刻机硅片转移机构的出现使得硅片在生产过程中的运输速度加快，节约了很多的时间，同时，也让硅片的光刻速度加快，光刻是硅片集成电路加工过程中最为重要的步骤，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。意思是用光来制作一个图形，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，而光刻机硅片转移机构可以将光刻工艺要经历的时间缩短。

现有的光刻机硅片转移机构在使用时存在一定的弊端，首先，不能在硅片转移过程中很好的保护硅片不受损伤，转移速度也比较缓慢，其次，不能在硅片转移过程中消除外界的干扰因素，最后，不能将光刻后的硅片进行收纳整理，因此，针对上述问题提出一种光刻机硅片转移机构。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种光刻机硅片转移机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光刻机硅片转移机构，包括机架、外侧板、硅片等待器、内侧板与收纳盒，所述机架的下端外表面固定安装有支腿，所述外侧板的前端外表面固定安装有步进电机，且外侧板的一侧外表面固定安装有抗干扰器，所述硅片等待器的下端外表面设有环形传送带，所述内侧板的一侧外表面固定安装有校正感应发射器，且校正感应发射器的一侧固定安装有光刻输入器，所述收纳盒的前端外表面固定安装有报警灯，且收纳盒的一侧固定安装有光刻输出器，所述收纳盒的内部设有隔板，所述光刻输入器的上端外表面固定安装有校正感应接收器。

优选的，所述支腿的底端内部固定安装有减震弹簧，减震弹簧的数量为五组，所述支腿的数量为四组。

优选的，所述步进电机与外侧板之间用定位螺栓固定连接，定位螺栓的数量为四组。

优选的，所述硅片等待器的两侧外表面与外侧板和内侧板之间无缝连接，且硅片等待器的出口形状呈矩形。

优选的，所述外侧板和内侧板的表面设有防滑层，且外侧板和内侧板的材料选用高密度隔音材料。

优选的，所述校正感应接收器的形状呈圆形，且校正感应接收器水平镶嵌在光刻输入器的上端外表面。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中，通过设置环形传送带，能够在硅片转移过程中保护硅片不受损失，加快转移速度。

2、本发明中，通过设置抗干扰器，能够在硅片转移过程中消除来自外界的干扰因素。

3、本发明中，通过设置收纳盒，能够将光刻后的硅片进行收纳整理。

附图说明

图1为本发明一种光刻机硅片转移机构的整体结构示意图；

图2为本发明一种光刻机硅片转移机构的局部视图；

图3为本发明一种光刻机硅片转移机构图2中a的放大图；

图4为本发明一种光刻机硅片转移机构图2中b的放大图。

图中：1、机架；2、支腿；3、减震弹簧；4、外侧板；5、步进电机；6、抗干扰器；7、硅片等待器；8、环形传送带；9、内侧板；10、校正感应发射器；11、光刻输入器；12、收纳盒；13、隔板；14、光刻输出器；15、校正感应接收器；16、报警灯。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：

一种光刻机硅片转移机构，包括机架1、外侧板4、硅片等待器7、内侧板9与收纳盒12，机架1的下端外表面固定安装有支腿2，外侧板4的前端外表面固定安装有步进电机5，且外侧板4的一侧外表面固定安装有抗干扰器6，抗干扰器6能够将硅片转移过程中来自外界的干扰因素消除，硅片等待器7的下端外表面设有环形传送带8，环形传送带8的材料选用柔软光滑的高密度硅胶，能够在硅片转移过程中保护硅片不受损失，加快转移速度，内侧板9的一侧外表面固定安装有校正感应发射器10，且校正感应发射器10的一侧固定安装有光刻输入器11，收纳盒12的前端外表面固定安装有报警灯16，收纳盒12的内部设有隔板13，能够将光刻后的硅片进行收纳整理，且收纳盒12的一侧固定安装有光刻输出器14，收纳盒12的内部设有隔板13，光刻输入器11的上端外表面固定安装有校正感应接收器15。

支腿2的底端内部固定安装有减震弹簧3，减震弹簧3的数量为五组，所述支腿2的数量为四组；步进电机5与外侧板4之间用定位螺栓固定连接，定位螺栓的数量为四组；硅片等待器7的两侧外表面与外侧板4和内侧板9之间无缝连接，且硅片等待器7的出口形状呈矩形；外侧板4和内侧板9的表面设有防滑层，且外侧板4和内侧板9的材料选用高密度隔音材料；校正感应接收器15的形状呈圆形，且校正感应接收器15水平镶嵌在光刻输入器11的上端外表面。

需要说明的是，本发明为一种光刻机硅片转移机构，在使用时，首先，将步进电机5开启，此时，环形传送带8开始逆时针转动，硅片等待器7开始向环形传送带8投放硅片，环形传送带8将硅片向光刻输入器11转移，在过程中，校正感应发射器10会根据硅片的位置发送信号给校正感应接收器15，由校正感应接收器15确定是否进行光刻，确认无误后，硅片被环形传送带8转移到光刻输入器11，,光刻输入器11将硅片输送给光刻机光刻，光刻结束后，硅片由光刻输出器14输送回环形传送带8，环形传送带8将光刻后的硅片转移到收纳盒12中，当收纳盒12中的光刻硅片数量达到六组后将会用隔板13将光刻硅片隔开，再次向收纳盒12中转移六组光刻硅片后再次用隔板13将光刻硅片隔开，直到三组隔板13全部用尽，此时，收纳盒12外表面前端镶嵌的报警灯16会发出红色报警灯光，提醒人们将整理好的光刻硅片收藏起来，较为实用。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

技术总结
本发明涉及转移机构技术领域，尤其为一种光刻机硅片转移机构，包括机架、外侧板、硅片等待器、内侧板与收纳盒，所述机架的下端外表面固定安装有支腿，所述外侧板的前端外表面固定安装有步进电机，且外侧板的一侧外表面固定安装有抗干扰器，所述硅片等待器的下端外表面设有传送带，所述内侧板的一侧外表面固定安装有校正感应发射器，且校正感应发射器的一侧固定安装有光刻输入器。本发明所述的一种光刻机硅片转移机构，设有环形传送带、抗干扰器和收纳盒，能够在硅片转移过程中保护硅片不受损失，加快转移速度，并能消除来自外界的干扰因素，还能将硅片进行收纳整理，带来更好的使用前景。

技术研发人员：刘炫烨
受保护的技术使用者：无锡源代码科技有限公司
技术研发日：2017.10.30
技术公布日：2018.02.09