一种无穷远高倍物镜微调焦装置的制作方法

本申请涉及显微镜领域，具体涉及一种无穷远高倍物镜微调焦装置。

背景技术：

随着科学的发展，光学显微镜、生物显微镜、扫描显微镜等高倍数和快反应显微镜技术进步，对物镜的微调焦提出了更高的要求，需要一种无穷远高倍物镜微调焦装置，但现有的物镜调焦装置存在体积大、精度低、响应慢，难以满足使用需求。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种无穷远高倍物镜微调焦装置，结构紧凑、体积小，响应快，分辨率高。

为了解决上述技术问题，本申请公开了一种无穷远物镜微调焦装置，包括壳体、物镜、位于壳体上方的主体，所述主体内设置有导向作用的柔性铰链机构，在所述壳体内所述主体下方设有用于提供驱动力的压电陶瓷组件和用于测量位移的电容传感器。

进一步地，所述压电陶瓷组件为压电陶瓷电机。

进一步地，所述柔性铰链机构为直梁型柔性铰链。

其中，在所述主体和物镜之间设有固定物镜用的下固定座。

进一步地，所述下固定座、所述主体和所述物镜之间螺纹连接。

进一步地，在所述主体上方设有将该装置与显微镜固定的上固定座。

与现有技术相比，本申请可以获得包括以下技术效果：本实用新型的物镜微调焦装置，采用柔性铰链做导向机构，运动中无机械摩擦、无缝隙、运动灵敏度高，调整行程大；压电陶瓷电机提供驱动力，具有响应快的特点，可达到1KHz、分辨率高，能到0.5nm；整体结构紧凑，体积小，精度高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中AA截面的剖视图。

其中：1.电容传感器；2.上固定座；3.压电陶瓷组件；4.壳体；5.主体 6.下固定座；7.物镜。

具体实施方式

以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，

如图1-图2所示，本实用新型提供了一种无穷远高倍物镜7微调焦装置，包括壳体4、物镜7、位于壳体4上方的主体5，所述主体5内设置有导向作用的柔性铰链机构，在所述壳体4内所述主体5下方设有用于提供驱动力的压电陶瓷组件3和用于测量位移的电容传感器1。

进一步地，所述压电陶瓷组件3为压电陶瓷电机，推动柔性铰链机构运动，具有响应快的特点，可达到1KHz、分辨率高达0.5nm。

进一步地，所述柔性铰链机构为直梁型柔性铰链，运动精度大，运动中无机械摩擦、无缝隙、运动灵敏度高，调整行程大。

其中，在所述主体5和物镜7之间设有固定物镜7用的下固定座6。

进一步地，所述下固定座6、所述主体5和所述物镜7之间螺纹连接。

进一步地，在所述主体5上方设有将该装置与显微镜固定的上固定座2。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。