一种光刻机滤光片的中心波长优化方法与流程

本发明属于集成电路制造领域，具体涉及一种光刻机滤光片的中心波长优化方法。

背景技术：

I线（即波长在365nm附近的光线）光刻机，需要使用到365nm滤光片，365nm滤光片用来过滤除了365nm（比如365±3nm）之外对产品有害的其他波长的光线，并且获得尽可能高的光强从而会有较高的生产速度，

目前情况下，在光刻机中，滤光片的摆放都是按照和光线垂直的方向去摆放，光刻机的窄带滤光片加工难度非常大，往往会出现很多产品的中心波长不是正好在365nm位置，这样滤光片安装在光刻机上，就会造成光刻机无法得到最高的光强从而无法得到最快的生产速度。因此需要采用旋转窄带滤光片在光刻机中摆放的角度来得到最大的光强，但是确定滤光片的具体角度是一个非常困难的事情，往往只能大致初略估计，然后将滤光片锁定在估算的角度，但是无法得到最精确的角度。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明提供一种光刻机滤光片的中心波长优化方法。技术方案如下：

一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，步骤如下：

a、将所述滤光片安装在角度调节装置上；

b、启动所述角度调节装置，使滤光片旋转一个角度。

作为本发明的进一步方案，所述角度调节装置包括：步进电机、角度调节驱动轴、安装套筒、支撑板、吸附筒、吸附橡胶皮头、滤光片、光强感应器、吸附筒紧固螺栓、活塞杆紧固螺栓、感应器紧固螺栓、活塞杆、手柄、套筒紧固螺栓、吸附活塞，所述的角度调节驱动轴的左端安装在步进电机内，安装套筒套入在角度调节驱动轴上的右端，安装套筒通过套筒紧固螺栓紧固在角度调节驱动轴上，所述的支撑板焊接在安装套筒上的右端，支撑板上加工安装孔和安装槽，所述的吸附筒插入到支撑板上的安装孔内，光强感应器插入在安装槽内，吸附筒通过吸附筒紧固螺栓紧固在安装孔内，光强感应器通过感应器紧固螺栓紧固在安装槽内，所述吸附活塞安装在吸附筒内，活塞杆安装在吸附活塞上，所述的吸附橡胶皮头安装在吸附筒的底端，滤光片吸附在吸附橡胶皮头的底端，所述的手柄焊接在活塞杆的顶端，所述的步进电机的旋转步进角度设置为0.25度，所述的安装套筒、支撑板均采用铝合金材质加工而成，所述的吸附筒是采用塑钢材质加工而成。

本发明的有益效果为：通过改变窄带滤光片在光刻机中摆放的角度，可以改变中心波长达到6nm，只要出厂的时候，提供窄带滤光片安装在光刻机中需要偏转的角度，就可以使得中心波长大于365nm的窄带滤光片在光刻机中达到中心波长在365nm附近的效果，同时也可以使得光刻机在使用滤光片的时候获得最大的效能比。

附图说明

为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本发明实施例的三维结构示意图；

图2为本发明实施例的支撑板结构图；

图3为本发明实施例的平面剖视图；

图4为本发明滤光片与光线垂直放置时的谱线图；

图5为本发明滤光片角度调整后的谱线图；

图中：1-步进电机；2-角度调节驱动轴；3-安装套筒；4-支撑板；5-吸附筒；6-吸附橡胶皮头；7-滤光片；8-光强感应器；9-吸附筒紧固螺栓；10-活塞杆紧固螺栓；11-感应器紧固螺栓；12-活塞杆；13-手柄；14-套筒紧固螺栓；15-安装孔；16-安装槽；17-吸附活塞。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本发明。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。本实施例的技术方案如下：

一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，步骤如下：

a、将所述滤光片安装在角度调节装置上，所述角度调节装置包括：步进电机1、角度调节驱动轴2、安装套筒3、支撑板4、吸附筒5、吸附橡胶皮头6、滤光片7、光强感应器8、吸附筒紧固螺栓9、活塞杆紧固螺栓10、感应器紧固螺栓11、活塞杆12、手柄13、套筒紧固螺栓14、吸附活塞17，所述的角度调节驱动轴2的左端安装在步进电机1内，安装套筒3套入在角度调节驱动轴2上的右端，安装套筒3通过套筒紧固螺栓14紧固在角度调节驱动轴2上，所述的支撑板4焊接在安装套筒3上的右端，如图2所示，支撑板4上加工安装孔15和安装槽16，如图1所示，所述的吸附筒5插入到支撑板4上的安装孔15内，光强感应器8插入在安装槽16内，吸附筒5通过吸附筒紧固螺栓9紧固在安装孔15内，光强感应器8通过感应器紧固螺栓11紧固在安装槽16内，如图3所示，所述吸附活塞17安装在吸附筒5内，活塞杆12安装在吸附活塞17上，所述的吸附橡胶皮头6安装在吸附筒5的底端，滤光片7吸附在吸附橡胶皮头6的底端，所述的手柄13焊接在活塞杆12的顶端，所述的步进电机1的旋转步进角度设置为0.25度，所述的安装套筒3、支撑板4均采用铝合金材质加工而成，所述的吸附筒5是采用塑钢材质加工而成，角度调节驱动轴2的左端安装在步进电机1内，安装套筒3套入在角度调节驱动轴2上的右端，支撑板4焊接在安装套筒3上的右端，吸附筒5插入到支撑板4上的安装孔15内，吸附橡胶皮头6安装在吸附筒5的底端，滤光片7吸附在吸附橡胶皮头6的底端。如图4所示，本实施例中，当滤光片与光线垂直放置时，中心波长在366.9nm的位置；

b、启动所述角度调节装置，使滤光片旋转一个角度。如图5所示，滤光片偏转11度放置后，中心波长就会移动到靠近365nm的位置。

本发明通过改变窄带滤光片在光刻机中摆放的角度，可以改变中心波长达到6nm，只要出厂的时候，提供窄带滤光片安装在光刻机中需要偏转的角度，就可以使得中心波长大于365nm的窄带滤光片在光刻机中达到中心波长在365nm附近的效果，同时也可以使得光刻机在使用滤光片的时候获得最大的效能比。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征、本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。