掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置与流程

文档序号:15095105发布日期:2018-08-04 14:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩膜板,包括:依次排列的第一单元、第二单元和第三单元;所述第一单元包括:X1个走线图案;所述第二单元包括:X2个走线图案;所述第三单元包括:X3个走线图案;X1、X3≥1,X2≥3;所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案均平行排列;其特征在于,

所述第一单元还包括:位于所述X1个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案;沿所述第一单元指向所述第三单元的方向,所述X1个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X1个连续整数;

所述第二单元还包括:位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组,每个标识组均包含N个数字标识图案,所述X2个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X2个连续整数,N≥2;其中,沿所述第一单元指向所述第三单元的方向,所述X2个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X2个连续整数,所述第二单元中的第1个标识组中的N个数字标识图案的最小数字比所述第一单元中的最后1个数字标识图案的数字大1;

所述第三单元还包括:位于所述X3个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案;沿所述第一单元指向所述第三单元的方向,所述X3个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X3个连续整数,且所述第三单元中的第1个数字标识图案的数字比所述第二单元中的最后1个标识组中的N个数字标识图案的最大数字大1。

2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,包括有所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案的所有走线图案的同一端设置有所述X1个数字标识图案、所述X2个标识组和所述X3个数字标识图案。

3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,沿所述第一单元指向所述第三单元的方向,每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由大到小依次排列;其中,

所述第一单元还包括:位于最后1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案,所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的最后1个标识组中的除第1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应;所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时,保护所述第二单元前一次曝光后与最后1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶;

和/或,

所述第三单元还包括:位于第1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案,所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的第1个标识组中的除最后1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应;所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时,保护所述第二单元后一次曝光时与第1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶。

4.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,

当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为正性光刻胶时,所述数字标识图案为不透光的数字,所述保护图案为遮光块,且所述遮光块的面积大于对应的所述不透光的数字的面积;

或者,当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为负性光刻胶时,所述数字标识图案为透光的数字,所述保护图案为透光块,所述透光块的面积大于对应的所述透光的数字的面积。

5.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,

所述第一单元还包括:位于所述X1个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案,同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同;

所述第二单元还包括:位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组,每个标识组均包含N个数字标识图案,同一个走线图案两端的所述标识组包括的N个数字标识图案的排列方式和数字均相同;

所述第三单元还包括:位于所述X3个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案,同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同。

6.一种信号线及数字标识的制备方法,包括:在衬底基板上依次形成导电膜层和光刻胶层;所述光刻胶层划分为依次排列的第一区域、N个第二区域和第三区域,N≥2,沿所述第一区域指向所述第三区域的方向,所述N个第二区域包括:依次排列的第1个第二区域至最后1个第二区域;其特征在于,所述制备方法还包括:

通过如权利要求1至5任一项所述的掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,包括:

使所述掩膜板的所述第一单元、所述第二单元分别与所述光刻胶层的所述第一区域、第1个第二区域正对应,对所述第一区域、所述第1个第二区域进行曝光;

当N=2时,

使所述掩膜板的所述第二单元、所述第三单元分别与所述光刻胶层的所述最后1个第二区域、所述第三区域正对应,对所述最后1个第二区域、所述第三区域进行曝光;

当N>2时,

使所述掩膜板的所述第二单元与所述光刻胶层的所述N个第二区域中除首尾两个所述第二区域之外的其余(N-2)个第二区域依次正对应,对所述其余(N-2)个第二区域依次进行曝光;

使所述掩膜板的所述第二单元、所述第三单元分别与所述光刻胶层的所述最后1个第二区域、所述第三区域正对应,对所述最后1个第二区域、所述第三区域进行曝光;

对经过曝光后的所述光刻胶层进行显影,并对所述光刻胶层经过所述显影后露出的所述导电膜层的区域进行刻蚀,形成:

位于所述第一区域中的X1根信号线、位于所述X1根信号线的一端且分别标记每根信号线的X1个导电数字标识;和,

位于每个所述第二区域中的X2根信号线、分别位于所述第1个第二区域中的前(X2-1)根信号线的一端的(X2-1)个导电标识组、分别位于所述最后1个第二区域中的后(X2-1)根信号线的一端的(X2-1)个导电标识组、分别位于其余每个所述第二区域中除首尾两根所述信号线之外的其余(X2-2)根信号线的一端的(X2-2)个导电标识组,每个导电标识组均包含N个导电数字标识;和,

位于所述第三区域中的X3根信号线、位于所述X3根信号线的一端且分别标记每根信号线的X3个导电数字标识;

去除残留的所述光刻胶层。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,形成的包括有所述X1根信号线、所述X2根信号线和所述X3根信号线的所有信号线的同一端设置有所述X1个导电数字标识、所述X2个导电标识组和所述X3个导电数字标识。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,

在沿所述掩膜板的所述第一单元指向所述第三单元的方向,每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由大到小依次排列;其中,所述第一单元还包括:位于最后1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案,所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的最后1个标识组中的除第1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应的情况下,

对经过曝光后的所述光刻胶层进行显影,并对所述光刻胶层经过所述显影后露出的所述导电膜层的区域进行刻蚀,还包括:

在前(N-1)个所述第二区域中,形成位于每个所述第二区域中的最后1根信号线一端的最后1个导电标识组;其中,沿所述第一区域指向所述第三区域的方向,在每个所述最后1个导电标识组的第1个排列位置处形成与第一重叠标识图案对应的第一导电数字重叠标识,其余(N-1)个排列位置处分别依次形成与其余(N-1)个数字标识图案一一对应的导电数字标识;所述第一重叠标识图案为所述掩膜板的所述第二单元重复拼接曝光时,所述第一单元的最后1个数字标识图案与所述第二单元的最后1个标识组中的第1个数字标识图案重叠在一起的图案;

和/或,

在沿所述掩膜板的所述第一单元指向所述第三单元的方向,每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由小到大依次排列;其中,所述第三单元还包括:位于第1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案,所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的第1个标识组中的除最后1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应的情况下,

对经过曝光后的所述光刻胶层进行显影,并对所述光刻胶层经过所述显影后露出的所述导电膜层进行刻蚀,还包括:

在后(N-1)个所述第二区域中,形成位于每个所述第二区域中的第1根信号线一端的第1个导电标识组;其中,沿所述第一区域指向所述第三区域的方向,在每个所述第1个导电标识组的最后1个排列位置处形成与第二重叠标识图案对应的第二导电数字重叠标识,其余(N-1)个排列位置处分别依次形成与其余(N-1)个数字标识图案一一对应的导电数字标识;所述第二重叠标识图案为所述掩膜板的所述第二单元重复拼接曝光时,所述第三单元的第1个数字标识图案与所述第二单元的第1个标识组中的最后1个数字标识图案重叠在一起的图案。

9.一种基板,包括:衬底基板;其特征在于,所述基板还包括:位于所述衬底基板上采用如权利要求6至8任一项所述的制备方法形成的所述信号线和所述导电数字标识。

10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求9所述的基板。

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