波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备的制作方法

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。

背景技术：

在现有技术中，已知有一种具有一对反射膜的波长可变干涉滤波器(例如参照专利文献1)。

专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器具备设置一个反射膜的固定基板和设置另一个反射膜的可动基板。在可动基板上设有可动部和保持部，该可动部设置所述另一个反射膜，该保持部包围可动部的外周而将可动部保持为可向固定基板侧位移。并且，通过使可动部位移，从而一对反射膜之间的间隙量变化，由此，透过的光的波长变化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－139552号公报

如专利文献1所示那样，在现有的波长可变干涉滤波器中，为了不使反射膜挠曲，设置反射膜的可动部一般为正圆。

在现有技术之下，当将可动部设为正圆以外的形状时，在从可动部的厚度方向上观察的俯视下，相对于中心部分，距中心部分距离越长的位置，则位移量越小。即，在可动部上产生易于挠曲的部位和难以挠曲的部位。因此，在反射膜的面内，间隙量变得不均等。

当产生上述那样的间隙量不均等时，从波长可变干涉滤波器中输出的光的波长在面内不一致，存在波长可变干涉滤波器的波长精度下降这样的问题。因此，在现有技术中，可动部的形状受到限制。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降的波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备。

根据本发明的一应用例的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一反射镜；可动部，设有与所述第一反射镜相对的第二反射镜；以及电极，在将所述可动部的设有所述第二反射镜的面的垂直方向设为第一方向而从所述第一方向观察的俯视下，所述电极设置为在所述第二反射镜的外侧沿周向包围所述第二反射镜，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述俯视下的所述电极的宽度在所述周向上不同。

在波长可变干涉滤波器中，通过多重反射来使光干涉的反射镜区域成为第一反射镜与第二反射镜在第一方向上互相重叠的区域。

在此，本应用例中的电极被配置为沿周向包围构成上述那样的反射镜区域的第二反射镜，该电极的宽度是指与所述周向交叉的方向的线宽。例如在为包围反射镜区域的环状电极的情况下，电极成为包括靠近反射镜区域的一侧的边缘(内侧边缘)和从反射镜区域离开的一侧的边缘(外侧边缘)的框状。在这种情况下，电极的宽度是指从反射镜区域离开的放射方向上的从内侧边缘至外侧边缘之间的距离。

在本应用例中，包围第二反射镜(反射镜区域)的电极的宽度在周向上不同。因此，能够抑制可动部发生了位移时的挠曲，可动部在第二反射镜上的挠曲被抑制。

也就是说，如上所述，在使可动部的中心向第一方向位移的情况下，根据可动部的形状，产生可动部的外周边缘中的与可动部中心的位移量之差变小的部分(难以挠曲的部分)和与可动部中心的位移量之差变大的部分(易于挠曲的部分)，由此可动部产生挠曲。对此，在本应用例中，若在易于挠曲的部分和难以挠曲的部分上使电极的宽度不同，则就能够使各部分的位移量设为大致均等。

例如，使对应于与可动部中心的位移量之差变大的易于挠曲的部分的电极宽度增大，使与可动部中心的位移量之差变小的难以挠曲的部分的电极宽度减小。由此，可动部的中心与可动部的外周边缘附近的部分的位移量之差变为大致均等，能够抑制可动部的挠曲。另外，由于可动部的挠曲被抑制，所以也能够抑制反射镜区域的第二反射镜的挠曲。因此，从波长可变干涉滤波器中输出的光在面内的波长偏差被抑制，能够使所希望波长的光从波长可变干涉滤波器中均等地射出(波长可变干涉滤波器的波长精度提高)。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，在从所述第一方向观察的俯视下，所述可动部是具有纵长方向的形状，当将与所述第一方向正交且与所述纵长方向正交的第二方向上的所述可动部的宽度设为ma、将与所述第一方向正交且与所述纵长方向平行的第三方向上的所述可动部的宽度设为mb时，ma＜mb，当将所述电极中对应于所述第三方向的部分的第三电极宽度设为la、将所述电极中对应于所述第二方向的部分的第二电极宽度设为lb时，la＜lb。

在此，所谓电极中的对应于第二方向的部分是在周向上包围反射镜区域的电极中的与第二方向大致平行地配置的部分，所谓电极的对应于第三方向的部分是在周向上包围反射镜区域的电极中的与第三方向大致平行地配置的部分。

例如在可动部为长方形的情况下，第二方向成为平行于短边的方向(短边方向)，第三方向成为平行于长边的方向(长边方向)。另外，在电极为包围反射镜区域的矩形框状的情况下，所谓电极的对应于第二方向的部分是平行于可动部的短边的一对电极部分(短边电极部)，所谓电极的对应于第三方向的部分是平行于可动部的长边的一对电极部分(长边电极部)。在这种情况下，第二电极宽度(lb)是指短边电极部的长边方向的长度，第三电极宽度(la)是指长边电极部的短边方向的长度。

另外，例如在可动部为椭圆形状或长圆形状的情况下，第二方向成为短轴方向，第三方向成为长轴方向。此时，在电极为包围反射镜区域的椭圆矩形框状、长圆框形状的情况下，所谓电极的对应于第二方向的部分是切线方向与短轴方向大致平行的电极部分，所谓电极的对应于第三方向的部分是切线方向与长轴方向大致平行的电极部分。在这种情况下，第二电极宽度(lb)是指切线方向与短轴方向大致平行的电极部分的长轴方向的长度，第三电极宽度(la)是指切线方向与长轴方向大致平行的电极部分的短轴方向的长度。

当使可动部向第一方向位移时，可动部相对于宽度小的第二方向难以挠曲，相对于宽度大的第三方向易于挠曲。

对此，在本应用例中，包围反射镜区域的电极中的对应于第二方向的部分的第二电极宽度(lb)比对应于第三方向的部分的第三电极宽度(la)变大。因此，当对电极施加了时，向对应于第二方向的部分施加比对应于第三方向的部分更大的应力。也就是说，当使可动部发生了位移时，能够对与可动部中心的位移量之差变大的第三方向的两端部施加应力使其接近于可动部中心的位移量。由此，能够抑制可动部的挠曲的产生。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，从所述第一方向观察时的所述电极的外周形状为多边形，当将从所述可动部的中心朝向所述多边形的角部的放射直线与所述多边形的边所成的角设为α、将所述电极中位于所述角部的角电极部的沿着所述放射直线的宽度设为wc、将所述电极中沿着所述边的侧电极部在与所述边正交的方向上的宽度设为ws时，wc＞ws/sinα。

在此，可动部的中心是指可动部的重心位置。

在多边形状的可动部中，当使可动部在第一方向上发生了位移时，可动部的角部的位移量与可动部中心的位移量之差比可动部的边部的位移量与可动部中心的位移量之差大。对此，在本应用例中，角电极部的电极宽度ws和侧电极部的电极宽度wc满足wc＞ws/sina的关系。也就是说，在将沿夹着角部的两边的两个侧电极部延长至该角部来将侧电极部彼此进行了连接的情况下，沿着放射方向的电极的宽度成为ws/sina，而本应用例的角电极部的宽度wc被形成得比该宽度大。由此，能够使更大的力作用于易于挠曲的可动部的角部，能够抑制可动部的挠曲。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述可动部包括沿着所述俯视下的第四方向的第四边缘、沿着与所述第四方向交叉的第五方向的第五边缘以及所述第四边缘与第五边缘交叉的角部，所述电极具备：第四电极部，具有沿着所述第四方向的第四内侧边和第四外侧边，在从所述第一方向观察的俯视下，所述第四内侧边配置于靠近所述第一反射镜与所述第二反射镜互相重叠的反射镜区域的一侧处，所述第四外侧边配置于与所述反射镜区域相反一侧处；第五电极部，具有沿着所述第五方向的第五内侧边和第五外侧边，所述第五内侧边配置于所述反射镜区域一侧处，所述第五外侧边配置于与所述反射镜区域相反一侧处；以及角电极部，与所述第四电极部的所述第四方向上的一端部和所述第五电极部的所述第五方向上的一端部连续，所述角电极部包括外侧突出部和内侧突出部中的至少任一方，所述外侧突出部比所述第四外侧边或所述第五外侧边更向离开所述反射镜区域的方向突出，所述内侧突出部比所述第四内侧边或所述第五内侧边更向所述反射镜区域一侧突出。

在本应用例中，可动部包括由第四边缘和第五边缘形成的角部，电极具有：平行于第四方向的第四电极部、平行于第五方向的第五电极部、以及与第四电极部和第五电极部连续(位于第四电极部与第五电极部的连接部分上)的角电极部。而且，角电极部被构成为包括向与反射镜区域相反侧突出的外侧突出部和向反射镜区域侧突出的内侧突出部中的任一个。

在可动部为多边形状且包含角部的情况下，当使可动部向第一方向发生了位移时，可动部的角部的位移量与可动部的中心的位移量之差比可动部的其他部分的位移量与可动部的中心的位移量之差大。对此，在本应用例中，在对应于上述那样的角部的部分上设置角电极部，在该角电极部上设置外侧突出部和内侧突出部任一个。即，角电极部与第四电极部、第五电极部相比，外侧突出部、内侧突出部的突出尺寸有多大，电极的宽度(面积)就相应增大多少。由此，能够使很大的力作用于易于挠曲的可动部的角部，能够抑制可动部的挠曲。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述可动部和所述第二反射镜为矩形。这里，在本发明中所述的矩形是包括长方形和正方形的概念。

也就是说，在可动部和反射镜区域成为长方形的情况下，在上述的应用例中说明过的第二方向成为短边方向，第三方向成为长边方向，第二方向与第三方向正交。或者，第四方向和第五方向中的任一个成为短边方向，另一个成为长边方向，第四方向与第五方向正交。另外，在可动部和反射镜区域为正方形的情况下，上述应用例中的第四方向与第五方向正交。

在通过图像传感器等光接收部来接收透过了波长可变干涉滤波器的光并对分光图像进行拍摄的情况下，优选将反射镜区域的形状与光接收部的光接收区域的形状对齐。这样的光接收部的光接收区域一般具有在水平方向和垂直方向上排列的多个像素被配置于矩形区域内的矩形。这里，在波长可变干涉滤波器中，预定波长的光在反射镜区域通过。因此，要在整个光接收区域上接收通过了波长可变干涉滤波器的预定波长的光，在将反射镜区域投影到了光接收部时在反射镜区域内包含光接收区域即可。

顺便说一下，在反射镜区域为圆形、椭圆形的情况下，为了将波长可变干涉滤波器的平面尺寸设为最小限度的大小，以光接收区域内接于投影至光接收部上而得的反射镜区域内的方式形成反射镜区域。然而，由于反射镜区域为圆形而光接收区域为矩形，因此反射镜区域中的从光接收对象区域中露出的区域就成为在光接收部中不接收光的区域(无用区域)。

另一方面，在本应用例中，可动部和反射镜区域成为矩形。在这种情况下，在将该反射镜区域投影到了光接收部时，能够使反射镜区域和光接收区域大致一致，能够使上述那样的无用区域减少。即，能够对应于光接收部来将波长可变干涉滤波器的可动部和反射镜区域形成为最小的大小。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述电极的宽度随着距所述可动部的中心的距离的增加而变大。

如上所述，在使可动部沿第一方向位移的情况下，越是离可动部中心的距离长的位置，与可动部中心的位移量之差越大。

对此，在本应用例中，随着从可动部的中心离开，电极的宽度变大。由此，能够越是从可动部的中心离开的位置(位移量变小的位置)，越将使可动部在第一方向上位移的应力增强。也就是说，不论离可动部中心的距离如何，都能够将可动部的位移量设为大致一样，能够抑制可动部的挠曲。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述可动部在所述第一方向上的尺寸均等，所述波长可变干涉滤波器还具备保持部，所述保持部包围所述可动部的外周而与所述可动部连结，并将所述可动部保持为能够在所述第一方向上移动。

在本应用例中，在可动部的外周连结有保持部。这样的波长可变干涉滤波器能够通过使保持部挠曲来使可动部在第一方向上位移。另一方面，在保持部包围可动部的外周来设置的结构中，当使可动部在第一方向上发生了位移时，由于保持部的恢复力，可动部挠曲。对此，在本应用例中，如上所述，通过电极的宽度在周向上不同，能够使可动部的挠曲减少。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，优选为，所述电极为闭合的环形。

在本应用例中，由于电极成为闭合的环状，所以能够将使可动部向第一方向位移的应力作用在包围反射镜区域的整个环状区域。由此，能够边抑制可动部的倾斜边使可动部向第一方向位移。

在本应用例的波长可变干涉滤波器中，也可以设为如下的结构：所述电极具备多个部分电极，多个所述部分电极沿着所述周向隔开预定尺寸的间隙而配置。

在本应用例中，电极具备多个部分电极，隔开预定尺寸的间隙而配置。在这种情况下，也能够在部分电极间的间隙中配置与各部分电极不导通的其他布线电极等。例如，有时在反射镜区域设置反射镜电极并使与该反射镜电极连接的反射镜布线电极延伸设置至基板外周。在这种情况下，通过使反射镜布线电极配置于部分电极间的间隙，能够实现波长可变干涉滤波器中的布线结构的最优化。

本发明的一应用例的光学器件的特征在于，具备上述那样的波长可变干涉滤波器和收纳所述波长可变干涉滤波器的壳体。

在本应用例中，如上所述，可动部的挠曲被抑制，从而设于可动部的反射镜区域的挠曲也被抑制，能够使波长可变干涉滤波器的波长精度提高。另外，由于干涉滤波器被收纳于壳体内，因此能够抑制例如异物向反射膜附着等，还能够保护干涉滤波器免受冲击等。

本发明的一应用例的光学模块的特征在于，具备上述那样的波长可变干涉滤波器和接收通过了所述第一反射镜和所述第二反射镜的光的光接收部。

在本应用例中，与上述的应用例同样，可动部的挠曲被抑制，从而设于可动部的反射镜区域的挠曲也被抑制，能够使波长可变干涉滤波器的波长精度提高。因此，通过在光学模块的光接收部上接收通过了该波长可变干涉滤波器的光，从而能够高精度地测量所希望波长的光。

另外，如上所述，波长可变干涉滤波器使电极的宽度在周向上不同，从而不论可动部的形状如何都能够抑制可动部的挠曲。因此，能够将波长可变干涉滤波器中的反射镜区域设为对应于光接收部的光接收区域的最小形状，能够设为与该反射镜区域的形状相应的最小可动部的形状。即，能够较高地维持着波长可变干涉滤波器的波长精度来使波长可变干涉滤波器的大小变小，由此也可实现光学模块的小型化。

本发明的一应用例的电子设备的特征在于，具备上述那样的波长可变干涉滤波器和控制所述波长可变干涉滤波器的驱动的控制部。

在本应用例中，与上述的应用例同样，可动部的挠曲被抑制，从而设于可动部的反射镜区域的挠曲也被抑制，能够使波长可变干涉滤波器的波长精度提高。因此，当在电子设备中实施使用了通过上述波长可变干涉滤波器的光的各种处理时，能够实施精度高的处理。

附图说明

图1是示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略结构的俯视图。

图2是沿a-a线剖切图1中的波长可变干涉滤波器时的剖视图。

图3是对第一实施方式的第一基板从第二基板侧进行了观察时的俯视图。

图4是对第一实施方式的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图5是示出将第一反射镜和第二反射镜的形状设为了圆形的现有的波长可变干涉滤波器与光接收部的关系的图。

图6是示出第一实施方式中的波长可变干涉滤波器的第一反射镜和第二反射镜与光接收部的关系的图。

图7是示出当使第一实施方式的可动部发生了位移时的、可动部在x方向和y方向上的挠曲形状的图。

图8是示出在第一实施方式中当将电压施加于了静电致动器时的可动部的挠曲形状。

图9是对第二实施方式的波长可变干涉滤波器中的第二基板的可动部从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图10是在图9中将可动部的一个角部的附近放大后的俯视图。

图11是对第三实施方式的波长可变干涉滤波器中的第二基板的可动部从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图12是在图11中将可动部的一个角部的附近放大后的俯视图。

图13是对第四实施方式的波长可变干涉滤波器中的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图14是对第五实施方式的波长可变干涉滤波器中的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图15是示出第六实施方式涉及的光学器件的概略结构的剖视图。

图16是示出第七实施方式中的分光照相机的概略结构的图。

图17是示出第八实施方式的打印机的外观的结构例的图。

图18是示出第八实施方式的打印机的概略结构的框图。

图19是示出第八实施方式的分光计的概略结构的图。

图20是示出第八实施方式的打印机中的测量方法的流程图。

图21是示出在第八实施方式中测试图案与测定位置的关系的图。

图22是对变形例1的可动部从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图23是将变形例2的第二基板中的可动部的角部附近的一部分放大后的俯视图。

图24是对变形例3的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图25是对变形例4的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图26是对变形例6的第二基板从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

图27是示出变形例8的可动部和设于该可动部上的第二电极的概略结构的图。

图28是示出变形例8的可动部和设于该可动部上的第二电极的概略结构的另一例子的图。

图29是对变形例9的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图30是对变形例9的第二基板的一部分从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

图31是示出变形例10涉及的波长可变干涉滤波器的概略结构的剖视图。

图32是示出变形例12涉及的波长可变干涉滤波器的概略结构的剖视图。

附图标记说明：

5、5a、5b...波长可变干涉滤波器；10...打印机(电子设备)；15...控制单元(控制部)；17...分光计(光学模块)；30...光接收部；31...光接收区域；51...第一基板；52、52a、52b、52c、52d、52e、52f、52g、52h、52k...第二基板；54、54a...第一反射镜；55、55a、55e、55g...第二反射镜；56...静电致动器；171a...第一光源；171b...第二光源；172a...第一检测部；172b...第二检测部；173...驱动电路部；521、521e、521f...可动部；521a...长边；521b...短边；521c、521d...角部；521e...第一边；521f...第二边；521g、521h...边；522...保持部；522a...长边保持部；522b...短边保持部；522c...角部；522c1...角突出部；523...基板外周部；524...连接端子部；561...第一电极；561a...第一长边电极部；561b...第一短边电极部；561c...第一角电极部；562、566a、566b、566c、566d、566e、566f、566g、566h、566i、566j、566k、566l、566m...第二电极；562a...第二长边电极部；562a1...第二内侧长边；562a2...第二外侧长边；562b...第二短边电极部；562b1...第二内侧短边；562b2...第二外侧短边；562c、562d、562e...第二角电极部；562d1...外侧突出部；562e1、566k1、567d1...内侧突出部；563...第一引出电极；564...第二引出电极；565...第一连接电极；566d1、566h1、566j1...第一部分电极、566d2、566h2、566j2...第二部分电极；566d7、566h3、566j3...电极间隙；567d...角电极部；567e...第一边电极部；567f...第二边电极部；567i1...长边线状电极；567i2...短边线状电极；567j...线状电极；568...保持电极部；600...光学器件；610...壳体；700...分光照相机(电子设备)；703...驱动电路；704...控制部；800...测试图案；801...色标；802...标组；a...介质；ar1...圆形区域；ar3...矩形区域；arz...无用区域；g...间隙；la...长边宽度；lb...短边宽度；m...反射镜区域；ma...第一通过位置；mb...第二通过位置；n...致动器区域；o...滤波器中心轴。

具体实施方式

[第一实施方式]

下面，对本发明的第一实施方式的波长可变干涉滤波器进行说明。

[波长可变干涉滤波器的结构]

图1是示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器5的概略结构的俯视图。图2是沿a-a线剖切图1中的波长可变干涉滤波器5的剖视图。

如图1和图2所示，波长可变干涉滤波器5具有透光性的第一基板51和第二基板52。该第一基板51和第二基板52通过用例如由以硅氧烷为主成分的等离子体聚合膜等构成的接合膜53接合而一体构成。

在第一基板51的与第二基板52相对的相对面设有第一反射镜54，在第二基板52的与第一基板51相对的相对面设有第二反射镜55。该第一反射镜54与第二反射镜55隔着间隙g而相对配置。

另外，在波长可变干涉滤波器5设有静电致动器56。该静电致动器56由设于第一基板51的第一电极561和设于第二基板52的第二电极562构成。需要说明的是，本实施方式的第二电极562相当于本发明中的通过施加电压来使可动部521(后述)在第一方向上位移的电极。

需要说明的是，第一基板51或第二基板52的基板厚度方向相当于本发明的第一方向，在以后的说明时称为z方向。另外，将从z方向观察波长可变干涉滤波器5时的滤波器俯视简称为俯视。并且，将与z方向正交的方向设为x方向(本发明的第三方向)，将与z方向和x方向正交的方向设为y方向(本发明的第二方向)。

在本实施方式中，在俯视下，第一反射镜54的中心点与第二反射镜55的中心点一致，将通过第一反射镜54和第二反射镜55的中心点的轴设为滤波器中心轴o。

(第一基板51的结构)

图3是从第二基板52侧观察第一基板51时的俯视图。

如图2和图3所示，第一基板51具备电极配置槽511和反射镜设置部512，电极配置槽511和反射镜设置部512例如通过蚀刻等而形成。另外，第一基板51的-x侧的端部(图1中的边c1-c2)比第二基板52的-x侧的端部(图1中的边c5-c6)更向外侧突出。

电极配置槽511是在俯视下围绕反射镜设置部512的周围而设置的槽。在本实施方式中，反射镜设置部512在俯视下具有平行于x方向和y方向的边缘，成为平行于x方向的边缘为长边、平行于y方向的边缘为短边的长方形。电极配置槽511形成为将矩形的反射镜设置部512包围的四角环状。

在电极配置槽511的槽底面设有构成静电致动器56的第一电极561。另外，在第一基板51设置有从电极配置槽511朝向边c3-c4延伸的引出槽511a，引出槽511a与电极配置槽511为相同深度尺寸。

第一电极561设于与后述的第二电极562相对的区域，例如形成为矩形环状(闭合的环状)。需要说明的是，在本实施方式中，如图1和图2所示，第一电极561和第二电极562为相同形状，成为在俯视下互相重叠的结构。

具体而言，第一电极561包括平行于x方向的一对第一长边电极部561a、平行于y方向的一对第一短边电极部561b、以及与第一长边电极部561a和第一短边电极部561b连续的第一角电极部561c。

第一长边电极部561a分别具有反射镜设置部512侧(反射镜区域m侧)的第一内侧长边561a1、与反射镜设置部512相反侧的第一外侧长边561a2。在此，将第一长边电极部561a的宽度即从第一内侧长边561a1至第一外侧长边561a2的y方向上的尺寸设为长边宽度la。

另外，第一短边电极部561b分别具有反射镜设置部512侧的第一内侧短边561b1、与反射镜设置部512相反侧的第一外侧短边561b2。在此，将第一短边电极部561b的宽度即从第一内侧短边561b1至第一外侧短边561b2的x方向上的尺寸设为短边宽度lb。

在本实施方式中，如图3所示，长边宽度la小于短边宽度lb。

第一角电极部561c与第一长边电极部561a的一端部和第一短边电极部561b的一端部连续，包括第一外侧长边561a2、第一外侧短边561b2以及第一内侧长边561a1与第一内侧短边561b1的交点。

另外，第一电极561与沿引出槽511a向边c3-c4侧延伸设置的第一引出电极563(参照图1、图3)连接。另外，在引出槽511a设有向第二基板52侧突出的凸块部511b，第一引出电极563的一部分延伸设置至该凸块部511b的与第二基板52相对的面。需要说明的是，凸块部511b可以被设为与第一基板51一体结构，也可以对第一基板51接合例如树脂等弹性部件来形成。延伸设置于凸块部511b上的第一引出电极563与设于第二基板52侧的第一连接电极565(参照图1)接触，并与第一连接电极565导通。

需要说明的是，也可以设为在第一电极561上层叠用于确保与第二电极562之间的绝缘性的绝缘膜的结构。

如上所述，反射镜设置部512在俯视下形成为长方形，设于电极配置槽511的内侧，向第二基板52侧突出。

另外，反射镜设置部512的突出前端面为平面，在该突出前端面上设置在俯视下呈长方形的第一反射镜54。具体而言，第一反射镜54形成为x方向上的宽度为lmx、y方向上的宽度为lmy且lmx＞lmy的长方形。

需要说明的是，作为第一反射镜54，能够使用将例如ag等金属膜或ag合金等合金膜、高折射层(例如tio2)以及低折射层(例如sio2)层叠而得的电介质多层膜等。

(第二基板52的结构)

第二基板52具备以滤波器中心轴o为中心的可动部521、与可动部521同轴并保持可动部521的保持部522以及设于保持部522的外侧的基板外周部523。另外，第二基板52的+x侧的端部(边c7-c8)比第一基板51的+x侧的端部(边c3-c4)更向外侧突出，构成连接端子部524。

图4是示出从第一基板51侧观察时的第二基板52的结构的俯视图。

如图1和图4所示，可动部521在俯视下形成为以滤波器中心轴o为中心的长方形。更具体而言，可动部521形成为x方向(本发明的第三方向)上的宽度mb比y方向(本发明的第二方向)上的宽度ma大的长方形(ma＜mb)，并具有平行于x方向的一对长边521a和平行于y方向的一对短边521b。另外，长边521a与短边521b在俯视下成为直角(角部521c)。需要注意的是，这里所述的可动部521是指如图2所示那样z方向上的尺寸(厚度)成为t的部分(成为均等的厚度尺寸t的部分)。

而且，可动部521的外周边缘在整个周向(整个周围)上与保持部522连结。即，在俯视下可动部521的各边分别与保持部522连结。

保持部522是包围可动部521的周围的隔膜，形成为厚度尺寸小于可动部521。另外，如图2所示，保持部522的厚度尺寸均等。该保持部522形成为内周边缘与可动部521连结的矩形框状，保持部522的外周边缘设于距可动部521的边缘的尺寸为lc的位置。

基板外周部523在俯视下设于保持部522的外侧。该基板外周部523在与第一基板51的第一接合部513相对的区域经由接合膜53而接合于第一基板51。

而且，在第二基板52上，在可动部521的与第一基板51相对的面设有第二反射镜55和第二电极562。

第二反射镜55形成为以滤波器中心轴o为中心的、x方向上的宽度大于y方向上的宽度的长方形，成为与可动部521相似形状、与第一反射镜54相同形状。而且，第二反射镜55在俯视下与第一反射镜54互相重叠。

也就是说，第二反射镜55形成为x方向上的宽度(第三反射镜宽度)为lmx、y方向上的宽度(第二反射镜宽度)为lmy(lmx＞lmy)的长方形。

在本实施方式中，在俯视下第一反射镜54与第二反射镜55互相重叠的区域成为本发明的反射镜区域m。也就是说，成为在俯视下反射镜区域m被包括在可动部521的内侧的结构。入射至波长可变干涉滤波器5的光在该反射镜区域m中在第一反射镜54与第二反射镜55之间发生多重干涉。而且，对应于间隙g的间隙尺寸的预定波长的光互相加强后从波长可变干涉滤波器5射出(透过)。

作为该第二反射镜55，与第一反射镜54同样地，能够使用将例如ag等金属膜或ag合金等合金膜、高折射层(例如tio2)以及低折射层(例如sio2)层叠而成的电介质多层膜等。

第二电极562形成为在俯视下在第二反射镜55的外侧包围第二反射镜55的矩形环状(闭合的环状)。在本实施方式中，如上所述，第二电极562成为与第一电极561相同形状，在俯视下与第一电极561互相重叠而构成静电致动器56。

更具体而言，如图4所示，第二电极562包括平行于x方向的一对第二长边电极部562a、平行于y方向的一对第二短边电极部562b、以及第二角电极部562c。

第二长边电极部562a分别具有第二反射镜55侧(反射镜区域m侧)的第二内侧长边562a1、与第二反射镜55相反侧的第二外侧长边562a2。而且，第二长边电极部562a的宽度即从第二内侧长边562a1至第二外侧长边562a2的y方向上的尺寸相当于本发明的第三电极宽度，与第一电极561的第一长边电极部561a同样地，成为长边宽度la。

另外，第二短边电极部562b分别具有第二反射镜55侧的第二内侧短边562b1、与第二反射镜55相反侧的第二外侧短边562b2。而且，第二短边电极部562b的宽度即从第二内侧短边562b1至第二外侧短边562b2的x方向上的尺寸相当于本发明的第二电极宽度，与第一短边电极部561b同样地，成为短边宽度lb。

也就是说，在第二电极562中，第二短边电极部562的短边宽度lb大于第二长边电极部562a的长边宽度la(la＜lb)。

第二角电极部562c与第二长边电极部562a的一端部和第二短边电极部562b的一端部连续，构成为包括第二外侧长边562a2、第二外侧短边562b2以及第二内侧长边562a1与第二内侧短边562b1的交点。

另外，如图1和图4所示，在第二电极562设有向连接端子部524延伸的第二引出电极564。该第二引出电极564沿着与设于第一基板51的引出槽511a相对的位置而配置。

进一步地，在第二基板52上，从引出槽511a的与凸块部511b相对的位置遍及至连接端子部524而设有与第二电极562和第二引出电极564不连接的(独立的)第一连接电极565。该第一连接电极565在与引出槽511a相对的位置处与配置于凸块部511b的突出前端的第一引出电极563连接。

[波长可变干涉滤波器的平面尺寸]

图5是示出将第一反射镜54p和第二反射镜55p的形状设为圆形的现有的波长可变干涉滤波器5p与光接收部30的关系的图。另外，图6是示出本实施方式中的波长可变干涉滤波器5与光接收部30的关系的图。需要注意的是，图5和图6是为了简化说明而在波长可变干涉滤波器5、5p与光接收部30之间未配置其他光学部件的例子，但例如也可以在其之间存在透镜等光学部件。

波长可变干涉滤波器5是从入射至反射镜区域m上的入射光中使预定波长的光透过的光学滤波器，有时与图5、图6中示出的光接收部30组合来使用。

在由ccd等图像传感器构成的光接收部30接收透过了波长可变干涉滤波器5的光，光接收部30获取分光图像。这样的光接收部30一般如图5、图6所示那样具有矩形的光接收区域31，由以二维阵列配置于该矩形的光接收区域31的光电二极管来接收光，生成沿水平方向和垂直方向排列的矩形的图像数据。

因此，当在整个光接收区域31接收透过了波长可变干涉滤波器5的对应于反射镜间隙g的波长的光时，为了光接收区域31被包含在透过了波长可变干涉滤波器5的光的输出区域的内侧，需要对反射镜区域m(第二反射镜55)在俯视下的形状、大小(平面尺寸)进行设定。

这里，在图5所示那样的现有的波长可变干涉滤波器5p中，第一反射镜54p和第二反射镜55p成为圆形。因此，对于通过了波长可变干涉滤波器5p的光，其正交于光轴的截面成为圆形，在光接收部30上被照射为圆形区域ar1。在这种情况下，为了在光接收部30的整个光接收区域31上接收透过了波长可变干涉滤波器5p的目标波长的光且将第一反射镜54p和第二反射镜55p的平面尺寸设为最小，以光接收区域31内接于圆形区域ar1的方式设定第一反射镜54p和第二反射镜55p的直径尺寸。

然而，如图5所示，在光接收区域31为矩形的情况下，圆形区域ar1中与光接收区域31不重叠的区域成为对光接收部30上的光接收没有贡献的无用区域arz。即，在现有的圆形的第一反射镜54p和第二反射镜55p上包含对应于无用区域arz的无用部54z、55z。

对此，在本实施方式中，如图6所示，第一反射镜54和第二反射镜55成为矩形。因此，对于通过了波长可变干涉滤波器5的光，其正交于光轴的截面也成为矩形，在光接收部30上被照射为矩形区域ar3。在这种情况下，通过如图6所示使矩形区域ar3与光接收部30的光接收区域31一致，从而抑制无用区域arz的产生。即，在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，在第一反射镜54和第二反射镜55上不产生成为无用部54z、55z的部分或者能够使其变得极其小，能够将第一反射镜54和第二反射镜55相对于光接收区域31设为最小尺寸。因此，也能够使设置第二反射镜55的可动部521和第二基板52的平面尺寸变小，能够使波长可变干涉滤波器5小型化。

[可动部521发生了位移时的挠曲形状]

在上述那样的波长可变干涉滤波器5中，能够在第一电极561与第二电极562之间施加电压来使静电致动器56驱动，可动部521被静电引力向第一基板51侧拉伸而向+z侧位移。

顺便说一下，在图5所示那样的现有的具有圆形的第一反射镜54p和第二反射镜55p的波长可变干涉滤波器5p中，可动部也根据第二反射镜55p的平面形状而形成为俯视下呈圆形。在这样的可动部中，由于可动部被保持部均等地拉伸，所以可动部的外周部的位移量也变为均等，整个可动部上的挠曲形状也变为均等。在这种情况下，也难以产生设于可动部上的第二反射镜55p的挠曲。

与此相反，在使用长方形的第二反射镜55来使波长可变干涉滤波器5的平面尺寸变小的情况下，可动部521也对应于第二反射镜55的形状而设为长方形。在这种情况下，当使可动部521向z方向发生了位移时，根据可动部521的位置，位移量波动，整个可动部上的挠曲形状也变为不均等，从而可动部521易于产生挠曲。

图7是示出在沿滤波器中心轴o施加应力而使可动部521发生了位移d时的、可动部521在x方向和y方向上的挠曲形状的图。

具体来说明的话，如图7所示，当使可动部521的中心向z方向发生了位移时，可动部521的中心(滤波器中心轴o上)向z方向的位移量与可动部521的外周边缘上的向z方向的位移量产生差异。也就是说，在可动部521的外周边缘沿整个周向连结于保持部522而被保持的结构中，当可动部521在z方向上位移时，在可动部521与保持部522的连结部作用有使可动部521返回至原位置的恢复力(保持部522的弹簧力)。

此时，当可动部521是具有纵长方向的形状(例如长方形)时，在长边方向(x方向)和短边方向(y方向)上，易挠曲性产生差异，离可动部521的中心的距离越长，则位移量之差越大。例如，可动部521的中心与可动部521的±x两端部的位移量之差δdx0比可动部521的中心与可动部521的±y两端部的位移量之差δdy0大，可动部521沿x方向挠曲。当产生这样的挠曲时，导致设于反射镜区域m上的第二反射镜55也产生挠曲。

对此，在本实施方式中，向可动部521的±x侧的两端部施加比±y侧的两端部大的力而抑制了挠曲。

图8是示出在本实施方式中当对静电致动器56施加了电压时的可动部521的挠曲形状的图。

具体而言，在本实施方式中，第一短边电极部561b和第二短边电极部562b的宽度(短边宽度lb)比第一长边电极部561a和第二长边电极部562a的宽度(长边宽度la)大。因此，当对静电致动器56施加了电压时，对可动部521的±x侧的两端部施加比±y侧的两端部大的静电引力。

由此，如图8所示，可动部521的±x两端侧的位移量δdx1变为与±y两端侧的位移量δdy1大致相同，可动部521的长边方向(x方向)的挠曲被抑制，设于可动部521的第二反射镜55的挠曲也被抑制。

[第一实施方式的作用效果]

在本实施方式中，反射镜区域m(第二反射镜55)成为长方形，作为第二反射镜宽度的y方向上的宽度lmy小于作为第三反射镜宽度的x方向上的宽度lmx。

一般而言，图像传感器等光接收部30具有矩形的光接收区域31。因此，在通过光接收部30来接收透过了波长可变干涉滤波器5的光并对分光图像进行拍摄的情况下，通过将反射镜区域m的形状与光接收区域31的形状对齐，能够使反射镜区域m(第二反射镜55)的平面尺寸变小。

另外，在本实施方式中，设置第二反射镜55的可动部521成为x方向上的宽度比y方向上的宽度大的长方形。因此，能够按照第二反射镜55的形状来使可动部521小型化，能够将波长可变干涉滤波器5的平面尺寸设为小型。

在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，具备：设有第二反射镜55并可在z方向上位移的可动部521以及包围可动部521的外周并与可动部521连结而将可动部521保持为可在z方向上位移的保持部522。而且，在可动部521设有在俯视下围绕在第二反射镜55的周向的第二电极562，该第二电极562的宽度在周向上不同。

在这样的结构中，当使可动部521在z方向上位移时，由保持部522作用使可动部521返回至原位置的恢复力。因此，在可动部521的易于挠曲的部分，当使可动部521发生了位移时，由于被保持部522拉伸而挠曲变大(可动部521的中心的位移量和与易于挠曲的部分的位移量产生较大差异)。对此，在本实施方式中，通过在可动部521的易于挠曲的部分上使电极宽度变大、在难以挠曲的部分上使电极宽度变小，从而能够抑制可动部521位移时的该可动部521的挠曲。因此，设于可动部521的第二反射镜55的挠曲也会被抑制。由此，从波长可变干涉滤波器5中输出(透过)的光的波长在面内的偏差被抑制，能够使期望波长的光从波长可变干涉滤波器中均等地射出，能够提高波长精度。

在本实施方式中，可动部521成为在俯视下在与y方向正交的x方向上的宽度比在y方向上的宽度大的形状。另外，第二电极562成为对应于y方向的第二短边电极部562b的宽度(短边宽度lb)大于对应于x方向的第二长边电极部562a的宽度(长边宽度la)的形状。

在x方向为长边方向、y方向为短边方向的矩形的可动部521中，当使该可动部521向z方向发生了位移时，在作为长边方向的x方向上易于挠曲，在作为短边方向的y方向上难以挠曲。也就是说，当使可动部521的中心以位移量d发生了位移时，可动部521的x方向的两端部由于被保持部522拉伸而较大地挠曲，与中心的位移量之差变大(向z方向的位移变小)。

对此，在本实施方式中，配置于x方向的两端部的第二短边电极部562b的短边宽度lb比配置于y方向的两端部的第二长边电极部562a的长边宽度la大。因此，当对静电致动器56施加了驱动电压时，对x方向的两端部作用更大的静电引力，可动部521在x方向上的挠曲被抑制。由此，设于可动部521的第二反射镜55的挠曲也会被抑制，波长可变干涉滤波器5的波长精度提高。

在本实施方式中，第二电极562形成为包围第二反射镜55的闭合的环形。

因此，能够对包围第二反射镜55的整个环状区域作用静电力，能够抑制第二反射镜55的倾斜。

[第二实施方式]

接下来，对第二实施方式的波长可变干涉滤波器5进行说明。

对于在第一实施方式中说明过的那样的外周形状成为多边形状(矩形)的可动部521，矩形的角部521c即构成可动部521的外周边缘的长边521a与短边521b的交叉位置比其他部分易于挠曲。即，当使可动部521在z方向上位移预定尺寸时，可动部521的角部521c与长边521a和短边521b的中央部相比，其与可动部521的中心的位移量之差变大。对此，在第二实施方式中，通过使该角部521c向第一基板51侧更大地进行位移来进一步减小可动部521的挠曲，在这点上与上述第一实施方式不同。

图9是对第二实施方式的波长可变干涉滤波器5中的第二基板52a的可动部521从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。图10是将图9的一个角部521c的附近放大后的俯视图。

需要注意的是，在以后的说明中，对于已经说明过的结构，标注相同附图标记，并省略或简化其说明。

在第二实施方式中，如图9和10所示，第二电极566a形成为针对可动部521的角部521c而电极的宽度变得更大。

具体而言，第二电极566a具备：平行于x方向的一对第二长边电极部562a、平行于y方向的一对第二短边电极部562b、以及与这些第二长边电极部562a和第二短边电极部562b连续的第二角电极部562d。

第二长边电极部562a和第二短边电极部562b是与第一实施方式同样的，省略此处的说明。

这里，在本实施方式中，可动部521的短边521b构成本发明的第四边缘，长边521a构成本发明的第五边缘，这些短边521b和长边521a相当于多边形状的可动部521的边部。另外，第二电极562中的第二长边电极部562a相当于本发明的第四电极部和侧电极部，第二内侧长边562a1相当于本发明的第四内侧边，第二外侧长边562a2相当于本发明的第四外侧边，x方向相当于第四方向(在本实施方式中，第四方向和第三方向一致)。并且，第二电极562中的第二短边电极部562b相当于本发明的第五电极部和侧电极部，第二内侧短边562b1相当于本发明的第五内侧边，第二外侧短边562b2相当于本发明的第五外侧边，y方向相当于第五方向(在本实施方式中，第五方向与第二方向一致)。

在本实施方式中，如图9和图10所示，第二角电极部562d具备外周边缘比第二外侧长边562a2和第二外侧短边562b2更向外侧(从第二反射镜55离开的一侧)突出的外侧突出部562d1。

需要说明的是，图9和图10所示的例子示出在俯视下外侧突出部562d1设于可动部521内的例子，但是，例如外侧突出部562d1也可以从可动部521遍及至保持部522地设置。在这种情况下，能够将第二长边电极部562a的第二外侧长边562a2靠近可动部521的长边521a侧来配置，能够将第二短边电极部562b的第二外侧短边562b2靠近可动部521的短边521b侧来配置。

在此，如图10所示，第二长边电极部562a在与长边521a正交的y方向上的宽度成为第一侧电极部的宽度wsa，第二短边电极部562b在与短边521b正交的x方向上的宽度成为第二侧电极部的宽度wsb(在本实施方式中wsb＞wsa)。另外，将从作为可动部521的中心(重心)的滤波器中心轴o朝着可动部521的角部521c的直线设为放射直线s，将第二角电极部562d的沿着放射直线s的电极宽度设为wc。另外，将放射直线s与长边521a所成的角设为αa，将放射直线s与短边521b所成的角设为αb。

在本实施方式中，第二角电极部562d如上所述设有比第二外侧长边562a2和第二外侧短边562b2更向外侧(角部521c侧)突出的外侧突出部562d1。因此，第二角电极部562d的宽度wc满足wc＞wsa/sinαa且wc＞wsb/sinαb。

另外，虽省略了图示，但与第一实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566a重叠的位置处形成为相同形状。也就是说，在第一电极561的第一角电极部561c，也与第二角电极部562d同样地设有外周边缘比第一外侧长边561a2和第一外侧短边561b2更向外侧(从第一反射镜54离开的一侧)突出的外侧突出部。

[第二实施方式的作用效果]

在本实施方式中，可动部521成为长边521a和短边521b由角部521c连接的矩形。另外，第二电极566a具备：沿着长边521a的第二长边电极部562a、沿着短边521b的第二短边电极部562b、以及与第二长边电极部562a和第二短边电极部562b连接并设置在对应于角部521c的位置的第二角电极部562d。而且，第二角电极部562d具备向从反射镜区域m(第二反射镜55)离开的方向突出的外侧突出部562d1。即，第二角电极部562d的电极宽度wc相对于作为侧电极部的第二长边电极部562a的电极宽度wsa而满足wc＞wsa/sinαa，相对于第二短边电极部562b的电极宽度wsb而满足wc＞wsb/sinαb。

可动部521的角部521c由于比其他部分易于挠曲，因此当使可动部521向z方向发生了位移时，其与可动部521的中心的位移量之差变大。对此，在本实施方式中，通过设置外侧突出部562d1且第二角电极部562d的宽度wc满足了上述条件，从而能够对角部521c作用更大的静电引力，能够抑制可动部521的挠曲。由此，能够抑制设于可动部521的反射镜区域m的第二反射镜55的挠曲。

[第三实施方式]

接下来，对第三实施方式的波长可变干涉滤波器5进行说明。

在第二实施方式中，示出了第二角电极部562d具备外侧突出部562d1的结构。与此相对，第三实施方式具有从第二角电极部向第二反射镜侧突出的部分，在这点上与第二实施方式不同。

图11是对第三实施方式的波长可变干涉滤波器5中的第二基板52b的可动部521从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。图12是在图11中将可动部521的一个角部521c的附近放大后的俯视图。

如图11和图12所示，在第三实施方式的第二电极566b中，第二角电极部562e具备外周边缘比第二内侧长边562a1和第二内侧短边562b1更向内侧(靠近第二反射镜55的一侧)突出的内侧突出部562e1。

具体而言，内侧突出部562e1成为从第二内侧长边562a1的延长线与第二内侧短边562b1的延长线的交点(内侧交点q0)向第二反射镜55扩开的形状，与第二长边电极部562a和第二短边电极部562b连续。也就是说，内侧突出部562e1设置有内侧突出部562e1，内侧突出部562e1为由在第二内侧长边562a1上离内侧交点q0预定距离的第一点q1、在第二内侧短边562b1上离内侧交点q0预定距离的第二点q2、以及内侧交点q0所围起的三角形。

换言之，如图12所示，在将放射直线s与长边521a所成的角度设为αa、将放射直线s与短边521b所成的角度设为αb、将第二长边电极部562a(侧电极部)在y方向上的宽度设为wsa、将第二短边电极部562b(侧电极部)在x方向上的宽度设为wsb时，第二角电极部562e在沿着放射直线s的方向上的电极宽度wc满足wc＞wsa/sinαa且wc＞wsb/sinαb。

需要注意的是，作为内侧突出部562e1的形状，虽然例示了从内侧交点q0朝反射镜区域m扩开的形状，但不限定于此。例如，也可以设为从第一点q1和第二点q2朝向反射镜区域m的形状，此时，可以设为宽度随着朝向反射镜区域m而变小的形状，也可以设为以第一点q1与第二点q2的宽度尺寸来向反射镜区域m突出的形状。

另外，在第三实施方式中，虽然示出只设置内侧突出部562e1的结构，但不限定于此，也可以设为还设有在第二实施方式中说明过的外侧突出部562d1的结构。

另外，虽省略了图示，但与第一实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566b重叠的位置形成为相同形状。也就是说，在第一电极561的第一角电极部561c上，也与第二角电极部562e同样地设有外周边缘比第一内侧长边561a1和第一内侧短边561b1更向内侧(靠向第一反射镜54的一侧)突出的内侧突出部。

[第三实施方式的作用效果]

在本实施方式中，与第二实施方式同样地，可动部521成为长边521a和短边521b由角部521c连接的矩形，对应于角部521c而设置第二角电极部562e。而且，第二角电极部562e具备向反射镜区域m(第二反射镜55)侧突出的内侧突出部562e1。

即使为这样的结构，也能够起到与第二实施方式同样的作用效果，通过对可动部521的角部521c作用更大的静电引力，从而能够抑制可动部521的挠曲。

[第四实施方式]

接下来，对第四实施方式进行说明。

第二实施方式和第三实施方式是对当使可动部521在z方向上位移时位移量较小且难以挠曲的可动部521的角部521c设置第二角电极部562d(562e)的结构。另一方面，当使可动部521在z方向上位移时可动部521的易挠曲性随离可动部521的中心的距离而变化。

在第四实施方式中，根据离可动部521的中心的距离来改变电极的宽度，在这点上与上述实施方式不同。

图13是对第四实施方式的波长可变干涉滤波器5中的第二基板52c从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

如图13所示，在本实施方式的第二电极566c中，第二长边电极部562a的第二外侧长边562a2成为与x方向平行的直线。另一方面，第二长边电极部562a的第二内侧长边562a1随着从±x侧端部的第二角电极部562c朝x方向的中心去而向从第二反射镜55离开的方向倾斜(弯曲)。因此，第二长边电极部562a随着从第二角电极部562c朝x方向的中心去而长边宽度la变小。

同样地，第二短边电极部562b的第二外侧短边562b2成为与y方向平行的直线。另一方面，第二短边电极部562b的第二内侧短边562b1随着从±y侧端部的第二角电极部562c朝y方向的中心去而向从第二反射镜55离开的方向倾斜(弯曲)。因此，第二短边电极部562b随着从第二角电极部562c朝y方向的中心去而短边宽度lb变小。

另外，虽省略了图示，但与第一实施方式同样，第一电极561在俯视下与第二电极566c重叠的位置形成为相同形状。也就是说，在第一电极561中，也是第一长边电极部561a的长边宽度la从±x侧端部向x方向的中心渐减，第一短边电极部561b的短边宽度lb从±y侧端部向y方向的中心渐减。

[第四实施方式的作用效果]

在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，第二电极566c随着离可动部521的中心的距离而变大。

因此，在可动部521中，越是易于挠曲的部分(当使可动部521发生了位移时与可动部521的中心的位移量之差变大的部分)，越能够对可动部521作用较强的静电引力，能够抑制可动部521的挠曲。

[第五实施方式]

接下来，对第五实施方式进行说明。

在上面已述的第一实施方式至第四实施方式中，例示了第二电极562(566a、566b、566c)成为闭合的环形的结构。与此相对，在第五实施方式中，第二电极由多个部分电极构成，在这点上不同。

图14是对第五实施方式的波长可变干涉滤波器5中的第二基板52d从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

如图14所示，在本实施方式的第二基板52d中，第二电极566d包括第一部分电极566d1和第二部分电极566d2。

第一部分电极566d1具备：俯视下在可动部521的-x侧从-y侧遍及至+y侧而设置的第一短边电极部566d3和从第一短边电极部566d3的±y侧端部向+x侧突出的第一长边突出部566d4。同样地，第二部分电极566d2具备：在可动部521的+x侧从-y侧遍及至+y侧而设置的第二短边电极部566d5和从第二短边电极部566d5的±y侧端部向-x侧突出的第二长边突出部566d6。而且，在第一长边突出部566d4与第二长边突出部566d6之间设有预定的电极间隙566d7。

与第一实施方式同样，第一短边电极部566d3和第二短边电极部566d5的宽度lb大于第一长边突出部566d4和第二长边突出部566d6的宽度la。

另外，在本实施方式中，对这些第一部分电极566d1和第二部分电极566d2的各个连接有第二引出电极564，各第二引出电极564连接至连接端子部524。因此，当对静电致动器56施加电压时，第一部分电极566d1与第二部分电极566d2成为相同电位。

需要说明的是，第一部分电极566d1和第二部分电极566d2也可以分别独立。也就是说，也可以分别设置与第一部分电极566d1连接的第二引出电极564和与第二部分电极566d2连接的第二引出电极564并分别延伸设置至连接端子部524。

另外，虽省略了图示，但与上述各实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566d重叠的位置形成为相同形状。也就是说，在第一电极561上也具备配置于-x侧的部分电极和配置于+x侧的部分电极。

[第五实施方式的作用效果]

在本实施方式中，第二电极566d具备隔开预定尺寸的电极间隙566d7而配置的第一部分电极566d1和第二部分电极566d2。

这样的形状通过在难以挠曲的部分上设置电极间隙566d7，从而能够以易于挠曲的部分为中心来使静电引力进行作用，能够抑制可动部521的挠曲。

另外，虽图14中进行了省略，但在第一部分电极566d1与第二部分电极566d2之间也能够设置其他电极。例如，能够设为在第一反射镜54、第二反射镜55(与反射镜区域m重叠的区域)上设置反射镜电极的结构，并使与该反射镜电极连接的布线电极通过第一部分电极566d1与第二部分电极566d2的电极间隙566d7而延伸设置至连接端子部524。

[第六实施方式]

接下来，作为第六实施方式，对具有在上述第一实施方式至第五实施方式中示出的那样的波长可变干涉滤波器5的光学器件进行说明。

图15是示出第六实施方式的光学器件600的概略结构的剖视图。

如图15所示，光学器件600具备：壳体610和收纳于壳体610的内部的波长可变干涉滤波器5。

如图15所示，壳体610具备基座620和盖部630。通过将该基座620与盖部630接合来在内部形成收容空间，在该收容空间内容纳波长可变干涉滤波器5。

(基座的结构)

基座620由例如陶瓷等构成。该基座620具备底座部621和侧壁部622。

底座部621在滤波器俯视下构成为例如具有矩形外形的平板状，筒状的侧壁部622从该底座部621的外周部向盖部630立起。

底座部621具备在厚度方向上贯通的开口部623。该开口部623被设置成在将波长可变干涉滤波器5已收容于底座部621中的状态下从厚度方向上观察底座部621的俯视下包括与第一反射镜54和第二反射镜55重叠的区域。

另外，在底座部621的与盖部630相反一侧的面(基座外侧面621b)接合有覆盖开口部623的玻璃部件627。底座部621与玻璃部件627的接合可利用例如使用了将玻璃原料高温溶解再急速降温而成的玻璃碎片即玻璃浆料(低熔点玻璃)的低熔点玻璃接合、借助环氧树脂等的粘合等。在本实施方式中，以收容空间内被维持在减压下的状态维持气密。因此，优选使用低熔点玻璃接合来接合底座部621和玻璃部件627。

另外，在底座部621的与盖部630相对的内表面(基座内侧面621a)设置有与波长可变干涉滤波器5的第一连接电极565和第二引出电极564连接的内侧端子部624。内侧端子部624与第一连接电极565及第二引出电极564通过使用了例如金(au)等金属线的引线键合来连接。需要说明的是，在本实施方式中，虽然例示引线键合，但也可以使用例如fpc(flexibleprintedcircuits：柔性印刷电路板)等。

另外，底座部621在设有内侧端子部624的位置形成有贯通孔625。内侧端子部624经由贯通孔625而与设置于底座部621的基座外侧面621b的外侧端子部626连接。

侧壁部622从底座部621的边缘部立起，包围基座内侧面621a的周围而设置的侧壁部622的与盖部630相对的面(端面622a)成为例如平行于基座内侧面621a的平坦面。

而且，使用例如粘接剂等固定材料64来将波长可变干涉滤波器5固定于基座620。此时，波长可变干涉滤波器5既可以固定到底座部621上，也可以固定到侧壁部622上。作为设置固定材料64的位置，也可以是多处，但为了抑制固定材料64的应力传递到波长可变干涉滤波器5，优选在一处固定波长可变干涉滤波器5。

(盖部的结构)

盖部630是在俯视下具有矩形外形的透明部件，例如由玻璃等构成。

如图15所示，盖部630接合于基座620的侧壁部622。作为该接合方法，可例示例如使用了低熔点玻璃的接合等。

[第六实施方式的作用效果]

在上述那样的本实施方式的光学器件600中，由于波长可变干涉滤波器5被壳体610保护，因此能够防止由外在因素导致的波长可变干涉滤波器5的破损。

另外，如上所述，波长可变干涉滤波器5抑制当施加了静电致动器56时的可动部521的挠曲。因此，能够使期望波长的光从波长可变干涉滤波器5中高精度地透过。

[第七实施方式]

接着，作为第七实施方式，对作为具有上述第一实施方式至第五实施方式的波长可变干涉滤波器5或第六实施方式的光学器件的电子设备的一例的分光照相机进行说明。

图16为示出第七实施方式中的分光照相机700的概略结构的图。

如图16所示，分光照相机700具备照相机主体部701和镜筒部702，在照相机主体部701中收纳有波长可变干涉滤波器5、光接收部30、驱动电路703以及控制部704等。

在此，由波长可变干涉滤波器5和光接收部30构成本发明的光学模块。需要说明的是，也可以设置有在第六实施方式中示出的光学器件600代替波长可变干涉滤波器5。

另外，镜筒部702收纳由多个透镜构成的入射光学系统，将预定画角的光经由波长可变干涉滤波器5而引导至光接收部30。

如图6所示，光接收部30具有矩形的光接收区域31，在该光接收区域31内沿例如水平方向和垂直方向排列有多个光电二极管。因此，光接收部30根据在矩形的光接收区域31上接收到的光而生成矩形的图像数据。

驱动电路703是用于驱动波长可变干涉滤波器5的电路。具体而言，驱动电路703在控制部704的控制下对波长可变干涉滤波器5的静电致动器56施加驱动电压，使可动部521在z方向上位移。

控制部704控制分光照相机700的工作，当基于例如用户的操作而输入了表示获取预定的目标波长的分光图像的操作信号时，向驱动电路703输出对应于目标波长的指令信号。由此，驱动电路703将对应于目标波长的驱动电压施加于波长可变干涉滤波器5的静电致动器56。

另外，控制部704控制光接收部30而使其实施光接收处理，根据从光接收部30的各光电二极管中输出的光接收信号来生成分光图像。

另外，控制部704也可以在输入了表示以预定波长间隔获取预定的波长区域的分光图像的操作信号的情况下，将表示使驱动电压依次变化的指令信号输出至驱动电路703。由此，驱动电路703例如使施加于静电致动器56的驱动电压逐步增加，使间隙g的尺寸慢慢地变小。

在这种情况下，控制部704控制光接收部30，使其根据对各波长的光接收信号来生成各波长中的每一个的分光图像。

另外，与第一实施方式等同样地，波长可变干涉滤波器5的可动部521以及反射镜区域m(第一反射镜54和第二反射镜55)成为长方形。在本实施方式中，如图6所示，通过了第一反射镜54和第二反射镜55的光被照射至光接收部30的区域即将反射镜区域m投影到光接收部30的输出区域(图6中所示的矩形区域ar3)与光接收区域31一致。也就是说，波长可变干涉滤波器5的反射镜区域m针对光接收部30而形成为最小限度的大小。因此，未设置图5所示那样的无用部54z、55z。为此，也能够将可动部521的平面尺寸设为最小，波长可变干涉滤波器5得以小型化了。

[第七实施方式的作用效果]

在本实施方式中，波长可变干涉滤波器5的第一反射镜54和第二反射镜55形成为矩形，该矩形成为对应于光接收区域31的形状。即，能够将第一反射镜54和第二反射镜55在俯视下的大小设为对应于光接收部30的光接收区域31的最小尺寸。由此，能够使可动部521和波长可变干涉滤波器5小型化。进而，配置波长可变干涉滤波器5的空间变小，相应地，也可促进分光照相机700的小型化。

另外，与第一实施方式同样地，第二电极562形成为与可动部521的易挠曲性相应的宽度，易于挠曲的部分的宽度相比于难以挠曲的部分的宽度变得较大。因此，在具有矩形的第二反射镜55及可动部521的波长可变干涉滤波器5中，当使可动部521发生了位移时的该可动部521的挠曲也会被抑制。由此，能够使目标波长的光从波长可变干涉滤波器5中高精度地透过。因此，在光接收部30的光接收区域31上，不论在哪一个位置，均能够接收相同波长的光，在分光照相机700中能够对精度高的分光图像进行拍摄。

[第八实施方式]

接着，作为第八实施方式，对作为具有上述第一实施方式至第五实施方式的波长可变干涉滤波器5或第六实施方式的光学器件600的电子设备的一例的印刷装置(打印机)进行说明。

[打印机的概略结构]

图17是示出第八实施方式的打印机10的外观的结构例的图。图18是示出本实施方式的打印机10的概略结构的框图。

如图17所示，打印机10具备：供给单元11、输送单元12、滑架13、滑架移动单元14、以及控制单元15(参照图18)。该打印机10根据从例如个人计算机等外部设备20中输入的印刷数据来控制各单元11、12、14以及滑架13，将图像印刷于介质a上。另外，本实施方式的打印机10根据预先已设定的校准用印刷数据来将测色用测试图案形成于介质a上的预定位置，并且进行对该测试图案的光谱测量。由此，打印机10比较对测试图案的实测值与校准用印刷数据来判断已印刷的颜色是否具有套色不准，在具有套色不准的情况下，根据实测值来进行颜色校正。

下面，对打印机10的各结构进行具体说明。

供给单元11是将成为图像形成对象的介质a供给至图像形成位置的单元。该供给单元11具备：例如卷装有介质a的卷筒体111(参照图17)、辊驱动电机(图示略)以及辊驱动轮列(省略图示)等。而且，根据来自控制单元15的指令，辊驱动电机被旋转驱动，辊驱动电机的旋转力经由辊驱动轮列而被传递至卷筒体111。由此，卷筒体111旋转，卷装于卷筒体111的纸面向副扫描方向(y方向)上的下游侧(+y侧)供给。

需要说明的是，在本实施方式中，虽然示出供给卷装于卷筒体111的纸面的例子，但不限定于此。例如，也可以通过利用辊等例如逐张供给装载于纸盘等上的纸面等介质a等任何的供给方法来供给介质a。

输送单元12沿y方向输送从供给单元11供给的介质a。该输送单元12被构成为包括：输送辊121、与输送辊121夹着介质a而配置并从动于输送辊121的从动辊(图示略)以及压印平板122。

输送辊121传递来自省略图示的输送电机的驱动力，当输送电机根据控制单元15的控制而被驱动时，输送辊121被其旋转力驱动而旋转，从而在将介质a已夹入与从动辊之间的状态下沿y方向输送介质a。另外，在输送辊121的+y侧设有与滑架13相对的压印平板122。

滑架13具备对介质a印刷图像的印刷部16和进行介质a上的预定测量位置ta、tb(参照图18)的光谱测量的分光计17。

该滑架13设置成能通过滑架移动单元14而沿与y方向交叉的主扫描方向(x方向)移动。

另外，滑架13通过柔性电路131而与控制单元15连接，根据来自控制单元15的指令来实施由印刷部16进行的印刷处理和由分光计17进行的光谱测量处理。

需要注意的是，关于滑架13的详细结构，将在后面说明。

滑架移动单元14构成本发明中的移动机构，根据来自控制单元15的指令来使滑架13沿x方向往复移动。

该滑架移动单元14被构成为包括例如滑架引导轴141、滑架电机142以及同步带143。

滑架引导轴141沿x方向配置，两端部被固定于打印机10的例如壳体上。滑架电机142使同步带143驱动。同步带143被支撑为与滑架引导轴141大致平行，其上固定有滑架13的一部分。并且，当滑架电机142根据控制单元15的指令而被驱动时，同步带143正反向行进，已固定于同步带143上的滑架13被滑架引导轴141引导而往复移动。

接着，基于附图来对设于滑架13上的印刷部16和分光计17的结构进行说明。

[印刷部16的结构]

印刷部16配置于与介质a相对的部分，并将墨水分别喷出至介质a上来将图像形成于介质a上。

该印刷部16以装拆自如的方式安装有对应于多种颜色的墨水的墨盒161，墨水从各墨盒161经由软管(图示略)而供给至墨水罐(图示略)。另外，在印刷部16的下表面(与介质a相对的位置)，对应于各色而设有喷出墨滴的喷嘴(图示略)。在这些喷嘴上配置有例如压电元件，通过使压电元件驱动，从墨水罐中供给的墨滴被喷出后着落于介质a，形成点。

[分光计17的结构]

图19为示出分光计17的概略结构的图。

分光计17是本发明中的光学模块，如图19所示，具备：第一光源171a、第二光源171b、光学器件600、第一检测部172a、第二检测部172b以及驱动电路部173。

第一光源171a对介质a的第一测量位置ta以例如45°的角度照射光。另外，第二光源171b对位于比第一测量位置ta靠+x侧的第二测量位置tb以例如45°的角度照射光。

第一检测部172a和第二检测部172b相当于本发明的光接收部。

第一检测部172a接收在第一测量位置ta反射并通过了收纳于光学器件600中的波长可变干涉滤波器5(在图19中省略图示)的反射镜区域m的-x侧的预定位置(第一通过位置ma)的光。

第二检测部172b接收在第二测量位置tb反射并通过了反射镜区域m的+x侧的预定位置(比第一通过位置ma靠+x侧的第二通过位置mb)的光。

驱动电路部173与控制单元15电连接，包括根据来自控制单元15的指令来使波长可变干涉滤波器5驱动的电路。

即，与第七实施方式中的驱动电路703同样地，根据来自控制单元15的指令来对波长可变干涉滤波器5的静电致动器56施加驱动电压，使可动部521在z方向上位移。

另外，驱动电路部173与第一检测部172a及第二检测部172b连接，将从第一检测部172a和第二检测部172b输出的检测信号输出至控制单元15。

进一步地，驱动电路部173与第一光源171a及第二光源171b连接，切换第一光源171a及第二光源171b的打开和熄灯。

需要说明的是，作为驱动电路部173，除此以外，还可设置有检测间隙g的容量的容量检测电路、对向静电致动器56施加的驱动电压进行反馈控制的反馈电路等。

这样的分光计17将照明光从第一光源171a照射至介质a上的第一测量位置ta，将照明光从第二光源171b照射至介质a上的第二测量位置tb。

在第一测量位置ta反射的光入射至光学器件600的反射镜区域m的第一通过位置ma，其中，对应于间隙g的预定波长的光透过后由第一检测部172a接收。另外，在第二测量位置tb反射的光入射至光学器件600的反射镜区域m的第二通过位置mb，其中，对应于间隙g的预定波长的光透过后由第二检测部172b接收。

并且，当在第一检测部172a和第二检测部172b接收到光时，对应于光接收量的光接收信号被输出至驱动电路部173。驱动电路部173具有例如放大电路、ad转换电路等接收电路，在接收电路中经信号处理后的光接收信号被输出至控制单元15。

[控制单元的结构]

控制单元15是本发明的控制部，如图18所示，包括：i/f151、单元控制电路152、存储器153以及cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)154。

i/f151将从外部设备20输入的印刷数据输入至cpu154。

单元控制电路152具备对供给单元11、输送单元12、印刷部16、分光计17、以及滑架移动单元14分别进行控制的控制电路，根据来自cpu154的指令信号来控制各单元的工作。需要说明的是，各单元的控制电路也可以被设置为与控制单元15分离的形式，并与控制单元15连接。

存储器153存储有控制打印机10的工作的各种程序、各种数据。

作为各种数据，例如，可列举出：示出了在控制波长可变干涉滤波器5时的透过波长可变干涉滤波器5的光相对于向静电致动器56施加的电压的v-λ数据、存储了各墨水相对于作为印刷数据而包含的颜色数据的喷出量的印刷配置文件数据(profiledata)等。另外，也可以存储有第一光源171a和第二光源171b对各波长的发光特性(发光光谱)、第一检测部172a和第二检测部172b对各波长的光接收特性(光接收灵敏度特性)等。

cpu154通过读出、执行存储器153中所存储的各种程序来实施各单元11，12，14的驱动控制、印刷部16的印刷控制、由分光计17进行的测量控制(波长可变干涉滤波器5的静电致动器56的驱动控制等)、基于分光计17的光谱测量结果的测色处理以及印刷配置文件数据的校正(更新)处理等。

[测量处理]

接着，对上述那样的打印机10中的工作、特别是针对由印刷部16印刷的测试图案的测量处理进行说明。

图20是示出本实施方式中的测量方法的流程图。

在本实施方式的测量处理中，打印机10当通过例如用户操作、来自外部设备20的输入而接收到表示实施印刷配置文件数据的更新处理的指令时，控制单元15控制印刷部16，对介质a印刷测试图案(步骤s1)。

图21是示出印刷于介质a上的测试图案与测量位置的关系的图。

在步骤s1中，对介质a印刷图21所示那样的测试图案800。该测试图案800具有由各不相同的颜色形成的多个色标801。这些色标801沿x方向配置而形成一个标组802，多个标组802沿y方向而配置多个。

之后，控制单元15使滑架13移动至初始位置，以使得由分光计17测量的第一测量位置ta和第二测量位置tb位于作为初始测量对象的色标801上(步骤s2)。具体而言，以第一测量位置ta位于沿x方向和y方向配置的多个色标801中的最左上(-x侧端部且-y侧端部)、第二测量位置tb位于对应于第一测量位置ta的色标801的右邻(在+x侧相邻的色标801)的方式使滑架13移动。

然后，控制单元15使分光计17的光源打开，使滑架13实施由分光计17进行的光谱测量处理(步骤s3)。即，控制单元15使施加于波长可变干涉滤波器5的静电致动器56的驱动电压依次变化，使得例如自初始波长成为20nm间隔的多个波长的光从波长可变干涉滤波器5中依次透过。然后，在第一检测部172a和第二检测部172b各个中检测各波长的光。

由此，同时获得对第一测量位置ta位于其上的色标801的光谱测量结果和对该色标801在+x侧相邻的、第二测量位置tb位于其上的色标801的光谱测量结果。

之后，控制单元15判断对标组802的所有色标801的光谱测量是否已完成(步骤s4)。例如在标组802中所包含的色标801为16个(或15个)的情况下，在实施了八次光谱测量处理的情况下判断为是。

这里，在判断为否的情况即在标组802中具有未测量的色标801的情况下，使滑架13向+x侧移动距离xc(参照图21)(步骤s5)。也就是说，使第一测量位置ta和第二测量位置tb向+x侧移动两个量的色标801的距离xc。

然后，返回至步骤s3的处理，实施光谱测量处理。

另外，当在步骤s4中判断为是时，控制单元15判断对测试图案800的所有的色标801(所有的标组802)的光谱测量是否已完成(步骤s6)。

当在步骤s6中判断为否时，控制单元15使介质a向y方向输送并使滑架13移动至初始位置以便由分光计17测量的第一测量位置ta和第二测量位置tb位于下一个标组802的-x侧端部。此后，返回至步骤s3的处理，实施光谱测量处理。

当在步骤s6中判断为是时，控制单元15结束测试图案800的各色标801的光谱测量处理。在这种情况下，例如控制单元15根据所得到的光谱测量结果来实施例如印刷部16的各种校正处理(例如墨水的喷出量的校正等)。

[第八实施方式的作用效果]

本实施方式的打印机10具备作为光学模块的分光计17，该分光计17具备光学器件600(波长可变干涉滤波器5)以及第一检测部172a和第二检测部172b。

根据这样的结构，能够使在面内均等的波长的光从波长可变干涉滤波器5中透过，能够在第一检测部172a和第二检测部172b中高精度地检测相同波长的光。

另外，在本实施方式中，具备将光照射至第一测量位置ta的第一光源171a和将光照射至比第一测量位置ta向+x侧偏离的位置的第二光源171b。而且，在第一测量位置ta反射的光通过波长可变干涉滤波器5的反射镜区域m的第一通过位置ma后由第一检测部172a接收，在第二测量位置tb反射的光通过反射镜区域m的第二通过位置mb后由第二检测部172b接收。

因此，通过在第一测量位置ta和第二测量位置tb上配置各不相同的测量对象，能够同时实施各自的光谱测量。例如，正如本实施方式那样，在第一测量位置ta配置第一色标801，在第二测量位置tb配置与第一色标801相邻的第二色标801。由此，能够同时实施对第一色标801和第二色标801双方的光谱测量。在这种情况下，与对标组802中配置的多个色标801逐一实施光谱测量的情况相比，能够迅速地实施光谱测量。

另外，如上所述，为了同时实施对在x方向上分离的第一测量位置ta和第二测量位置tb的光谱测量处理，必须使在这些测量位置反射后的光在波长可变干涉滤波器5的反射镜区域m内通过。

这里，在将波长可变干涉滤波器5的反射镜区域m的形状即第一反射镜54和第二反射镜55的形状像以前那样设为圆形状的情况下，成为第一反射镜54、第二反射镜55在不是测量对象的y方向上扩展的形状。也就是说，第一反射镜54、第二反射镜55的平面尺寸变大，从而波长可变干涉滤波器5的平面尺寸变大。

对此，在本实施方式中，第一反射镜54和第二反射镜55、设置第二反射镜55的可动部521成为将x方向设为了长边方向、将y方向设为了短边方向的矩形。即，能够设定对应于第一测量位置ta和第二测量位置tb的在x方向上成为纵长的形状且在测量所需范围内必要的大小的反射镜区域m，与现有技术相比，能够实现波长可变干涉滤波器5的小型化。另外，由于能够使波长可变干涉滤波器5小型化，从而也可促进收纳该滤波器的分光计17、打印机10的小型化。

[变形例]

需要注意的是，本发明并非限定于上述的实施方式，在能够达到本发明的目的的范围内的变形、改良等也包括在本发明中。

(变形例1)

在上述第一实施方式中，虽然示出了反射镜区域m(第一反射镜54和第二反射镜55)为矩形、可动部521也与此相应地形成为矩形的例子，但不限定于此。

图22是对变形例1的第二基板从第一基板侧进行了观察时的俯视图。

在图22所示的例子中，第二基板52e具备x方向(第三方向)成为长轴、y方向(第二方向)成为短轴的椭圆形的可动部521e及第二反射镜55e(反射镜区域m)。也就是说，可动部521e及第二反射镜55e成为x方向上的宽度大于y方向上的宽度的形状。

而且，如图22所示，第二电极566e成为包围第二反射镜55e的大致椭圆形状，在周向上电极的宽度不同。

具体而言，第二电极566e的切线方向越接近于与y方向平行，则其宽度越大，切线方向越接近于与x方向平行，则其宽度越小。换句话说，成为对应于短轴方向(y方向：第二方向)的部分的电极的宽度大于对应于长轴方向(x方向：第三方向)的部分的电极的宽度的形状。再换句话说，成为电极的宽度随着离可动部521e的中心的距离的拉开而变大的形状。

因此，与第一实施方式和第四实施方式同样地，在图22所示的形状中也能够抑制当使可动部521e向z方向发生了位移时该可动部521e挠曲，能够提高波长可变干涉滤波器5的波长精度。

另外，虽图示进行了省略，但与上述各实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566e重叠的位置处形成为相同形状即可。

需要注意的是，图22的例子是可动部521e及第二反射镜55e成为椭圆形的例子，但不限定于此。即，例如，作为可动部和反射镜区域(第二反射镜)的形状，只要是x方向(第三方向)的宽度大于y方向(第二方向)的宽度的形状，则就也可以为多边形状，还可以为椭圆形状。不论是哪一种形状，通过设为第二电极包围反射镜区域且沿着短轴方向的电极部的宽度大于沿着长轴方向的电极部的宽度的形状、或者根据离可动部中心的距离来使电极的宽度变大，均能够抑制可动部的挠曲。

(变形例2)

在第二实施方式和第三实施方式中，虽然示出了可动部521和反射镜区域m(第二反射镜55)形成为长方形的例子，但不限定于此。

图23是将具有六边形状的可动部521f的第二基板52f上的可动部521f的角部521d附近的一部分放大后的俯视图。

在图23的例子中，可动部521f的夹着角部521d的两边(第一边521e和第二边521f)构成本发明的第四边缘和第五边缘，与第一边521e平行的方向成为本发明的第四方向，与第二边521f平行的方向成为本发明的第五方向。

另外，第二电极566f包围设于反射镜区域m的第二反射镜55而设置，具备对应于各边的边电极部(侧电极部)和与相邻的两个边电极部连接的角电极部。例如，在图23所示的可动部521f的一个角部521d，第二电极566f具备：与第一边521e平行的第一边电极部567e、与第二边521f平行的第二边电极部567f、以及对应于角部521d而设置并与第一边电极部567e和第二边电极部567f连接的角电极部567d。

而且，与第三实施方式同样地，角电极部567d具备向反射镜区域m侧突出的内侧突出部567d1。换言之，将从滤波器中心轴o朝向角部521d的直线设为放射直线s、将放射直线s与第一边521e所成的角设为αe、将放射直线s与第二边521f所成的角设为αf、将第一边电极部567e的沿与第一边521e正交的直线方向上的宽度设为wse、将第二边电极部567f的沿与第二边521f正交的直线方向上的宽度设为wsf，角电极部567d的沿放射直线s的电极宽度wc满足wc＞wse/sinae且wc＞wsf/sinaf。即，角电极部567d的电极宽度与其他边电极部(第一边电极部567e、第二边电极部567f等)相比，电极的宽度形成得大。

需要说明的是，在图23中，虽然示出了六边形状的可动部521f上的一个角部521d的附近的电极结构，但在其他角部上也是同样的，设有比各边电极部更向内侧突出的内侧突出部567d1。在图23的例子中，虽然示出了对应于各角部而设置内侧突出部的例子，但也可以与第二实施方式同样地设为设有外侧突出部的结构，也可以设为设有内侧突出部和外侧突出部双方的结构。

另外，虽省略了图示，但与上述各实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566f重叠的位置处形成为相同形状即可。

在图23所示那样的六边形状的可动部521f等多边形状的可动部等中，正如在第二实施方式和第三实施方式中已说明的那样各角部相对于其他部分来说易于挠曲。对此，通过在第二电极中的对应于各角部而设置的角电极部上设置内侧突出部、外侧突出部而使电极的宽度比对应于各边的边电极部的宽度变大，从而能够抑制可动部的挠曲。

此时，在可动部为多边形状且具有长轴方向和短轴方向的情况下，进一步地，优选使沿长轴方向配置电极部的宽度变小、使沿短轴方向配置电极部的宽度变大。另外，在可动部为正方形状的情况等为正多边形状的情况下，不仅扩大对应于可动部的角部的角电极部的宽度，除此以外，沿着各边的边电极部的宽度也可以是均等的宽度。

需要注意的是，在上述中虽然说明了可动部为多边形状的例子，但只要是在俯视下在一部分设置角部的形状的可动部，则就可应用上述结构。例如，可动部的外边缘形状也可以设为在-x侧成为半圆的圆弧形状并设有随着从圆弧的两端部朝+x侧去而彼此靠近的直线部的形状(水滴型形状)。在这样的结构中，两个直线部的交点成为角部，因此成为易于产生挠曲的部分。在这种形成下，可以对该直线部的交点设置角电极部，并形成内侧突出部、外侧突出部。

(变形例3)

在上述各实施方式中，示出了设于可动部521上的反射镜区域m成为与可动部521相似关系的例子，但是不限定于此。

图24是对变形例3的第二基板52g从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

在上述的第四实施方式中，第二电极566c的第二内侧长边562a1随着从第二角电极部562c朝可动部521在x方向上的中心去而从反射镜区域m离开，第二内侧短边562b1随着从第二角电极部562c朝可动部521在y方向上的中心去而从反射镜区域m离开。

因此，第四实施方式与第一实施方式至第三实施方式相比，俯视下的第二电极566c的内侧区域变宽。因此，也可以设为在该第二电极566c的内侧如图24所示设置例如椭圆形的反射镜区域m再设置与该反射镜区域m重叠的第二反射镜55g的结构。

在这种情况下，当在具有矩形的光接收区域31的光接收部30接收透过了波长可变干涉滤波器5的光时，产生图5所示那样的无用区域arz，但与现有的使用了圆形的反射镜的情况相比，无用区域arz变小。另外，与第一实施方式至第三实施方式中所示的波长可变干涉滤波器5相比，可动部521和波长可变干涉滤波器5的平面尺寸相同。

另外，即使在可动部521向z方向发生了位移的情况下，可动部521的挠曲也被抑制，所以在无用区域arz上也会有对应于间隙g的目标波长的光照射。因此，例如即使在波长可变干涉滤波器5与光接收部30的对准调整中发生了错开的情况下，如果该错开量为无用区域arz的范围内，则就也能够在光接收区域31上合适地接收目标波长的光。

(变形例4)

在第四实施方式中，设为了第二外侧长边562a2平行于x方向、第二外侧短边562b2与y方向平行、第二内侧长边562a1和第二内侧短边562b1倾斜(弯曲)的形状。

与此相对，也可以设为第二内侧长边562a1平行于x方向、第二内侧短边562b1与y方向平行、第二外侧长边562a2和第二外侧短边562b2倾斜(弯曲)的结构。在这种情况下，按如下方式形成第二电极566c：第二外侧长边562a2随着从第二角电极部562c朝可动部521在x方向上的中心去而靠近反射镜区域m，第二外侧短边562b2随着从第二角电极部562c朝可动部521在y方向上的中心去而靠近反射镜区域m。

进一步地，也可以以第二内侧长边562a1随着从第二角电极部562c朝可动部521在x方向上的中心去而从反射镜区域m离开、第二外侧长边562a2随着从第二角电极部562c朝可动部521在x方向上的中心去而靠近反射镜区域m的方式倾斜(弯曲)。同样地，也可以以第二内侧短边562b1随着从第二角电极部562c朝可动部521在y方向上的中心去而从反射镜区域m离开、第二外侧短边562b2随着从第二角电极部562c朝可动部521在y方向上的中心去而靠近反射镜区域m的方式倾斜(弯曲)。

进一步地，也可以设为图25所示那样的结构。图25是对变形例4的一个例子中的第二基板52g从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

在图25所示的方式中，第二电极566g在第二长边电极部562a上第二内侧长边562a1平行于x方向，第二外侧长边562a2以随着从第二角电极部562c朝可动部521在x方向上的中心去而靠近反射镜区域m的方式倾斜(弯曲)。

另一方面，在第二短边电极部562b中，第二外侧短边562b2平行于y方向，第二内侧短边562b1以随着从第二角电极部562c朝可动部521在y方向上的中心去而从反射镜区域m离开的方式倾斜(弯曲)。

另外，虽省略了图示，但不论是上述的哪一种方式，均与上述各实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极重叠的位置处形成为相同形状即可。

在上述的各方式中也能够起到与第四实施方式同样的效果，通过作用对应于可动部521的易挠曲性的静电引力，能够更有效地抑制可动部521的挠曲。

(变形例5)

在第二实施方式中，例示了电极的外周边缘比第二外侧长边562a2和第二外侧短边562b2双方都更向外侧突出的结构的外侧突出部562d，但不限定于此。

也可以设为比第二外侧长边562a2和第二外侧短边562b2中的一方更向外侧突出的结构。

(变形例6)

在第五实施方式中，例示了第一部分电极566d1具备第一长边突出部566d4、第二部分电极566d2具备第二长边突出部566d6的结构，但不限定于此。

图26是对变形例6的第二基板52h从第一基板51侧进行了观察时的俯视图。

在该第二基板52h中，第二电极566h具备设于比反射镜区域m(第二反射镜55)靠-x侧的第一部分电极566h1和设于比反射镜区域m(第二反射镜55)靠+x侧的第二部分电极566h2。而且，这些第一部分电极566h1和第二部分电极566h2在±y侧端部被配置为隔着电极间隙566h3而分离。

也就是说，变形例6所示的第二基板52h成为如下的结构：在沿着周向包围可动部521的反射镜区域m(第二反射镜55)的区域中，在可动部521易于挠曲的长边方向(若是椭圆形状等则为长轴方向)的两端侧配置电极，在可动部521的难以产生挠曲的短边方向(若是椭圆形状等则为短轴方向)的两端侧不配置电极。

换言之，第二电极566h对应于y方向的部分的宽度成为lb，对应于x方向的部分的宽度成为0，对应于y方向的部分的宽度大于对应于x方向的部分的宽度。因此，与上述第五实施方式同样地，能够抑制可动部521的挠曲。

另外，虽省略了图示，但与上述各实施方式同样地，第一电极561在俯视下与第二电极566h重叠的位置处形成为相同形状即可。

(变形例7)

在第五实施方式或上述变形例6中，也可以设为在与反射镜区域m重叠的第二反射镜55、与该第二反射镜55相对的第一反射镜54之上再设置反射镜电极的结构。

例如在第二反射镜55上设置反射镜电极的情况下，能够使与该反射镜电极连接的布线电极从电极间隙566d7或电极间隙566h3延伸设置至连接端子部524。

(变形例8)

图27是示出变形例8的可动部521和设于该可动部521上的第二电极566i的概略结构的图。

在上述第一实施方式中，示出了第二电极562的第二长边电极部562a和第二短边电极部562b分别由单一电极构成的例子。与此相对，也可以如图27所示那样，第二长边电极部566i1和第二短边电极部566i2分别由多个线状电极构成。

具体而言，第二电极566i在可动部521的±y侧端部的每一个具备沿x方向配置的第二长边电极部566i1。各第二长边电极部566i1通过在y方向上并列配置两个在x方向上成为纵长、y方向上的宽度成为ld的长边线状电极567i1而构成。

另外，第二电极566i在可动部521的±x侧端部的每一个具备沿y方向配置的第二短边电极部566i2。各第二短边电极部566i2通过在x方向上并列配置四个在y方向上成为纵长、x方向上的宽度成为ld的短边线状电极567i2而构成。

需要注意的是，在图27中，为了简化说明，省略了与第二电极566i连接的第二引出电极，但在各长边线状电极567i1和短边线状电极部567i2上分别连接有引出电极，这些引出电极在例如保持部522或基板外周部523、或者连接端子部524上被接线，第二电极566i被维持为同电位。

在这样的结构中，第二长边电极部566i1的宽度成为长边线状电极567i1的宽度的合计，成为2ld。同样地，第二短边电极部566i2的宽度成为短边线状电极567i2的宽度的合计，成为4ld。因此，与第一实施方式同样地，对应于短边方向而配置的第二短边电极部566i2的宽度比对应于长边方向而配置的第二长边电极部566i1的宽度大，能够抑制当可动部521向z方向发生了位移时该可动部521挠曲。

需要注意的是，虽然在此示出各长边线状电极567i1和各短边线状电极567i2的线宽lp成为相同的例子，但也可以是各不相同的宽度。

另外，也可以如第五实施方式和变形例6、7那样设为隔开电极间隙而配置多个部分电极的结构，进一步地，还可以如第四实施方式那样设为根据离可动部521的中心的距离来使宽度变大的结构等。

图28是示出变形例8的可动部和设于该可动部上的第二电极的概略结构的另一例子的图。

在图28的例子中，与变形例6同样地，第二电极566j具备设于比反射镜区域m(第二反射镜55)靠-x侧的第一部分电极566j1和设于比反射镜区域m(第二反射镜55)靠+x侧的第二部分电极566j2。而且，这些第一部分电极566j1和第二部分电极566j2在±y侧端部被配置为隔着电极间隙566j3而分离。

而且，第一部分电极566j1和第二部分电极566j2由具有宽度ld的多个线状电极567j构成。

进一步地，在本例中，各线状电极567j的与宽度正交的长度(y方向上的长度)各不相同。

具体而言，配置于第一部分电极566j1的-x侧端部的线状电极567j和配置于第二部分电极566j2的+x侧端部的线状电极567j从可动部521的-y侧端部直至+y侧端部而形成。另一方面，配置于±x侧端部的线状电极567j以外的其他线状电极567j形成为y方向的长度为可动部521的y方向的长度的一半以下，并且越是配置于可动部521的x方向的中心侧的线状电极567j，y方向的长度越短。另外，这些长度短的线状电极567j被配置于可动部521的±y侧两端侧的各侧。除此之外，配置于+y侧的各线状电极567j被配置于离可动部521的+y侧的边缘预定距离的位置，配置于-y侧的各线状电极567j被配置于离可动部521的-y侧的边缘预定距离的位置。

在这种情况下，与第四实施方式同样地，第一部分电极566j1和第二部分电极566j2的电极宽度(各线状电极567j的宽度的合计)随着离可动部521的中心的距离而变大。因此，与第四实施方式同样地，能够有效地抑制可动部521的挠曲。

(变形例9)

在上述各实施方式和变形例中，例示了将第二电极设于可动部的结构。与此相对，也可以将第二电极的全部或一部分设于保持部522。

另外，作为保持部522，虽然例示了从可动部521至基板外周部523的宽度lc成为均等的结构，但是不限定于此。例如，也可以设为使保持部522中的、与可动部521的易于产生挠曲的部分(例如若为在x方向上成为纵长的可动部则为±x侧两端部)连结的保持部的宽度变大的结构。另外，也可以设为保持部522的宽度随着离可动部521的中心的距离而变宽的结构等。

图29和图30是示出根据可动部的易挠曲性来变更保持部的宽度且在保持部522(或者从可动部直至保持部而)设置第二电极的结构的图。

在图29中，第二基板52k具备x方向成为长边方向、y方向成为短边方向的可动部521，包围可动部521的外周的保持部522具有：与长边521a连续的长边保持部522a、与短边521b连续的短边保持部522b、以及连接长边保持部522a与短边保持部522b的角部522c。

而且，短边保持部522b的宽度wb(x方向的长度)大于长边保持部522a的宽度wa(y方向的长度)。也就是说，短边保持部522b在可动部521向z方向发生了位移时易于向z方向挠曲，使可动部521返回至原位置的恢复力(弹簧力)较小。由此，能够抑制可动部521的挠曲。

而且，在与可动部521中的当向z方向发生了位移时最易于挠曲的角部521c连结的保持部522的角部522c，设有从设置于可动部521的第二电极562延伸设置的保持电极部568。

另外，在保持部522的角部522c，与基板外周部523的边界附近最难以挠曲，特别是由沿着x方向的外周边缘5221与沿着y方向的外周边缘5222所夹的角部5223的附近最难以挠曲。因此，保持电极部568优选形成为以保持部522的角部5223为顶点、沿外周边缘5221和外周边缘5222扩展的三角形状。

通过设为这样的形状，能够更有效地减小当使可动部521向z方向发生了位移时的可动部521的挠曲。

另外，图30所示的例子示出了在保持部设置第二电极的结构例。

正如在第二实施方式和第三实施方式等中说明过的，可动部521的角部521c在使可动部521向z方向发生了位移时比其他部分易于挠曲。

因此，在图30中，在与易于挠曲的可动部521的角部连结的保持部522的角部522c，设有比可动部521的边521g、521h的延长线更向反射镜区域m侧突出的角突出部522c1。

另外，在本例中，第二电极566k设于保持部522上。而且，与第三实施方式同样地，该第二电极566k对应于可动部521的角部而具备有内侧突出部566k1。

需要说明的是，在图30所示的例子中，由于可动部521形成为不具有长轴方向和短轴方向的形状(例如正方形状)，因此对应于第二电极566k的各边521g、521h的电极部分的宽度成为了相同宽度。在可动部521具有长轴(长边)方向和短轴(短边)方向的情况(例如矩形等情况)下，可以如上述第三实施方式所示的那样使对应于长边方向的电极部分的宽度变小、使对应于短边方向的电极部分的宽度变大。

即使为这样的形状，也能够更有效地减小当使可动部521向z方向发生了位移时的可动部521的挠曲。

(变形例10)

在上述各实施方式和各变形例中示出了反射镜区域m与第二反射镜55为相同形状、相同平面尺寸且在反射镜区域m上形成第二反射镜55的例子。

与此相对，第二反射与反射镜区域的大小和形状也可以不同。

图31是示出变形例10的波长可变干涉滤波器5a的概略结构的剖视图。

在图31所示的波长可变干涉滤波器5a中，在第一基板51的与第二基板52相对的面的整个面上设有第一反射镜54a。另外，在第二基板52的与第一基板51相对的面的整个面上设有第二反射镜55a。作为这样的第一反射镜54a和第二反射镜55a，能够由例如将低折射层和高折射层交替地层叠而成的电介质多层膜等构成。

而且，在该波长可变干涉滤波器5a上，与上述的第一实施方式的波长可变干涉滤波器同样地设有以滤波器中心轴o为中心、在俯视下成为矩形的反射镜区域m。即，俯视下在可动部521的内侧设置反射镜区域m。

另外，第二电极566l在第二反射镜55a上且包围反射镜区域m而设置。需要说明的是，第二电极566l的形状能够形成为与上述第一实施方式至第五实施方式(或各变形例)同样的形状，形成为在包围反射镜区域m的周向上不同的宽度。因此，能够起到与上述的各实施方式同样的作用效果，能够抑制可动部521的挠曲。

(变形例11)

在上述各实施方式和各变形例中，第一电极561在俯视下形成为与第二电极562(566a～566l)相同形状并设于与第二电极重叠的位置，但不限定于此。

第一电极561只要设于在俯视下至少与第二电极562(566a～566l)互相重叠的区域上即可，例如可以形成为电极的宽度比第二电极562(566a～566l)大。在这种情况下，实际上对可动部521施加静电引力而作为静电致动器56的区域成为第二电极562(566a～566l)的一部分，也能够起到与上述各实施方式同样的效果。

(变形例12)

在上述各实施方式和变形例中，示出了第二电极的宽度相当于本发明的电极的宽度的例子，但不限定于此。即，本发明的电极的宽度意味着作为静电致动器56而发挥作用的区域的宽度，该作为静电致动器56而发挥作用的区域的宽度只要为在反射镜区域m的周向上不同的宽度即可。

图32是变形例12的波长可变干涉滤波器5b的剖视图。

在图32的波长可变干涉滤波器5b中，第一基板51的结构是例如与图3所示的第一实施方式同样的结构。即，第一电极561具备：具有长边宽度la的第一长边电极部561a、具有短边宽度lb(lb＞la)的第一短边电极部561b。

另一方面，在该波长可变干涉滤波器5b中，第二电极566m以比第一电极561大的宽度形成。例如在图32所示的波长可变干涉滤波器5b中，第二电极566m在反射镜区域m的外侧从可动部521遍及整个保持部522而形成。

即使在这样的情况下，第二基板52中的、作为静电致动器56而发挥作用来将可动部521向第一基板51侧(+z侧)拉伸的区域也成为在俯视下与第一电极561互相重叠的区域(图32中的致动器区域n)，从而成为与第一实施方式相同的区域。因此，能够起到与上述第一实施方式等同样的作用效果，抑制可动部521的挠曲。

也就是说，本发明中的“电极的宽度在周向上不同”意味着当施加了电压时施加使可动部521向第一基板51侧位移的应力的部分(区域)的宽度在周向上不同。因此，也包括在俯视下包围反射镜区域m的第一电极561的宽度在周向上不同的情况。

(变形例13)

在第八实施方式中，例示了与反射镜区域m的±x侧对应的两个测量位置ta、tb，但也可以设置例如对应于±x侧和中央部的三个测量位置等设置多个测量位置。

另外，虽然示出了可动部521的长边(长轴)方向为x方向的例子，但也可以将y方向设为长边方向。在这种情况下，能够同时测量沿y方向排列的两个色标801。这种情况下的滑架13的移动距离是一个量的色标801的尺寸(＝xc/2)，但由于能够同时测量沿y方向排列的两个标组802，因此与第八实施方式同样能够迅速地进行测试图案800的各色标的光谱测量。

另外，在第八实施方式的分光计17中，例示了在x方向上隔开预定距离而配置的第一检测部172a和第二检测部172b。取而代之，也可以设置例如可接收通过了第一通过位置ma和第二通过位置mb的光并具有x方向上的宽度比y方向上的宽度大的光接收区域的光接收部(图像传感器等)。

(其他变形例)

作为波长可变干涉滤波器，虽然例示了从入射光中对预定波长的光分光后使其透过的光透过型波长可变干涉滤波器，但不限定于此。例如，作为波长可变干涉滤波器，也可以使用从入射光中对预定波长的光分光后使其反射的光反射型波长可变干涉滤波器。

作为本发明的电极，虽然例示第二电极562(566a～566l)并例示了与第一电极561一起构成静电致动器56而通过静电引力来使可动部位移的结构，但不限定于此。例如，也可以是通过向第二电极施加电压来使斥力作用于可动部的致动器等。

虽然示出了保持部522成为厚度尺寸形成得比可动部521小并将可动部521保持为能在z方向上位移的隔膜形状的例子，但不限定于此。

例如，也可以设为保持部522为与可动部521形成为相同的厚度尺寸且例如与可动部521由不同的材料构成，从而针对z方向的刚度小于可动部521的结构等。

在第七和第八实施方式中，作为电子设备的一例，虽然例示了分光照相机700和打印机10，但不限定于此。作为具有波长可变干涉滤波器5的电子设备，例如，也可以是输出期望波长的光的光源装置(例如激光光源装置)、分析被测量物的含有成分的光谱分析装置等。另外，也能够用作测量在多投影系统等中形成的图像的色度的色度测量装置。

此外，本发明的实施时的具体结构在能够达到本发明的目的的范围内可适当变更为其他结构等。