一种防止光罩掉落毁损的装置的制作方法

本实用新型涉及光刻机领域，尤其涉及一种防止光罩掉落毁损的装置。

背景技术：

Nikon i11D型号的步进式光刻机，其光罩传送至交接处时，是通过抽真空的方式对光罩进行交接。若发生真空异常时，会使得光罩掉落并砸在光刻机的机台内部，使得机台内部部件被光罩砸损，同时光罩也会具有一定程度的毁损；同时光刻机的机台在此时，也无法进行初始化安全的将光罩移动回光罩盒，因此只能人为确定安全的情形下，手动将光罩从交接处取出，并放回光罩盒中。

光罩的掉落会对机台的生产造成各项影响，对于光罩也会形成结构性的破坏，以及造成步进式光刻机的机台内部洁净度的污染。光罩的毁损，不仅造成机台无法运转，增加了生产成本，而且还会影响设备稳定性及生产效能，使机台运行陷入异常，影响产线的生产力。

技术实现要素：

为此，需要提供一种防止光罩掉落毁损的装置，解决光罩掉落毁损的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件；所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部，滑动机构设置在光刻机竖直滑架上，且滑动机构位于红外传感器的下方，红外传感器与控制单元电连接，承接件设置在滑动机构的输出端上，控制单元与滑动机构电连接，承接件用于承接并防护掉落的光罩；滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。

进一步地，所述滑动机构包括驱动单元、滑架和电磁开关，驱动单元设置在光刻机竖直滑架上，承接件设置在滑架的滑杆上，驱动单元位于红外传感器的下方，滑架垂直设置在光刻机竖直滑架上，且光刻机竖直滑架位于红外传感器与驱动单元之间，驱动单元的输出轴设置在滑架的架体上，电磁开关设置在驱动单元的电源线上，控制单元与电磁开关电连接设置。

进一步地，所述驱动单元为直线电机、气泵或液压泵。

进一步地，所述滑动机构还包括蓄电池，所述蓄电池与驱动单元电连接，电磁开关电连接设置在蓄电池与驱动单元之间。

进一步地，所述承接件为橡胶网、弹力布或棉垫板。

进一步地，所述控制单元为单片机或PLC。

区别于现有技术，上述技术方案在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，会通过红外传感器感应器，进而启动滑动机构，使得承接件跟随滑动机构朝外伸展，达到承接件位于光罩下方，同时承接件也会与光刻机竖直滑架相互垂直，且承接件的表面积会大于光罩，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毁损。同时通过控制单元内置的定时器，可以人工设定滑动机构伸出承接件的时长，当定时的时间达到时，则通过滑动机构缩回承接件。具体的，人工设定的时长会大于在光罩通过红外传感器时起至光罩通过光刻机的交接处期间的时长再加上光罩掉落至承接件处的时长，继而滑动机构将承接件回收，解决了光罩掉落毁损的问题。

附图说明

图1为具体实施方式所述的防止光罩掉落毁损的装置的示意图；

图2为具体实施方式所述的防止光罩掉落毁损的装置的局部剖视图；

附图标记说明：

1、光罩；

10、光刻机竖直滑架；11、红外传感器；

12、滑动机构；121、驱动单元；122、滑架；123、电磁开关；

124、蓄电池；

13、控制单元；14、承接件；

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1和图2，本实施例提供一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架10、红外传感器11、滑动机构12、控制单元13和承接件14；所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部，滑动机构设置在光刻机竖直滑架上，且滑动机构位于红外传感器的下方，红外传感器与控制单元电连接，承接件设置在滑动机构的输出端上，控制单元与滑动机构电连接，承接件用于承接并防护掉落的光罩1；滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。所述控制单元为单片机或PLC。所述承接件为橡胶网、弹力布或棉垫板。单片机可以为51系列或52系列的单片机，PLC可以为西门子PLC，具体型号可以为S7-300PLC、S7-1500PLC或SMART200PLC等等。红外传感器的型号可以为P228、LHI958、RE200B或KDS209等等。

本实施例中的装置是应用于光刻机内，光刻机内部具有XYZ三轴移动功能，其Z轴即为光刻机竖直滑架，在光刻机竖直滑架上具有机械手叉和幻灯片的真空交接，若真空度发生异常时，即真空度较低时，则光罩会发生掉落的情况，进而砸落在光刻机内，导致光刻机和光罩的损毁。因此，通过在光刻机的光刻机竖直滑架上安装防止光罩掉落毁损的装置，避免光罩毁坏，同时避免光刻机被砸损。

具体的，在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，使用红外传感器可以检测到光罩移动的信号，进而将信号发送至控制单元，控制单元获得信号控制滑动机构启动，通过滑动机构带动承接件滑动，使得承接件跟随滑动机构上伸展开或伸出，而承接件位于光罩下方，同时承接件也会与光刻机竖直滑架相互垂直，且承接件的表面积会大于光罩，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毁损。同时通过控制单元内置的定时器，可以人工设定滑动机构伸出承接件的时长，当定时的时间达到时，则通过滑动机构缩回承接件，便于下次光罩通过。而定时的时长计算为：在光罩通过红外传感器时起至光罩通过光刻机的交接处期间的时长再加上光罩掉落至承接件处的时长，而人工设定的时长会略大于该时长，例如在该时长上在加3秒的时间，保证可以承接掉落的光罩，同时可以避免阻碍下个光罩的通过光刻机竖直滑架，解决了光罩掉落毁损的问题。

本实施例中所述滑动机构包括驱动单元121、滑架122和电磁开关123，驱动单元设置在光刻机竖直滑架上，驱动单元位于红外传感器的下方，滑架垂直设置在光刻机竖直滑架上，承接件设置在滑架的滑杆上，且光刻机竖直滑架位于红外传感器与驱动单元之间，驱动单元的输出轴设置在滑架的架体上，电磁开关设置在驱动单元的电源线上，控制单元与电磁开关电连接设置。所述驱动单元为直线电机、气泵或液压泵。所述滑动机构还包括蓄电池124，所述蓄电池与驱动单元电连接，电磁开关电连接设置在蓄电池与驱动单元之间。

具体的，当光罩经过光刻机竖直滑架被红外传感器检测到时，红外传感器会发送检测信号至控制单元中，进而控制单元发送信号至电磁开关内，使得驱动单元与蓄电池接通，也可以采用市电进行电连接，进而使得驱动单元启动，推动滑架的滑杆滑动，同时使得承接件跟随滑杆一起朝外滑出，而承接件可以橡胶网安装在滑杆上，通过具有弹性的网状橡胶可以有效的减缓光罩掉落的缓冲；或者使用木板，并在木板上固定一层棉垫，通过棉垫缓冲光罩掉落的冲力，电磁开关是用电磁铁控制的开关，也就是电磁铁与开关的结合体。当电磁铁线圈通电后产生电磁吸力，活动铁芯推或拉动开关触点闭合，从而接通所控制电路。电磁开关在各行业有广泛的应用，最常见的是工业领域的接触器，因此属于现有技术，在此不再进行详细的赘述。蓄电池的采用也可以避免突然停电的情况下防止光罩掉落毁损的装置停止运行，进而避免光罩掉落而损坏光刻机的情况，提高了防止光罩掉落毁损的装置的实用性。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。