周期极化反转结构的制造方法与流程

文档序号:20957043发布日期:2020-06-02 20:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种周期极化反转结构的制造方法,在具有第一主面和第二主面的强介电性晶体基板上制造周期极化反转结构,其特征在于,

所述周期极化反转结构的制造方法具有以下工序:

在所述强介电性晶体基板的所述第一主面上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体的工序;

通过对所述第一电极片部排列体施加电压而形成第一周期极化反转结构的工序;

在相邻的多个所述第一周期极化反转结构之间设置由多个电极片部构成的第二电极片部排列体的工序;以及

通过对所述第二电极片部排列体施加电压而形成第二周期极化反转结构的工序。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述第二电极片部排列体的长度方向观察时,所述第一周期极化反转结构的端部和所述第二电极片部排列体的端部是分开的。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在所述强介电性晶体基板的所述第一主面中,在所述电极片部间分别形成绝缘膜,在所述强介电性晶体基板的所述第二主面设置均匀电极,在所述电极片部和所述均匀电极之间施加所述电压。


技术总结
减小相邻的周期极化反转结构的间隔,并且同时防止电极片部间的绝缘击穿、提高周期极化反转结构的生产率。在强介电性晶体基板(1)的第一主面(1a)上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体(2A)。通过对第一电极片部排列体(2A)施加电压而形成第一周期极化反转结构(5A)。在相邻的多个所述第一周期极化反转结构(5A)之间设置由多个电极片部(3)构成的第二电极片部排列体(2B)。通过对第二电极片部排列体(2B)施加电压而形成第二周期极化反转结构(5B)。

技术研发人员:服部良祐;山口省一郎;下方英嗣
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2018.08.30
技术公布日:2020.06.02
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