玻璃基板重测重修系统及其方法与流程

文档序号:17759151发布日期:2019-05-24 21:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种玻璃基板重测重修系统及其方法,其中所述玻璃基板重测重修系统包括电性量测站、镭射修补机、镭射长线机、分出重测站及重测电性量测站。电性量测站电性量测所述玻璃基板的各所述面板是否存在缺陷。所述镭射修补机对具有所述缺陷的所述面板标识异常等级,并分流其余具有所述异常等级的所述玻璃基板。所述镭射长线机对具有所述异常等级的所述面板进行修补。所述分出重测站分流正常和异常的所述玻璃基板。所述重测电性量测站针对异常的所述玻璃基板进行识别。当所述面板具有异常等级时,对所述异常等级的所述面板进行重测,并根据缺陷种类分流到所述镭射修补机或所述镭射长线机进行重修,从而降低重测重修带来的产能和时间成本的损失。

技术研发人员:何人杰;郑佩莎
受保护的技术使用者:深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日:2019.03.07
技术公布日:2019.05.24
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