基于定向耦合的等离子体模式转换及复用器的制作方法

文档序号:20200915发布日期:2020-03-27 20:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于定向耦合的等离子体模式转换及复用器,包括聚合物波导层(1),其特征在于:所述聚合物波导层(1)包括第一定向耦合波导(104)和第二定向耦合波导(108),宽度均保持不变;第一定向耦合波导(104)与第二定向耦合波导(108)平行且保持一定间距,共同形成定向耦合区,该定向耦合区将第一定向耦合波导(104)中的基模转换成高阶模并耦合进第二定向耦合波导(108),第二定向耦合波导(108)中的基模保持不变,最终基模和高阶模共同存在于第二定向耦合波导(108)中。

2.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述间距为0.01~0.05μm。

3.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述定向耦合区的长度为4~10μm。

4.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述第一定向耦合波导(104)的宽度为300~900nm。

5.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述第二定向耦合波导(108)的宽度为1000~1500nm。

6.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述聚合物波导层(1)还包括第一输入耦合器(101)、第一输入波导(102)、第一弯曲波导(103)、第二弯曲波导(105)和第一输出波导(106),第一输入耦合器(101)、第一输入波导(102)、第一弯曲波导(103)、第一定向耦合波导(104)、第二弯曲波导(105)和第一输出波导(106)顺次相连,且第一输入波导(102)、第一弯曲波导(103)、第一定向耦合波导(104)、第二弯曲波导(105)和第一输出波导(106)的宽度均相同。

7.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述聚合物波导层(1)还包括第二输入耦合器(107)和第二输出波导(109),第二输入耦合器(107)、第二定向耦合波导(108)、第二输出波导(109)顺次相连,且第二定向耦合波导(108)的宽度与第二输出波导(109)的宽度相同。

8.如权利要求1所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述等离子体模式转换及复用器还包括薄金层(2)和二氧化硅基底(3),聚合物波导层(1)沉积在薄金层(2)上,薄金层(2)沉积在二氧化硅基底(3)上。

9.如权利要求8所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述聚合物波导层(1)的厚度为350~700nm,折射率为1.2~2。

10.如权利要求8所述的等离子体模式转换及复用器,其特征在于:所述薄金层(2)的厚度为50~200nm。

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