一种镜筒的安装底座的制作方法

技术领域：

本实用新型涉及一种镜筒的安装结构，尤其是一种针对下部较大的镜筒的安装结构。

背景技术：
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直写式曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度高。在半导体及pcb生产领域有着非常重要的作用。

直写曝光机包括底座、龙门机构、曝光镜头、对位系统、多轴运动平台和基板平台。所述底座上设置有所述龙门机构和多轴运动平台，所述多轴运动平台上设置有所述基板平台，所述龙门机构上固定所述对位系统和所述曝光镜头。目前直写曝光机是在龙门机构上根据曝光镜头的数量和尺寸对应设孔，每个曝光镜头对应一个孔，这样的方式可以较好的固定曝光镜头，但是对于下部结构较大的曝光镜头，安装拆卸都非常繁琐，需要将曝光镜头拆解才能取下。因此，有必要提供一种方便拆卸的曝光镜头安装结构，方便镜头的安装和后期的维护。

技术实现要素：
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本实用新型所要解决的技术问题是提供一种便捷的曝光镜头安装结构。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种镜筒的安装底座，其包括安装固定孔，所述镜筒通过所述安装固定孔固定于所述底座，其还包括安装拆卸孔，所述安装固定孔和所述安装拆卸孔设置于所述座体，彼此连通，所述安装拆卸孔位于安装固定孔的至少一侧。

进一步的，所述安装拆卸孔位于所述安装固定孔的两侧。

进一步的，所述安装拆卸孔和安装固定孔两侧的所述底座上设有滑轨。

进一步的，所述滑轨上设有滑块。

进一步的，所述镜筒固定于所述滑块。

进一步的，所述安装拆卸孔的形状是方形、圆形或菱形。

与现有技术相比，利用安装拆卸孔，可以方便的安装和取出镜头，无需通过拆解的方式取出镜头。

附图说明：

图1是镜筒安装底座第一实施例示意图。

图2是第一实施例安装底座示意图。

图3是镜筒安装底座第二实施例示意图。

图4是第二实施例镜筒和导轨结构示意图。

图5是第二实施例安装底座示意图。

具体实施方式：

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。

如图1-2所示，本实用新型的第一实施例，涉及一种镜筒1的安装底座2，所述镜筒1包括安装固定件10、位于所述安装固定件10上部的第一镜筒11、位于所述安装固定件10下部的第二镜筒（未示出）。所述安装底座2包括座体20，安装固定孔21和安装拆卸孔22，所述安装固定孔21和所述安装拆卸孔22设置于所述座体20，彼此连通。所述安装固定孔21用于将所述镜筒1固定于所述座体20，所述安装拆卸孔22用于将所述镜筒1从所述座体20取出。所述安装拆卸孔22可以安装于所述安装固定孔21的一侧或者两侧。

所述安装固定孔21为条状，多个所述镜筒1沿其长度方向顺序安装排列，所述镜筒1的安装固定件10的长度大于所述安装固定孔21的宽度，所述安装固定件10横跨所述安装固定孔21，并固定于所述安装底座20。

所述安装拆卸孔22与所述安装固定孔21连通，所述第二镜筒插入所述安装拆卸孔22，移动进入所述安装固定孔21，所述安装拆卸孔22的大小可使得所述第二镜筒能够通过，其形状可以是方形、圆形、菱形等多种形状。

安装时，所述第二镜筒通过所述安装拆卸孔22插入所述安装底座2，移动所述镜筒1至安装固定孔21的相应位置进行固定。

拆卸时，将所述镜筒1从所述安装底座2分离，移动所述镜筒1至所述安装拆卸孔22，从所述安装拆卸孔22移出所述镜筒1。

安装拆卸孔22位于所述安装固定孔21一侧时，拆卸距离所述安装拆卸孔22较远的镜筒1时，需将所述安装拆卸孔22和所述需拆卸镜筒之间的镜筒拆除之后，移除需拆卸镜筒。安装拆卸孔22位于所述安装固定孔21两侧时，可选择距离所述安装拆卸孔22较近的一侧进行拆卸操作。

如图3-5所示，本实用新型第二实施例，一种镜筒1的安装底座2，所述镜筒1安装固定件10、位于所述安装固定件10上部的第一镜筒11、位于所述安装固定件下部的第二镜筒12。所述安装底座2包括座体20、位于所述座体20的安装拆卸孔21和安装固定孔22、位于所述安装拆卸孔21和安装固定孔22两侧的滑轨23、在所述滑轨23上滑动的滑块。所述镜筒的安装固定件10置于所述滑块上，所述滑块带动所述镜筒1沿所述滑轨23滑动。

所述安装拆卸孔22和安装固定孔21相通，所述多个所述镜筒1沿其长度方向顺序安装排列，所述安装拆卸孔22位于所述安装固定孔21的一侧或者两侧。安装于一侧时，所述安装拆卸孔22可等于或者略小于所述第二镜筒12，相应镜筒移入或部分移入所述安装拆卸孔22后，需要拆卸的镜筒能够移除即可；安装于两侧时，两侧安装拆卸孔22的组合大小可等于或者略小于所述第二镜筒12，相应镜筒向两侧移入或部分移入安装拆卸孔22后，需要拆卸的镜筒能够移除即可。所述安装拆卸孔22的形状可以是方形、圆形、菱形等多种形状。较佳的，所述安装拆卸孔22的宽度与所述安装固定孔21的宽度相同，所述安装拆卸孔22的长度相对于一个所述镜筒的长度，所述安装拆卸孔为方形。

安装时，将所述镜筒1安装至所述滑块，所述滑块带动所述镜筒1移动至固定位置，通过所述镜筒1的安装固定件10固定于座体20。

拆卸时，分离相关的所述镜筒1和所述座体20，移动相关的镜筒1，与所述安装拆卸孔22相邻的镜筒1移动至安装拆卸孔，其余相关镜筒向安装拆卸孔22方向移动，空出取出所述镜筒的空间，取出所述镜筒。

第二实施例，在拆卸位于中间位置的镜筒1时，无须将镜筒全部取出，只需位于中间位置的镜筒和所述安装拆卸孔22之间的镜筒移动至安装拆卸孔22，或者相应的镜筒部分移动至安装拆卸孔22内，空出所述位于中间位置的镜筒取出的空间。

通过安装拆卸孔22可以解决需要拆解镜筒才能取出的问题。

技术特征：

1.一种镜筒的安装底座，其包括座体和安装固定孔，所述镜筒通过所述安装固定孔固定于所述底座，其特征在于：其还包括安装拆卸孔，所述安装固定孔和所述安装拆卸孔设置于所述座体，彼此连通，所述安装拆卸孔位于安装固定孔的至少一侧。

2.根据权利要求1所述的安装底座，其特征在于：所述安装拆卸孔位于所述安装固定孔的两侧。

3.根据权利要求1所述的安装底座，其特征在于：所述安装拆卸孔和安装固定孔两侧的所述底座上设有滑轨。

4.根据权利要求3所述的安装底座，其特征在于：所述滑轨上设有滑块。

5.根据权利要求4所述的安装底座，其特征在于：所述镜筒固定于所述滑块。

6.根据权利要求1所述的安装底座，其特征在于：所述安装拆卸孔的形状是方形、圆形或菱形。

技术总结
一种镜筒的安装底座，其包括安装固定孔，所述镜筒通过所述安装固定孔固定于所述底座，其还包括安装拆卸孔，所述安装固定孔和所述安装拆卸孔设置于所述座体，彼此连通，所述安装拆卸孔位于安装固定孔的至少一侧。利用安装拆卸孔，可以方便的安装和取出镜头，无需通过拆解的方式取出镜头。

技术研发人员：李波;章卫平;李伟成;张雷
受保护的技术使用者：源能智创(江苏)半导体有限公司
技术研发日：2019.08.05
技术公布日：2020.05.22